電子發(fā)燒友網(wǎng)報道（文/吳子鵬）半導體設(shè)備被譽為“工業(yè)制造皇冠上的明珠”。當然，對于半導體設(shè)備而言，大部分人都只了解八大工藝相關(guān)的設(shè)備。實際上，除此之外，隨著半導體工藝日趨復雜，還有一些設(shè)備也是非常關(guān)鍵的，比如AMHS設(shè)備，幫助提升半導體制造工廠稼動率、良率和生產(chǎn)效率。

AMHS是英語Automated Material HandlingSystem的縮寫，中文譯為“自動物料搬運系統(tǒng)”。AMHS并不是指單獨某一款設(shè)備，而是指由傳輸設(shè)備、存儲設(shè)備、凈化設(shè)備和控制軟件等軟硬件共同組成的系統(tǒng)。

過去很長一段時間，AMHS由國際廠商壟斷。近年來，以彌費科技為代表的國內(nèi)廠商在這個領(lǐng)域逐漸形成突破。彌費科技董事長、CEO繆峰表示，彌費科技深耕晶圓廠AMHS已有8-9年的時間，在國內(nèi)已經(jīng)成為這一賽道的領(lǐng)跑者。國產(chǎn)晶圓廠AMHS出貨并交付使用，彌費科技占比超過90%。

彌費科技董事長、CEO繆峰

12月26日，彌費科技臨港生產(chǎn)基地暨全球研發(fā)中心啟用儀式成功舉辦，標志著彌費科技發(fā)展進入嶄新階段?？姺逯赋?，公司的目標是成為全球TOP 3級別的AMHS供應商。

年產(chǎn)能可滿足2-3個整廠AMHS需求

AMHS由傳輸設(shè)備、存儲設(shè)備、凈化設(shè)備和控制軟件等軟硬件共同組成，實際上這里面的設(shè)備類別還能夠進一步細化，比如傳輸設(shè)備可分為天車OHT、協(xié)作式機器人AMR等；存儲設(shè)備可分為Foup&Reticle Stocker、Reticle Cabinet、NTB和OHB等；凈化設(shè)備可分為TLP、OPS、FPS等。

GIR (Global Info Research)的統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，2021年全球半導體加工用AMHS市場規(guī)模大概為24億美元，預計到2028年達到36億美元，其間年復合增長率約為6%。

繆峰介紹說，彌費科技臨港生產(chǎn)基地具備AMHS整套的供應能力。以40K 12吋整廠AMHS為例，產(chǎn)品需求為OHT大概256臺，STK大概30臺，OHBP/TLP大概是2000套。彌費科技臨港生產(chǎn)基地的年產(chǎn)能可滿足2-3個整廠AMHS需求。

據(jù)悉，彌費科技臨港生產(chǎn)基地暨全球研發(fā)中心占地約8000㎡，包含潔凈室、生產(chǎn)線、研發(fā)Lab、倉庫，并構(gòu)建了以天車為核心的潔凈室AMHS整體解決方案2000㎡標準化示范線。這一基地將成為彌費科技提升產(chǎn)能、優(yōu)化產(chǎn)品質(zhì)量、加強創(chuàng)新能力、研發(fā)尖端技術(shù)、培育專業(yè)人才、以及拓展全球市場的堅實基石。

繆峰稱，彌費科技致力于AMHS的研發(fā)、生產(chǎn)與制造，經(jīng)過多年的持續(xù)創(chuàng)新，推出了以天車核心傳輸設(shè)備、協(xié)作式機器人、晶圓存儲設(shè)備、光罩存儲設(shè)備、緩沖存儲設(shè)備、上下料口凈化設(shè)備等三十余種AMHS設(shè)備和軟件調(diào)度系統(tǒng)為代表的產(chǎn)品。這些產(chǎn)品已成功交付給30多家國內(nèi)外晶圓廠客戶，同時積累了豐富的技術(shù)儲備和項目經(jīng)驗。

