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液體流量計(jì)在單晶爐設(shè)備中的應(yīng)用方案

vogreat ? 來(lái)源:vogreat ? 作者:vogreat ? 2024-04-12 16:10 ? 次閱讀
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近年世界光伏市場(chǎng)增長(zhǎng)非常迅速,光伏產(chǎn)業(yè)也隨之迅速擴(kuò)張。單晶爐是半導(dǎo)體和太陽(yáng)能行業(yè)重要的生產(chǎn)設(shè)備,其冷卻水系統(tǒng)較為復(fù)雜,對(duì)安全性的要求較高。

在高爐消費(fèi)過(guò)程中,由于爐內(nèi)產(chǎn)生大量的熱量,任何爐襯材料都難以承受這樣的高溫作用,必須對(duì)其爐體進(jìn)行合理的冷卻,同時(shí)對(duì)冷卻介質(zhì)進(jìn)行有效的控制,以便到達(dá)有效的冷卻,使之既不危及耐火材料的壽命,又不會(huì)因?yàn)槔鋮s元件的泄露而影響高爐的操作。因此對(duì)高爐冷卻介質(zhì)進(jìn)行必要的監(jiān)測(cè)和控制尤為重要。

生產(chǎn)單晶硅的單晶爐設(shè)備,它的內(nèi)部結(jié)構(gòu)復(fù)雜,而單晶硅的生產(chǎn)對(duì)環(huán)境要求極為苛刻,比如爐體溫度;如果冷卻水供應(yīng)不及時(shí),就可能導(dǎo)致?tīng)t體變形,造成硅晶體產(chǎn)品的不合格以及設(shè)備的損失,所以需要在冷卻水的主管路和支管路上對(duì)水進(jìn)行流量的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。

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奧松電子研發(fā)的渦街水流量計(jì)可以對(duì)單晶爐、切片機(jī)、擴(kuò)散爐等設(shè)備的冷卻系統(tǒng)中的冷卻水流量進(jìn)行精準(zhǔn)監(jiān)測(cè),以達(dá)到冷卻降溫的需求,保障產(chǎn)品合格,設(shè)備正常運(yùn)行。水流量計(jì)通過(guò)傳感器芯片感應(yīng)漩渦大小,可測(cè)量2~16 L/min、5~40 L/min、10~100 L/min等流經(jīng)管道內(nèi)的多個(gè)量程范圍的液體流量,傳感器具有<2%的出色重復(fù)性,流量精度小于±3%F.S,可在-10℃至65℃的環(huán)境溫度下保持性能穩(wěn)定,表現(xiàn)出色,性?xún)r(jià)比高。內(nèi)部無(wú)運(yùn)動(dòng)部件,具有長(zhǎng)使用壽命、耐污染、高精度、無(wú)漂移等特點(diǎn)。

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審核編輯 黃宇

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