iFocus 自動(dòng)對(duì)焦模塊，輕松解決高倍率自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)難題

iFocus自動(dòng)對(duì)焦模塊

iFocus實(shí)時(shí)自動(dòng)對(duì)焦模塊是51camera的合作廠商iCore的明星產(chǎn)品。它可實(shí)時(shí)自動(dòng)對(duì)焦，主要應(yīng)用于高倍率光學(xué)系統(tǒng)的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)(AOI)，可在半導(dǎo)體和顯示器檢測(cè)中，實(shí)時(shí)測(cè)量目標(biāo)物體的位置，并采集光學(xué)圖像以快速檢測(cè)1μm或更低的缺陷。

iFocus自動(dòng)對(duì)焦模塊具有自動(dòng)對(duì)焦功能，可自動(dòng)對(duì)焦，由于在高倍放大光學(xué)系統(tǒng)中，光場(chǎng)深度(DOF)非常淺，改變物體的高度可能會(huì)導(dǎo)致焦點(diǎn)偏離，該模塊提供了一個(gè)測(cè)量距離并實(shí)時(shí)保持目標(biāo)對(duì)象與光學(xué)系統(tǒng)之間恒定距離的解決方案。下面我們來看看自動(dòng)對(duì)焦模塊IT-AFM-V1的相關(guān)信息。

自動(dòng)對(duì)焦模塊

IT-AFM-V1通過在現(xiàn)有光學(xué)系統(tǒng)中安裝AF相機(jī)和線激光器來配置硬件，同時(shí)使用光學(xué)三角測(cè)量法。允許AF相機(jī)捕獲激光束從待拍攝的目標(biāo)反射的位置。AF相機(jī)根據(jù)像素中的焦距計(jì)算出變化的長度，并通過實(shí)時(shí)控制電機(jī)來保持焦距。

由于模塊中配備了FPGA，因此可以在最大1.2kHz的頻率下測(cè)量位置，并在圖像的所有區(qū)域中保證均勻的質(zhì)量。

01性能特點(diǎn)

IT-AFM-V1具有以下性能特點(diǎn)：

采用光學(xué)三角測(cè)量法的實(shí)時(shí)自動(dòng)對(duì)焦

采樣率1.0kHz

捕獲范圍±1500μm

自動(dòng)曝光和自動(dòng)激光控制

噪聲處理功能

02規(guī)格參數(shù)

iFocus自動(dòng)對(duì)焦模塊規(guī)格表

型號(hào)	IT-AFM-VI
采樣率	最高 1.0kHz
感應(yīng)類型	光學(xué)三角測(cè)量
管理模塊	1.0X倍率，21mm成像圈
芯片	自動(dòng)曝光/自動(dòng)激光控制通過PD反饋控制激光亮度多層檢測(cè)(最多5層) 支持實(shí)時(shí)圖形顯示
跟蹤模式	開/單次/連續(xù)
運(yùn)動(dòng)控制	支持手動(dòng)/絕對(duì)/增量移動(dòng)支持硬件限制&軟件限制自動(dòng)校準(zhǔn)
接口	RS-485(最高921.600bps)
線性誤差	<0.1%(根據(jù)光學(xué)性能變化)
重復(fù)性	<0.2μm(根據(jù)光學(xué)性能變化)
沖程?	10mm(±5mm)
分辨率	0.05μm/pulse

03應(yīng)用領(lǐng)域

FPD檢測(cè)

薄膜檢測(cè)

晶圓檢測(cè)

PCB檢測(cè)

玻璃檢測(cè)

04機(jī)械尺寸

配套軟件

IT-AFM-V1自動(dòng)對(duì)焦模塊可搭配軟件：

iTAF ConfiguratorVer1.2.1

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