中圖共聚焦顯微鏡大傾角超清納米測(cè)量應(yīng)用場(chǎng)景案例
共聚焦顯微鏡可以在非常小的區(qū)域內(nèi)進(jìn)行高分辨率成像,用途廣泛。特別在材料科學(xué)研究中,適合用于觀察材料的表面形貌結(jié)構(gòu)。
中圖共聚焦顯微鏡以針孔共聚焦技術(shù)為原理,廣泛用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)中,對(duì)大傾角的產(chǎn)品有更好的成像效果,在滿足精度情況下使用場(chǎng)景更具有兼容性。


中圖共聚焦顯微鏡對(duì)半導(dǎo)體材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量,大傾角超清納米測(cè)量,最大可測(cè)角度70°,這種高精度的測(cè)量技術(shù)可以幫助研究人員和工程師更好地了解材料的表面形貌,從而優(yōu)化制造工藝;對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,從而獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)。這對(duì)于實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量非常關(guān)鍵,有助于發(fā)現(xiàn)和解決制造過程中的問題,提高半導(dǎo)體器件的性能和可靠性。
中圖共聚焦顯微鏡大傾角超清納米測(cè)量,能夠觀察材料表面和內(nèi)部的微觀結(jié)構(gòu),在半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等領(lǐng)域中,共聚焦顯微鏡能夠?qū)γ嫘屋喞?、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行高精度的測(cè)量和分析。
應(yīng)用場(chǎng)景



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