H32.TR4S系列壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)其內(nèi)部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)θx、θy偏擺及θz旋轉(zhuǎn)三維運(yùn)動(dòng)。它具有響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高、負(fù)載大等特點(diǎn)。因其優(yōu)異的性能，可在模擬振動(dòng)環(huán)境中作為模擬振動(dòng)臺(tái)，完成高精度、快速的微振動(dòng)控制，從而滿足用戶對(duì)精密裝備控制精度的測(cè)試分析，以驗(yàn)證和提高高端精密儀器與裝備的性能。產(chǎn)品外觀如下圖所示。

產(chǎn)品特點(diǎn)

θx、θy偏擺及θz旋轉(zhuǎn)

θx、θy偏擺角度可達(dá)4.6mrad/軸

θz旋轉(zhuǎn)角度可達(dá)3.2mrad

分辨率可達(dá)0.05μrad

承載可達(dá)1kg

閉環(huán)版本定位精度高

亞毫秒響應(yīng)時(shí)間

產(chǎn)品應(yīng)用

振動(dòng)試驗(yàn)

空間擾動(dòng)模擬系統(tǒng)

干涉/計(jì)量

大負(fù)載運(yùn)動(dòng)試驗(yàn)

技術(shù)參數(shù)

配套控制器

E70.D4系列壓電控制器非常適用于驅(qū)動(dòng)H32.TR4S系列壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)。它是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的四通道壓電控制器。采用DC24V供電，輸出電壓為0~120V或0~150V，開(kāi)閉環(huán)可選，模擬及數(shù)字控制，可通過(guò)串口、USB或網(wǎng)口進(jìn)行數(shù)字通信，且體積小，非常易于集成。

審核編輯 黃宇