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FixInst榮獲“科技創(chuàng)新獎優(yōu)秀獎”!

飛思儀表FixInst ? 來源:飛思儀表FixInst ? 2024-03-13 10:57 ? 次閱讀
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經(jīng)過 FixInst 材料研發(fā)團隊的不懈努力,項目《基于晶振微天平原理的超低濕度測量技術及應用》研發(fā)落地成功!

在《2022年度民營科技發(fā)展貢獻獎》評選中,成功榮獲了由中華人民共和國科學技術部、國家科學技術獎勵工作辦公室批準設立、中國民營科技促進會頒發(fā)的“科技創(chuàng)新獎優(yōu)秀獎”!

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項目介紹

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FIXINST-Q QCM雙QCM濕度敏感層的多孔結構

應用方向:

氣體純度品質(zhì)其中一個核心參數(shù)的檢測。例如電子特氣 (>5N) 幾乎貫穿整個半導體制程工藝包括沉積、光刻、刻蝕、擴散、退火等關鍵工序。其雜質(zhì)含量直接影響晶圓廠的技術指標和良率

項目優(yōu)勢:

超低露點(-120 ℃td)濕敏材料的成功研發(fā),可檢測超高純度 (>6N) 電子特氣的雜質(zhì)含量;雙QCM傳感器的專利方案,可實時在線進行污染補償,大大改善了QCM怕污染的弱點

目前產(chǎn)業(yè)化應用產(chǎn)品:

F138x 系列 QCM露點及壓力多參數(shù)變送器F141x 系列 雙QCM標準型露點變送器



審核編輯:劉清

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原文標題:企業(yè)榮譽 | FixInst 榮獲科技創(chuàng)新獎優(yōu)秀獎!

文章出處:【微信號:Fixinst,微信公眾號:飛思儀表FixInst】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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