中國(guó)&全球領(lǐng)先的MEMS芯片代工企業(yè)賽微電子12月24日晚公告，全資子公司瑞典Silex獲得客戶(hù)光鏈路交換器件（OCS）批量采購(gòu)訂單，意味著MEMS-OCS啟動(dòng)商業(yè)化規(guī)模量產(chǎn)。

據(jù)相關(guān)媒體透露，賽微電子的MEMS-OCS器件背后客戶(hù)或?yàn)楣雀韫?，此前?2月6日，谷歌剛剛發(fā)布首個(gè)AI大模型及基于MEMS-OCS的全新網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)。

光鏈路交換器件獲訂單

近日，賽微電子全資子公司Silex MicrosystemsAB（下稱(chēng)“瑞典Silex”）以MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）工藝為某客戶(hù)制造的OCS（光鏈路交換器件）完成了工藝及性能驗(yàn)證，并2023年12月22日收到該客戶(hù)發(fā)出的批量采購(gòu)訂單，瑞典Silex開(kāi)始進(jìn)行MEMS-OCS的商業(yè)化規(guī)模量產(chǎn)。

據(jù)介紹，賽微電子MEMS-OCS工藝開(kāi)發(fā)與試產(chǎn)的總耗費(fèi)時(shí)間超過(guò)7年。MEMS行業(yè)產(chǎn)品品類(lèi)多、工藝非標(biāo)準(zhǔn)化。根據(jù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)律及公司境內(nèi)外產(chǎn)線(xiàn)的實(shí)際運(yùn)營(yíng)經(jīng)驗(yàn)，不同類(lèi)別MEMS芯片一般都需要經(jīng)歷從工藝開(kāi)發(fā)到風(fēng)險(xiǎn)試產(chǎn)、規(guī)模量產(chǎn)的過(guò)程，所耗時(shí)間存在差異。

近期賽微電子在MEMS工藝取得多項(xiàng)進(jìn)展。12月7日，賽微電子公告控股子公司賽萊克斯微系統(tǒng)科技（北京）有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“賽萊克斯北京”或“北京FAB3”）以MEMS工藝為某客戶(hù)制造的MEMS超高頻器件完成了工藝及性能驗(yàn)證，并于今年12月15日收到該客戶(hù)發(fā)出的批量采購(gòu)訂單，賽萊克斯北京開(kāi)始進(jìn)行MEMS超高頻器件的商業(yè)化規(guī)模量產(chǎn)。

賽微電子介紹，MEMS超高頻器件是基于MEMS工藝和設(shè)計(jì)技術(shù)制造，具有開(kāi)關(guān)效率高，反向恢復(fù)快、正向電流大、體積小、使用簡(jiǎn)便等特點(diǎn)。另外，通過(guò)8英寸晶圓進(jìn)行生產(chǎn)，能夠?qū)崿F(xiàn)更好的性能、更高的良率和產(chǎn)出效率；由于采用了MEMS獨(dú)特的設(shè)計(jì)技術(shù)和產(chǎn)線(xiàn)工藝制造技術(shù)，該器件還具備高密度特性，能夠?qū)崿F(xiàn)更好的參數(shù)性能，不僅可以在開(kāi)關(guān)電源、脈寬調(diào)制器、不間斷電源等領(lǐng)域應(yīng)用，還可廣泛用于新能源逆變、超高頻電源、工業(yè)伺服電機(jī)、新能源汽車(chē)電機(jī)驅(qū)動(dòng)等領(lǐng)域。

加碼自主研發(fā)

瑞典Silex作為全球領(lǐng)先的純MEMS代工企業(yè)，在2016年由賽微電子收購(gòu)。

據(jù)統(tǒng)計(jì)，2019—2022年公司在全球MEMS純代工廠(chǎng)商中位居第一，服務(wù)于全球各領(lǐng)域巨頭廠(chǎng)商。賽微電子一方面正在瑞典擴(kuò)充產(chǎn)能，另一方面，公司控股子公司賽萊克斯北京已投入運(yùn)營(yíng)并持續(xù)推動(dòng)產(chǎn)能爬坡。

后續(xù)由于瑞典Silex向賽萊克斯北京出口MEMS技術(shù)和產(chǎn)品的許可申請(qǐng)被瑞典ISP否決、公司境內(nèi)工廠(chǎng)從瑞典Silex引入技術(shù)變得困難的背景下，賽萊克斯北京需要依靠自身積累工藝，自主推動(dòng)從工藝開(kāi)發(fā)到產(chǎn)品驗(yàn)證、規(guī)模量產(chǎn)的業(yè)務(wù)過(guò)程。

