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蘇州敏芯微電子:氣流傳感器及封裝技術(shù)卓越

微云疏影 ? 來源:綜合整理 ? 作者:綜合整理 ? 2024-05-24 09:46 ? 次閱讀
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近期,蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司成功獲得了一項(xiàng)創(chuàng)新性的專利——“氣流傳感器及氣流傳感器封裝結(jié)構(gòu)”,該專利的授權(quán)公告號(hào)為CN116982758B,授權(quán)公告日期為2024年5月17日,申請(qǐng)日期為2023年9月26日。

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此項(xiàng)專利發(fā)明了一種新型的氣流傳感器及其封裝結(jié)構(gòu)。該傳感器由基底、振動(dòng)電極和固定電極三部分組成,基底設(shè)有貫穿其厚度方向的背腔。此外,該傳感器還設(shè)有至少一個(gè)均壓結(jié)構(gòu),并將其與間隙層進(jìn)行物理隔離,以確保在傳感器背腔與外部空間之間形成連續(xù)的流動(dòng)路徑。這樣做既能保證非工作狀態(tài)下,振動(dòng)電極兩側(cè)表面的壓力平衡,避免ASIC檢測(cè)到信號(hào)引發(fā)其他部件誤觸發(fā);又能防止污染物從均壓孔進(jìn)入,降低產(chǎn)品失效率。

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