電阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成。采用單晶硅片為彈性元件，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝，在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻，并將電阻接成橋路，單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。當壓力發(fā)生變化時，單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變，使直接擴散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測壓力成正比的變化，再由橋式電路獲相應(yīng)的電壓輸出信號。

壓阻式傳感器是用于這方面的較理想的傳感器。例如，用于測量直升飛機機翼的氣流壓力分布，測試發(fā)動機進氣口的動態(tài)畸變、葉柵的脈動壓力和機翼的抖動等。在飛機噴氣發(fā)動機中心壓力的測量中，使用專門設(shè)計的硅壓力傳感器，其工作溫度達500℃以上。在波音客機的大氣數(shù)據(jù)測量系統(tǒng)中采用了精度高達0.05%的配套硅壓力傳感器。

在尺寸縮小的風洞模型試驗中，壓阻式傳感器能密集安裝在風洞進口處和發(fā)動機進氣管道模型中。單個傳感器直徑僅2.36毫米，固有頻率高達300千赫，非線性和滯后均為全量程的±0.22%。在生物醫(yī)學(xué)方面，壓阻式傳感器也是理想的檢測工具。已制成擴散硅膜薄到10微米，外徑僅0.5毫米的注射針型壓阻式壓力傳感器和能測量心血管、顱內(nèi)、尿道、子宮和眼球內(nèi)壓力的傳感器。

壓阻式傳感器還有效地應(yīng)用于爆炸壓力和沖擊波的測量、真空測量、監(jiān)測和控制汽車發(fā)動機的性能以及諸如測量槍炮膛內(nèi)壓力、發(fā)射沖擊波等兵器方面的測量。此外，在油井壓力測量、隨鉆測向和測位地下密封電纜故障點的檢測以及流量和液位測量等方面都廣泛應(yīng)用壓阻式傳感器。隨著微電子技術(shù)和計算機的進一步發(fā)展，壓阻式傳感器的應(yīng)用還將迅速發(fā)展。

電阻應(yīng)變式壓力傳感器是電阻式壓力傳感器的一種，其通過粘結(jié)在彈性元件上的應(yīng)變片的阻值變化來測量壓力值的。用于力、扭矩、張力、位移、轉(zhuǎn)角、速度、加速度和振幅等測量。電阻應(yīng)變式壓力傳感器所運用的基本原理是電阻的應(yīng)變效應(yīng)：導(dǎo)體受機械變形時，其電阻值發(fā)生變化，稱為“應(yīng)變效應(yīng)”。

應(yīng)變片由應(yīng)變敏感元件、基片和覆蓋層、引出線三部分組成。應(yīng)變敏感元件一般由金屬絲、金屬箔（高電阻系數(shù)材料）組成，它把機械應(yīng)變轉(zhuǎn)化成電阻的變化?；透采w層起固定和保護敏感元件、傳遞應(yīng)變和電氣絕緣作用。

以上便是電阻式壓力傳感器作用及其工作原理的介紹了。相信網(wǎng)友們看了上面的介紹之后已經(jīng)有所了解了。如果還想了解更多相關(guān)工業(yè)自動化技術(shù)資訊，那么就關(guān)注我們微信公眾號。

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審核編輯 黃宇