半導體行業(yè)的精進不斷推動著光源技術(shù)的發(fā)展。172nm準分子燈作為一種專業(yè)的光源，以其獨特的光譜特性，在半導體制造的多個關(guān)鍵環(huán)節(jié)中展現(xiàn)出了巨大的應用潛力。

廣明源20多年來專注于光科技應用的研發(fā)與制造，致力于為合作伙伴提供高性價比的光科技解決方案。本文我們共同探討172nm準分子燈在光清洗、光固化、親水改性以及純水制備TOC降解這四個方面的應用。

光清洗應用

在半導體芯片制造過程中，基材表面的清潔度對器件性能有著直接影響。172nm準分子燈發(fā)出的深紫外線光能有效清除基材表面的有機污染物和微粒，實現(xiàn)高精度的光清洗。

應用優(yōu)勢：

●高清潔效率：深紫外線光子能量足以斷裂大多數(shù)化學鍵，實現(xiàn)快速清洗。

●無殘留清洗：避免了化學清洗劑殘留可能引起的二次污染。

光固化應用

光固化技術(shù)在半導體行業(yè)同樣發(fā)揮重要作用，利用172nm準分子燈提供的高能光子，快速引發(fā)光敏材料的聚合反應，加速固化過程。

應用優(yōu)勢：

●快速固化：172nm準分子燈可釋放高能深紫外光，有助于縮短生產(chǎn)周期，提高制造效率。

●表面固化：172nm紫外光發(fā)出高能輻射，使分子鍵斷裂，促進不同單體分子發(fā)生交聯(lián)反應，實現(xiàn)材料表層的功能性固化。

光改性應用

除了光清洗和光固化，172nm準分子燈還在親水改性方面展現(xiàn)出獨特優(yōu)勢。通過其紫外線能量，對半導體器件的材料表面進行親水改性，增強表面活性，改善器件的濕潤性和粘附性，從而提升器件的整體性能。

應用優(yōu)勢：

●改善濕潤性：通過降低表面張力提升親水性，進而改善潤濕性能。

●增強粘附力：親水改性有助于提高材料間的粘附力，對封裝工藝尤為重要。

純水制備TOC降解應用

在超純水（Ultrapure Water）的制備過程中，172nm準分子燈同樣發(fā)揮著重要作用。它能夠有效降解水中的總有機碳(TOC)，將水中TOC含量降低到ppb級別。

應用優(yōu)勢:

●高效降解：深紫外線能夠有效分解有機污染物，降低TOC含量。

●確保水質(zhì)：為半導體工藝提供穩(wěn)定可靠的超純水。

172nm準分子燈在半導體行業(yè)的應用展現(xiàn)了其作為光源技術(shù)的多功能性和高效性。從提升清洗效率到改善材料特性，再到確保水質(zhì)純凈度，172nm準分子燈正成為半導體制造中不可或缺的工具。隨著技術(shù)的不斷進步，其應用范圍預計將進一步擴大，為半導體行業(yè)帶來更多創(chuàng)新可能。我們熱切期待與您共同探索172nm準分子燈在工業(yè)的更多應用潛力。