中科微感MEMS氣體傳感器量產(chǎn)技術(shù)再次突破瓶頸，良品率接近98%
中科微感金屬氧化物基MEMS氣體傳感器量產(chǎn)技術(shù)再次突破瓶頸。以CM-A107S氫氣傳感器為例，晶圓級萬顆批量生產(chǎn)，單顆LGA封裝的MEMS氫氣傳感器初始阻值和響應(yīng)值一致性偏差逼近5%，良品率接近98%。本量產(chǎn)技術(shù)的突破，為人工智能嗅覺傳感器的普遍應(yīng)用推廣打下堅實基礎(chǔ)，為未來氣味數(shù)字化應(yīng)用提供了標(biāo)準(zhǔn)化和低成本的硬件解決方案。
隨機抽取70顆CM-A107S氫氣傳感器（LGA封裝），進行空氣中每顆阻值和500 ppm氫氣響應(yīng)值測試統(tǒng)計，結(jié)果如下圖所示。
審核編輯：劉清
聲明：本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用，如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題，請聯(lián)系本站處理。
舉報投訴
-
氣體傳感器
+關(guān)注
關(guān)注
14文章
578瀏覽量
38357 -
MEMS技術(shù)
+關(guān)注
關(guān)注
0文章
143瀏覽量
21527 -
LGA封裝
+關(guān)注
關(guān)注
0文章
14瀏覽量
3321
原文標(biāo)題：中科微感MEMS氣體傳感器量產(chǎn)技術(shù)再次突破瓶頸，批量一致性偏差逼近5%，良品率接近98%
文章出處：【微信號：MEMSensor，微信公眾號：MEMS】歡迎添加關(guān)注！文章轉(zhuǎn)載請注明出處。
發(fā)布評論請先 登錄
相關(guān)推薦
熱點推薦
瑞之辰MEMS壓力傳感器：“小而精”技術(shù)引領(lǐng)國產(chǎn)替代
“小而精”，已經(jīng)成為工業(yè)傳感器的研發(fā)趨勢，瑞之辰用MEMS技術(shù)打破了“尺寸小等于性能弱”的固有認(rèn)知。尺寸為10mm×2.6mm的金屬封裝壓力傳感器，不僅是
微著科技 致力于成為中國高性能MEMS傳感器及解決方案領(lǐng)域的領(lǐng)航者
高校，并在傳感器領(lǐng)域擁有超過十年的技術(shù)積累。微著科技致力于成為中國高性能MEMS傳感器及解決方案領(lǐng)域的領(lǐng)航者，推動國產(chǎn)化、自主化和可控化的進
創(chuàng)飛芯0.13μm eFuse OTP IP量產(chǎn)突破1.5萬片
一站式NVM存儲IP供應(yīng)商珠海創(chuàng)飛芯（CFX）宣布，憑借自主研發(fā)采用 eFuse 結(jié)構(gòu)的OTP IP，在基于0.13μm 平臺的 CMOS 圖像傳感器量產(chǎn)方面取得重大突破，晶圓量產(chǎn)數(shù)量成功突破
MEMS聲敏傳感器分類與應(yīng)用
等多個領(lǐng)域展現(xiàn)出了廣闊的應(yīng)用前景。本文將帶您深入了解MEMS聲敏傳感器的分類與應(yīng)用，探索這個微型化聲音世界的奧秘。 ? 一、MEMS聲敏傳感器的分類
微型傳感革命：國產(chǎn)CMOS-MEMS單片集成技術(shù)、MEMS Speaker破局
=（電子發(fā)燒友網(wǎng)綜合報道）在萬物互聯(lián)與智能硬件的浪潮下，傳感器微型化、高精度化正成為產(chǎn)業(yè)升級的核心驅(qū)動力。MEMS（微機電系統(tǒng)）與CMOS（互補金屬氧化物半導(dǎo)體）技術(shù)的深度融合，被視為突破
發(fā)表于 03-18 00:05
?1062次閱讀
國產(chǎn)電容式MEMS壓力傳感器得到實現(xiàn)
? ? ? ?MEMS壓力傳感器是技術(shù)與資本密集型產(chǎn)業(yè),國內(nèi)缺乏從事MEMS壓力芯片研發(fā)與量產(chǎn)的企業(yè)，M
午芯芯科技國產(chǎn)電容式MEMS壓力傳感器芯片突破卡脖子技術(shù)
從設(shè)計到生產(chǎn)，包括原材料，全部國產(chǎn)化，無任何外資，不受國外技術(shù)或價格影響，供應(yīng)穩(wěn)定。3.后續(xù)會推出加速度計、陀螺儀、硅麥等產(chǎn)品午芯芯科技WXP380 是電容式 MEMS 壓力傳感器芯片，具有低功耗、低
發(fā)表于 02-19 12:19
中科曙光助力浙江精準(zhǔn)醫(yī)療實驗室突破算力瓶頸
水平具有重要意義。 然而，在冷凍電鏡等應(yīng)用場景中，算力瓶頸一直是制約科研進展的關(guān)鍵因素之一。為了突破這一瓶頸，實驗室引入了中科曙光的高端計算解決方案。
中科微感發(fā)布MEMS硫化氫傳感器CM-B111S，精準(zhǔn)高效保障
近日，中科微感正式推出了其最新研發(fā)的MEMS硫化氫氣體傳感器——CM-B111S。該
MEMS傳感器應(yīng)用領(lǐng)域 MEMS技術(shù)在智能手機中的應(yīng)用
MEMS傳感器，即微型傳感器，是將機械結(jié)構(gòu)和電子電路集成在一塊硅片上的高科技裝置。其應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，特別是在智能手機中的應(yīng)用尤為突出。以下是對MEMS
mems傳感器是什么意思_mems傳感器原理是什么
MEMS傳感器是一種微型電子機械系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical Systems）傳感器，它將傳感器和微機電系統(tǒng)集成在一起，利用
格科微5000萬像素圖像傳感器量產(chǎn)出貨
近日，格科微發(fā)布公告稱，公司自主研發(fā)的5000萬像素圖像傳感器產(chǎn)品已實現(xiàn)量產(chǎn)出貨，并成功進入海內(nèi)外中高端品牌手機后主攝市場。
格科微:5000萬像素圖像傳感器實現(xiàn)量產(chǎn)出貨
格科微于10月13日發(fā)布公告，宣布其5，000萬像素圖像傳感器產(chǎn)品已成功實現(xiàn)量產(chǎn)出貨。該產(chǎn)品建立在格科微已量產(chǎn)的3，200萬像素圖像
MEMS傳感器：微制造革命的藝術(shù)與科技交響
MEMS傳感器基本構(gòu)成MEMS被認(rèn)為是21世紀(jì)最有前途的技術(shù)之一，如果半導(dǎo)體微制造被視為第一次微
工商網(wǎng)監(jiān)
評論