賽微電子表示，近年來(lái)，賽萊克斯北京持續(xù)加大研發(fā)投入，自主積累基礎(chǔ)工藝，積極探索各類(lèi)MEMS器件，尤其是為中國(guó)本土客戶(hù)提供優(yōu)質(zhì)的MEMS工藝開(kāi)發(fā)及晶圓制造服務(wù)，積極推動(dòng)公司在本土形成和提升自主可控的MEMS生產(chǎn)制造能力。

募投項(xiàng)目調(diào)整

近期賽微電子2021年加碼MEMS的定增募投項(xiàng)目出現(xiàn)變更。

具體來(lái)看，該募投項(xiàng)目合計(jì)募資約23億元，用于投入8英寸MEMS國(guó)際代工線(xiàn)建設(shè)項(xiàng)目、MEMS高頻通信器件制造工藝開(kāi)發(fā)項(xiàng)目、MEMS先進(jìn)封裝測(cè)試研發(fā)及產(chǎn)線(xiàn)建設(shè)項(xiàng)目以及補(bǔ)充流動(dòng)資金。

今年8月，賽微電子決定將用于“MEMS高頻通信器件制造工藝開(kāi)發(fā)項(xiàng)目”的部分募集資金用途予以變更，即該募投項(xiàng)目募集資金投資規(guī)模由原計(jì)劃的3.26億元縮減為1.46億元，并將變更的該部分募集資金1.8億元永久補(bǔ)充流動(dòng)資金。

今年12月，賽微電子擬在北京市懷柔區(qū)新投資設(shè)立控股子公司海創(chuàng)微元，公司持有海創(chuàng)微元35%股權(quán)，由海創(chuàng)微元作為新實(shí)施主體繼續(xù)實(shí)施“MEMS高頻通信器件制造工藝開(kāi)發(fā)項(xiàng)目”，將尚未使用的募集資金1.46億元及其利息收入通過(guò)海創(chuàng)微元投入該募投項(xiàng)目。

對(duì)于變動(dòng)背景，賽微電子表示，一方面，“MEMS高頻通信器件制造工藝開(kāi)發(fā)項(xiàng)目”募集資金到位后相關(guān)跨境工作的組織實(shí)施遇到外部障礙；另一方面，賽萊克斯北京在自主開(kāi)發(fā)及商業(yè)活動(dòng)中已成功積累相關(guān)工藝，高頻通信MEMS器件的相關(guān)制造工藝研發(fā)工作已獲得開(kāi)展，部分型號(hào)高頻通信MEMS器件的相關(guān)制造工藝已成功解決。

另外，賽微電子新投資設(shè)立的控股子公司，其他股東方懷勝高科技與懷柔科服的實(shí)際控制人來(lái)自北京市懷柔區(qū)人民政府國(guó)有資產(chǎn)監(jiān)督管理委員會(huì)，而北京市懷柔區(qū)正致力于打造“中國(guó)創(chuàng)新、服務(wù)世界”的高端儀器裝備和傳感器產(chǎn)業(yè)特區(qū)，培育產(chǎn)業(yè)集群，打造世界級(jí)高端儀器裝備和傳感器先導(dǎo)區(qū)。因此，根據(jù)募投項(xiàng)目實(shí)施的實(shí)際情況以及賽微電子整體發(fā)展規(guī)劃，為提高募集資金使用效率，充分利用公司與懷柔科學(xué)城的優(yōu)勢(shì)資源，擬對(duì)“MEMS高頻通信器件制造工藝開(kāi)發(fā)項(xiàng)目”的實(shí)施主體及實(shí)施地點(diǎn)進(jìn)行變更。

基于前述原因，賽微電子調(diào)整了“MEMS高頻通信器件制造工藝開(kāi)發(fā)項(xiàng)目”實(shí)施進(jìn)度，從計(jì)劃2023年12月31日達(dá)到預(yù)定可使用狀態(tài)，調(diào)整至2024年6月30日；另外，“MEMS先進(jìn)封裝測(cè)試研發(fā)及產(chǎn)線(xiàn)建設(shè)項(xiàng)目”也從2024年1月31日延期至2025年12月31日。

據(jù)介紹，“MEMS先進(jìn)封裝測(cè)試研發(fā)及產(chǎn)線(xiàn)建設(shè)項(xiàng)目”目前仍處于建設(shè)階段，工藝技術(shù)團(tuán)隊(duì)搭建持續(xù)進(jìn)行，與項(xiàng)目相關(guān)的設(shè)備采購(gòu)已大規(guī)模實(shí)施。在商業(yè)線(xiàn)層面，基于產(chǎn)線(xiàn)選址、資源要素、發(fā)展戰(zhàn)略規(guī)劃等方面的考量，上市公司仍在謹(jǐn)慎商討決策具體建設(shè)方案。

審核編輯 黃宇