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俄羅斯首臺(tái)光刻機(jī)問世

半導(dǎo)體芯科技SiSC ? 來源:半導(dǎo)體芯科技SiSC ? 作者:半導(dǎo)體芯科技SiS ? 2024-05-28 15:47 ? 次閱讀
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據(jù)外媒報(bào)道,目前,俄羅斯首臺(tái)光刻機(jī)已經(jīng)制造完成并正在進(jìn)行測試。

俄羅斯聯(lián)邦工業(yè)和貿(mào)易部副部長瓦西里-什帕克(Vasily Shpak)表示,已組裝并制造了第一臺(tái)國產(chǎn)光刻機(jī),作為澤廖諾格勒技術(shù)生產(chǎn)線的一部分,目前正在對其進(jìn)行測試,該設(shè)備可確保生產(chǎn)350nm的芯片。什帕克還指出,到2026年將獲得130nm的國產(chǎn)光刻機(jī),下一步將是開發(fā)90nm光刻機(jī),并繼續(xù)向下邁進(jìn)。

此前,俄羅斯曾表示,計(jì)劃到2026年實(shí)現(xiàn)65nm的芯片節(jié)點(diǎn)工藝,2027年實(shí)現(xiàn)28nm本土芯片制造,到2030年實(shí)現(xiàn)14nm國產(chǎn)芯片制造。

審核編輯 黃宇

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