一区二区三区三上|欧美在线视频五区|国产午夜无码在线观看视频|亚洲国产裸体网站|无码成年人影视|亚洲AV亚洲AV|成人开心激情五月|欧美性爱内射视频|超碰人人干人人上|一区二区无码三区亚洲人区久久精品

0
  • 聊天消息
  • 系統(tǒng)消息
  • 評論與回復
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學習在線課程
  • 觀看技術(shù)視頻
  • 寫文章/發(fā)帖/加入社區(qū)
會員中心
創(chuàng)作中心

完善資料讓更多小伙伴認識你,還能領取20積分哦,立即完善>

3天內(nèi)不再提示

激光測溫法概述

中科院半導體所 ? 來源:睞芯科技LightSense ? 2024-01-14 14:22 ? 次閱讀
加入交流群
微信小助手二維碼

掃碼添加小助手

加入工程師交流群

本文從應用、原理和主要技術(shù)三個方面簡單介紹激光測溫法。

激光測溫應用

激光測溫是溫度量測中的一個新分支,以滿足越來越高質(zhì)量控制的要求。利用各種光學現(xiàn)象,目前有多種光學測溫方法。

激光測溫法應用在金屬制造,半導體加工過程包括等離子蝕刻、光刻、薄膜生長等領域。

激光測溫原理

每一種激光測溫法,都是非接觸測量材料的溫度相關(guān)光學參數(shù),然后根據(jù)相關(guān)參數(shù)模型推算溫度。

材料的溫度相關(guān)參數(shù),例如,可以是折射率、尺寸、電子帶隙、激發(fā)態(tài)等等。

為了確定溫度,用一個光束(通常是激光)照射待測物,測量一個或多個參數(shù):固定波長的反射和或透射系數(shù)、反射和或透射光譜、反射光的偏振態(tài)等等。

下表對比傳統(tǒng)測溫和激光測溫的優(yōu)劣

方法

優(yōu)勢

劣勢

接觸測溫
  1. 簡單的信號生成

  2. 可以在任何表面上進行測量

  1. 一些信號受到電氣干擾的影響

  2. 難以建立可靠的熱接觸

  3. 探測器對接觸區(qū)溫度的影響

  4. 難以應用于移動的物體

  5. 測量延遲

  6. 在腐蝕介質(zhì)中使用有限制

輻射測溫

  1. 通用方法

  2. 非接觸測量

  3. 溫度范圍廣

  4. 可記錄溫度模式

  1. 紅外探測器的敏感光譜范圍內(nèi),缺乏許多材料的發(fā)射率數(shù)據(jù)

  2. 受外部輻射影響

  3. 對表面細節(jié)敏感

  4. 不能在低溫下使用

激光測溫

  1. 高抗噪性

  2. 非接觸測量

  3. 溫度范圍寬靈敏度高

  4. 高空間分辨率

  5. 可以記錄溫度模式

  6. 某些方法的響應時間短于1 ps

  1. 每個方法的應用范圍很窄

  2. 對表面特性敏感

  3. 某些方法中復雜的光學方案

  4. 大多數(shù)方法都需要對每種新材料進行校準

激光測溫主要技術(shù)

  1. 干涉測溫

  2. 橢圓偏振測量測溫

  3. 光熱輻射測溫

  4. 熱反射測溫

1b8ebcca-b290-11ee-8b88-92fbcf53809c.png

上圖是基于光學干涉非接觸式測溫(OICT)的實時溫度測量系統(tǒng)原理圖


聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請聯(lián)系本站處理。 舉報投訴
  • 激光
    +關(guān)注

    關(guān)注

    20

    文章

    3465

    瀏覽量

    67142
  • 紅外探測器
    +關(guān)注

    關(guān)注

    5

    文章

    300

    瀏覽量

    18596
  • 激光測溫
    +關(guān)注

    關(guān)注

    0

    文章

    3

    瀏覽量

    5533

原文標題:激光測溫法概述

文章出處:【微信號:bdtdsj,微信公眾號:中科院半導體所】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

收藏 人收藏
加入交流群
微信小助手二維碼

掃碼添加小助手

加入工程師交流群

    評論

    相關(guān)推薦
    熱點推薦

    闡述基于激光三角測距激光雷達原理

    激光三角測距作為低成本的激光雷達設計方案,可獲得高精度、高性價比的應用效果,并成為室內(nèi)服務機器人導航的首選方案,本文將對激光雷達核心組件進行介紹并重點闡述基于
    的頭像 發(fā)表于 12-27 18:20 ?1972次閱讀
    闡述基于<b class='flag-5'>激光</b>三角測距<b class='flag-5'>法</b>的<b class='flag-5'>激光</b>雷達原理

    利用光譜測量飛秒激光脈沖寬度研究

    基于光譜對飛秒激光振蕩器的脈沖寬度進行了測量,并與自相關(guān)儀的測量進行對比。研究結(jié)果表明光譜與自相關(guān)儀測量的脈沖寬度值相吻合,建立一種實驗室內(nèi)飛秒激光脈沖寬度的測量方法。【關(guān)鍵詞】:
    發(fā)表于 05-04 08:04