目前，彌費科技已經(jīng)構(gòu)建出一個以臨港為總部和生產(chǎn)基地，覆蓋全國、輻射全球的全球化體系。在全球化戰(zhàn)略上，繆峰透露，公司目前已經(jīng)有3-4家海外客戶，圍繞海外業(yè)務(wù)布局，彌費科技將會在馬來西亞構(gòu)建一個組裝工廠，更好地滿足海外客戶的供應鏈需求。

堅持產(chǎn)品領(lǐng)先的研發(fā)策略

彌費科技臨港生產(chǎn)基地暨全球研發(fā)中心啟用儀式上，記者參觀了研發(fā)實驗室和工廠。隨后，記者采訪了繆峰和彌費科技CTO李宏偉博士，針對公司產(chǎn)品研發(fā)和后續(xù)發(fā)展進行了交流。

作為國內(nèi)極少數(shù)掌握AMHS核心技術(shù)自主知識產(chǎn)權(quán)的企業(yè)，彌費科技不僅成功打破國際廠商在這一細分領(lǐng)域的壟斷，實現(xiàn)了AMHS產(chǎn)品關(guān)鍵技術(shù)指標對標國際先進水平，并已發(fā)展為能夠為半導體晶圓廠客戶提供國產(chǎn)替代化、軟硬件成套化、產(chǎn)品客制化、供應鏈本土化的AMHS整體解決方案企業(yè)。

李宏偉表示，彌費科技的研發(fā)目標是非常清晰的，就是產(chǎn)品領(lǐng)先。AMHS是一個軟硬件融合的平臺。在這個平臺下，彌費科技定義了六大關(guān)鍵技術(shù)，分別是機器人技術(shù)、運動控制技術(shù)、嵌入式控制技術(shù)、無塵系統(tǒng)、多智能體調(diào)度系統(tǒng)和數(shù)字孿生技術(shù)。

“這些關(guān)鍵技術(shù)都是偏應用的，不是偏向理論基礎(chǔ)的，因此彌費科技的研發(fā)并非從零起步，而是基于流行的標準、開源的框架，進而讓我們在六大關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域的研發(fā)方面具有一定的時間優(yōu)越性?！崩詈陚ヌ岬?，“我們的研發(fā)永遠是正向開發(fā)，不去做逆向工程、做模仿?！?br />
彌費科技的研發(fā)策略是研究一代、儲備一代、開發(fā)一代、部署一代：
·研究一代：主要致力于前沿技術(shù)研究，也就是三年之后AMHS要用到的技術(shù)；
·儲備一代：當一項技術(shù)已經(jīng)比較成熟，會應用到樣機模塊上，應用于明年的產(chǎn)品上；
·開發(fā)一代：今年開發(fā)的產(chǎn)品將會在明年進行上市；
·部署一代：已經(jīng)上市的產(chǎn)品要進行工程部署，進行產(chǎn)品迭代。

芯片制造工藝制程越先進，工序就會越多越復雜，因此對AMHS系統(tǒng)的要求就更高。彌費科技也在持續(xù)提升AMHS的部署能力。根據(jù)李宏偉的介紹，系統(tǒng)控制能力主要和算力、算法、數(shù)據(jù)相關(guān)。在算力方面，彌費科技已經(jīng)著手搭載基于ARM架構(gòu)的多核異構(gòu)算力產(chǎn)品，帶來數(shù)倍的算力提升；在算法方面，彌費科技天狼星算法正在做第二代研發(fā)，會借助強化學習的算法，讓路徑搜索更加合理、高效；在數(shù)據(jù)方面，彌費科技不斷提升的市場占有率就是寶貴的數(shù)據(jù)資源。

關(guān)于產(chǎn)品布局策略，繆峰指出，彌費科技除了在前道工序AMHS領(lǐng)域大力投資和布局外，后道工序所需的AMHS會是一個巨大的藍海市場。和前道工序廠商需要大而全的系統(tǒng)不同，后道工序相關(guān)的廠商會分步驟實現(xiàn)自動化升級。目前，后道工序AMHS市場還處于空白，也缺乏行業(yè)標準。為了更好地開拓后道工序AMHS市場，彌費科技也在積極接觸領(lǐng)先的封測大廠，攜手共同編制一些適用于后道工序AMHS市場的標準。