關(guān)于光刻機(jī)，大家還記得美國(guó)荷蘭日本的三方協(xié)議嗎？來(lái)回憶一下。

隨著芯片在各個(gè)領(lǐng)域的重要性不斷提升，人們對(duì)芯片制造的關(guān)注也日益增加。

但半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈非常復(fù)雜，不僅僅涉及到底層的架構(gòu)設(shè)計(jì)，還需要通過(guò)一系列環(huán)節(jié)如制造、封裝、測(cè)試等。

在這其中，制造過(guò)程顯得尤為關(guān)鍵，而高端光刻機(jī)則是制造過(guò)程中不可或缺的設(shè)備。

光刻機(jī)在微電子制造過(guò)程中扮演核心角色，其要求具備高度精密的光學(xué)系統(tǒng)、復(fù)雜的機(jī)械結(jié)構(gòu)和先進(jìn)的控制技術(shù)。

只有高端光刻機(jī)才能實(shí)現(xiàn)極高的分辨率和精度，能夠?qū)崿F(xiàn)微米甚至納米級(jí)的圖案轉(zhuǎn)移。

由于其高度先進(jìn)性，光刻機(jī)的價(jià)格以億美元計(jì)算，不屬于普通產(chǎn)業(yè)設(shè)備，甚至涉及到國(guó)家間的限制。

而眾所周知，荷蘭一直以來(lái)都是半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)源地，長(zhǎng)期以來(lái)在高精尖技術(shù)領(lǐng)域擁有無(wú)可爭(zhēng)議的優(yōu)勢(shì)。

為了遏制我國(guó)，美國(guó)不僅相繼出臺(tái)了一系列的芯片禁令，特別是針對(duì)華為等中企，試圖限制其發(fā)展。

甚至為了保持自身在芯片技術(shù)上的絕對(duì)優(yōu)勢(shì)，美國(guó)與日本、荷蘭簽署了三方協(xié)議，試圖限制向中國(guó)企業(yè)出口中高端光刻機(jī)。

但怎么說(shuō)呢，中國(guó)的訂單利益是非常大的，大到即便協(xié)議在身，也一樣會(huì)想辦法繼續(xù)合作。

所以，情況完全沒(méi)有按照美國(guó)的預(yù)期發(fā)展，以光刻機(jī)為例。

根據(jù)媒體報(bào)道，僅在2023年11月，我國(guó)護(hù)眼共進(jìn)口了42臺(tái)光刻機(jī)，主要來(lái)源于荷蘭和日本。

其中，來(lái)自荷蘭ASML的16臺(tái)光刻機(jī)，以及日本的尼康和佳能合共15臺(tái)，引人矚目。

值得關(guān)注的是，我國(guó)11月從荷蘭進(jìn)口的16臺(tái)光刻機(jī)，較10月的21臺(tái)光刻機(jī)雖減少，但采購(gòu)金額卻明顯上升，表明進(jìn)口設(shè)備主要以更高端的光刻機(jī)為主。

為什么會(huì)出現(xiàn)這種情況呢？很簡(jiǎn)單。

對(duì)企業(yè)而言，限制意味著潛在損失，為減小損失，他們會(huì)在限制實(shí)施前抓住時(shí)間窗口，加速設(shè)備出貨。在這方面，ASML表現(xiàn)尤為突出。

ASML一季度來(lái)自我國(guó)的營(yíng)收占比為8%，二季度達(dá)到24%，三季度增至46%，盡管在第四季度荷蘭實(shí)施了限制，但ASML表示已經(jīng)獲得許可，年底前仍可繼續(xù)向中方企業(yè)供貨。

察覺(jué)到ASML的積極態(tài)度，日本的尼康和佳能自然不愿落后，也加大了出貨力度。

盡管他們可能不敢違反日本的管制措施，但很可能出貨的主要是成熟制程的光刻機(jī)。

可見(jiàn)，設(shè)備商們都在爭(zhēng)分奪秒，盡最大可能在有限時(shí)間內(nèi)向中方企業(yè)提供更多設(shè)備。

然后，截至2024年1月1日，ASML正式宣布取消兩張?jiān)S可證，分別涉及NXT2050i兩款光刻機(jī)，由此不再向中國(guó)大陸銷(xiāo)售。ASML指出，此舉將對(duì)部分晶圓廠產(chǎn)生影響。

隨后，ASML明確表示中國(guó)大陸客戶預(yù)付購(gòu)買(mǎi)的DUV光刻機(jī)積壓訂單已經(jīng)基本全部交付，即表示中國(guó)大陸所需的訂單已全部滿足。

在ASML確認(rèn)所有預(yù)付訂單交付完成的同時(shí)，數(shù)據(jù)顯示，中國(guó)大陸在1-11月份從ASML進(jìn)口的光刻機(jī)金額超過(guò)了500億元，相較去年的約200億元增長(zhǎng)了一倍半。

預(yù)計(jì)全年的進(jìn)口金額將達(dá)到大約600億元左右，相當(dāng)于去年采購(gòu)金額的3倍。

ASML優(yōu)先滿足中國(guó)大陸的訂單，這也是中方與ASML雙方共同努力的結(jié)果。

由于美國(guó)對(duì)光刻機(jī)的購(gòu)買(mǎi)實(shí)施愈發(fā)嚴(yán)格的禁令，2024年前仍能購(gòu)得先進(jìn)的DUV光刻機(jī)，但此后最先進(jìn)的兩款將不再可得。

雖然不知道未來(lái)如何，但這次結(jié)果還是比之前想象的要好了。

審核編輯 黃宇