    基于FPGA延遲線插入的半導體激光測距[

    為了提高系統(tǒng)的集成度,同時兼顧精度,介紹用FPGA延遲線插入來實現(xiàn)較高精度的脈沖激光測時、測距的原理和技術(shù)途徑。FPGA延遲線插入是在直接計數(shù)的基礎上,采用FPGA內(nèi)部延時單元將
    發(fā)表于 05-13 09:04

    關(guān)于激光測距測溫APD放大問題

    APD前端放大電路,主要用于激光測距測溫,激光器參數(shù)為10ns脈寬和0-200ma的可調(diào)功率,重復頻率是10KHZ(脈沖電流)該電路要求:1.整體電路帶寬100MHz以上2.輸出方波復制700mv
    發(fā)表于 08-08 07:29

    光學薄膜制備中的激光測溫技術(shù)

    概述激光測溫技術(shù)在光學薄膜制備中的應用及其在自動化方面的新進展。
    發(fā)表于 09-09 15:50 ?17次下載

    激光三角測距傳器的設計與實現(xiàn)

    激光三角測距傳器的
    發(fā)表于 01-07 17:24 ?99次下載
    <b class='flag-5'>激光</b>三角<b class='flag-5'>法</b>測距傳器的設計與實現(xiàn)

    相位激光測距技術(shù)研究概述

    相位激光測距技術(shù)研究概述,有需要的下來看看
    發(fā)表于 01-02 19:33 ?28次下載

    相位激光測距的實現(xiàn)

    相位激光測距的實現(xiàn),有需要的額可以下來看看
    發(fā)表于 01-02 19:33 ?70次下載

    用于相位激光測距的電路系統(tǒng)設計

    用于相位激光測距的電路系統(tǒng)設計
    發(fā)表于 06-14 15:19 ?149次下載

    鐵路專用輕便型紅外測溫儀的規(guī)程標準資料概述

    鐵路專用輕便型紅外測溫儀(以下簡稱測溫儀)用于鐵路機車、車輛軸溫和鐵路其他設備溫度的非接觸式快速測量。測溫儀主要由光學系統(tǒng)、探測器、信號處理和顯示部分組成。根據(jù)結(jié)構(gòu)分為可調(diào)發(fā)射率和固定發(fā)射率、帶有
    發(fā)表于 03-02 16:59 ?9次下載

    解決方案|先進合金激光焊接測溫

    前言升溫速度快,對測溫儀響應速度要求較高光路上有粉塵影響測溫一、要解決的問題激光波段一般為近紅外,若與測溫儀響應范圍相同或近似則會嚴重影響測溫
    的頭像 發(fā)表于 11-23 17:03 ?1022次閱讀
    解決方案|先進合金<b class='flag-5'>激光</b>焊接<b class='flag-5'>測溫</b>

    基于激光三角測距激光雷達原理

    目前激光雷達的測量原理主要有脈沖、相干法和三角3種,脈沖和相干光激光雷達的硬件要求高,
    發(fā)表于 12-25 10:04 ?1572次閱讀
    基于<b class='flag-5'>激光</b>三角測距<b class='flag-5'>法</b>的<b class='flag-5'>激光</b>雷達原理

    表帶式無線測溫傳感器測溫系統(tǒng)概述

    表帶式無線測溫傳感器,通過無線射頻技術(shù)將測溫數(shù)據(jù)發(fā)送到收發(fā)器,再由收發(fā)器將數(shù)據(jù)傳送至測溫終端顯示,測溫終端可將溫度數(shù)據(jù)傳送到監(jiān)控系統(tǒng)。避免了傳統(tǒng)紅外線
    的頭像 發(fā)表于 01-08 09:52 ?1709次閱讀
    表帶式無線<b class='flag-5'>測溫</b>傳感器<b class='flag-5'>測溫</b>系統(tǒng)<b class='flag-5'>概述</b>

    激光測溫之干涉測溫技術(shù)知識簡析

    干涉測溫技術(shù)是幾種主要的激光測溫方法之一。
    的頭像 發(fā)表于 01-16 09:30 ?2576次閱讀
    <b class='flag-5'>激光</b><b class='flag-5'>測溫</b>之干涉<b class='flag-5'>測溫</b>技術(shù)知識簡析

    激光導熱系數(shù)測試儀:現(xiàn)代材料熱性能分析的高效工具

    概述激光導熱系數(shù)測試儀是一種基于瞬態(tài)測量原理的高精度熱物性分析儀器,廣泛應用于材料科學、能源技術(shù)、電子封裝、航空航天等領域。該儀器通過激光脈沖照射樣品表面,利用紅外探測器記錄樣品背面
    的頭像 發(fā)表于 06-24 11:18 ?92次閱讀
    <b class='flag-5'>激光</b><b class='flag-5'>法</b>導熱系數(shù)測試儀:現(xiàn)代材料熱性能分析的高效工具