文章來源：睞芯科技LightSense

原文作者：LIG

介紹了光波干涉的原理是什么，以及該原理可以應(yīng)用于什么領(lǐng)域。

光波干涉在許多領(lǐng)域都有應(yīng)用，例如：干涉儀器、干涉光柵等。而著名的干涉實(shí)驗(yàn)有：楊氏雙狹縫實(shí)驗(yàn)和邁克爾遜干涉儀（Michelson interferometer）。這些實(shí)驗(yàn)和應(yīng)用，有助于研究光波的性質(zhì)，以及應(yīng)用于測(cè)量、圖像處理和科學(xué)研究等領(lǐng)域。

光波干涉原理可應(yīng)用于多種檢測(cè)和測(cè)量領(lǐng)域。

常見的應(yīng)用有以下5種

1.薄膜厚度測(cè)量

光波干涉，可以用來測(cè)量透明薄膜的厚度?？赏ㄟ^觀察干涉條紋的變化，來推斷薄膜的光程差，從而確定其厚度。適用于：透明光學(xué)材料薄膜的測(cè)量。

2.折射率測(cè)量

光波干涉，可以通過測(cè)量材料中光的相位差來計(jì)算折射率，對(duì)于在材料研究、光學(xué)元件制造等領(lǐng)域非常有用。

3. 表面形狀測(cè)量

光波干涉，可以用于測(cè)量物體表面的形狀、高度差、凹凸度等。并經(jīng)由分析干涉條紋的變化，得到物體表面的形狀等信息。適用于：制造業(yè)中的精密表面質(zhì)量檢測(cè)，比如光纖端面3D形貌。

4.光學(xué)元件檢測(cè)

光波干涉，可以用來檢測(cè)光學(xué)元件的性能，如：透鏡的曲率、平面度，光柵的參數(shù)等。

5. 其他應(yīng)用

氣體濃度測(cè)量、機(jī)械震動(dòng)與變形測(cè)量、非破壞性材料檢測(cè)與生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。

光波干涉技術(shù)運(yùn)用例子

1 .光纖端面干涉儀

以單色光或者白色寬帶光的干涉來測(cè)量光纖端面3D形貌技術(shù)，在光纖通信產(chǎn)品上起到重要的作用。在光纖連接器生產(chǎn)車間和實(shí)驗(yàn)室，必備有光纖端面干涉儀，測(cè)量包括FC、SC、LC等單芯、MPO/MTP等多芯光纖產(chǎn)品。非接觸式快速測(cè)量，可同時(shí)測(cè)量光纖高度、纖芯凹陷、連接器研磨角度等參數(shù)。

2. 顯微干涉量測(cè)儀

以光干涉法來測(cè)量薄膜厚度及折射率等技術(shù)，在半導(dǎo)體光學(xué)元件、光學(xué)薄膜的制程或材料的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室里，是顯微干涉量測(cè)儀。非接觸式測(cè)量可同時(shí)測(cè)量反射率、膜厚及光學(xué)系數(shù)；達(dá)到即時(shí)監(jiān)控的目的，且不會(huì)傷害樣品，快速且精準(zhǔn)的達(dá)成測(cè)量目標(biāo)。

審核編輯：湯梓紅