據(jù)天眼查披露，長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)技術(shù)有限公司于2024年4月5日發(fā)布了其關(guān)于“沉積設(shè)備、靜電卡盤(pán)、加熱機(jī)構(gòu)及其控溫方法”的專利，專利號(hào)為CN117821945A。

此項(xiàng)發(fā)明涉及一種新型沉積設(shè)備、靜電卡盤(pán)和加熱機(jī)構(gòu)，并提供了相應(yīng)的控溫方法。加熱機(jī)構(gòu)主要由導(dǎo)熱板、加熱組件及控制器組成。加熱組件包含至少兩個(gè)加熱元件，其中一個(gè)為主加熱元件，其他則作為備用?？刂破髫?fù)責(zé)控制各加熱組件的運(yùn)行，并在主加熱元件發(fā)生故障時(shí)啟動(dòng)備用加熱元件。當(dāng)某加熱組件的主加熱元件失效時(shí)，其備用加熱元件會(huì)立即投入使用，由于備用加熱元件與主加熱元件在導(dǎo)熱板上的位置基本重合，因此能夠有效防止加熱過(guò)程中出現(xiàn)中斷，確保導(dǎo)熱板受熱均勻，從而提高加熱機(jī)構(gòu)的穩(wěn)定性和控溫效果，進(jìn)而保障產(chǎn)品的加工質(zhì)量。