微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機(jī)電系統(tǒng)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級(jí)。微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。同樣，它也是功率放大器的應(yīng)用領(lǐng)域之一，今天Aigtek安泰電子就和大家聊聊關(guān)于它的那些事。

MEMS是一個(gè)獨(dú)立的智能系統(tǒng)，可大批量生產(chǎn)，其系統(tǒng)尺寸在幾毫米乃至更小，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級(jí)。例如，常見(jiàn)的MEMS產(chǎn)品尺寸一般都在3mm×3mm×1.5mm，甚至更小。

一個(gè)MEMS傳感器里面最重要的芯片為MEMS芯片和ASIC芯片，其中MEMS芯片負(fù)責(zé)感知信號(hào)，將測(cè)量量轉(zhuǎn)化為電阻、電容等信號(hào)變化；ASIC芯片負(fù)責(zé)將電容、電阻等信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，其中涉及到信號(hào)的轉(zhuǎn)換和放大等功能。

與傳統(tǒng)的機(jī)械傳感器相比，MEMS傳感器具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化等特點(diǎn)。在微米量級(jí)的特征尺寸MEMS傳感器可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功能。因此，MEMS傳感器正逐步取代傳統(tǒng)機(jī)械傳感器的主導(dǎo)地位，在消費(fèi)電子產(chǎn)品、汽車工業(yè)、航空航天、機(jī)械、化工及醫(yī)藥等領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。

MEMS傳感器應(yīng)用領(lǐng)域

MEMS傳感器種類極多，可應(yīng)用于物理、化學(xué)、生物等領(lǐng)域信號(hào)的探測(cè)，較為常見(jiàn)的種類有加速度傳感器、慣性傳感器、壓力傳感器、MEMS陀螺儀以及MEMS麥克風(fēng)等。目前MEMS傳感器在消費(fèi)電子、醫(yī)療、汽車電子以及工業(yè)等應(yīng)用領(lǐng)域占比最高。

對(duì)于大多數(shù)MEMS傳感器和執(zhí)行器來(lái)說(shuō)，能夠使其正常使用和發(fā)揮其功能性，主要是通過(guò)內(nèi)部可動(dòng)微結(jié)構(gòu)在允許的范圍內(nèi)進(jìn)行一定變形和位移來(lái)實(shí)現(xiàn)的，因而對(duì)MEMS微結(jié)構(gòu)進(jìn)行模態(tài)測(cè)試就必須使其處于振動(dòng)的狀態(tài)，也就是對(duì)其進(jìn)行激勵(lì)。理想的MEMS微結(jié)構(gòu)激勵(lì)方法應(yīng)該具有三個(gè)特點(diǎn)：一是非接觸性；二是非破壞性；三是較大的激振帶寬。MEMS測(cè)試的激勵(lì)方法主要包括有靜電激勵(lì)、磁激勵(lì)、熱激勵(lì)、壓電激勵(lì)、聲激勵(lì)和基于壓電陶瓷的底座激勵(lì)。

在這些激勵(lì)方法中，選擇合適的激勵(lì)裝置尤為重要，Aigtek超聲功率放大器最大輸出電壓20kVp-p（±10kVp）,最大輸出功率6500VA，最大輸出電流18Ap，帶寬（-3dB）高達(dá)DC~22MHz，電壓增益數(shù)控可調(diào)。滿足不同壓激勵(lì)指標(biāo)的需求。它還被廣泛應(yīng)用在細(xì)胞微粒分選，電場(chǎng)粒子偏轉(zhuǎn)，無(wú)線電能傳輸?shù)妊芯款I(lǐng)域。

ATA-2042高壓放大器

帶寬：（-3dB）DC~500kHz

電壓：400Vp-p（±200Vp）

電流：100mAp

功率：20Wp

壓擺率：≥445V/μs

可程控

輸出電壓軌三檔可調(diào)

直流偏置連續(xù)可調(diào)

MEMS傳感器是人工智能重要的底層硬件之一，傳感器收集的數(shù)據(jù)越豐富和精準(zhǔn)，人工智能的功能才會(huì)越完善。未來(lái)，智能家居、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、車聯(lián)網(wǎng)、智能城市、機(jī)器人等新產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域都將為MEMS傳感器行業(yè)帶來(lái)廣闊的市場(chǎng)空間。

審核編輯 黃宇