本文較為詳細(xì)地介紹半導(dǎo)體的能帶理論。
半導(dǎo)體能帶理論及結(jié)構(gòu)
半導(dǎo)體技術(shù)的持續(xù)發(fā)展得益于半導(dǎo)體理論在固體電子學(xué)(隨著固體器件特別是半導(dǎo)體集成電路的空前發(fā)展出現(xiàn)的一門新興學(xué)科)基礎(chǔ)上的建立與發(fā)展,其主要內(nèi)容可概括為研究半導(dǎo)體中載流子(carrier)按能量狀態(tài)的分布、躍遷(能量狀態(tài)的改變)和輸運(yùn)(能量的定向傳遞)。 本文會向大家較為詳細(xì)地介紹半導(dǎo)體能帶理論。 對于物質(zhì)劃分為導(dǎo)體、半導(dǎo)體和絕緣體,主要依據(jù)是其電子狀態(tài)。 能帶理論:描述固體中電子按能量分布的狀態(tài),從而對導(dǎo)體、半導(dǎo)體和絕緣體從本質(zhì)上做出科學(xué)區(qū)分的理論。 能帶理論的基本觀點(diǎn)認(rèn)為任何固體中所有電子的能級并非按能量均勻分布,而是在某一能量范圍內(nèi)密集成帶,而與其鄰接的高、低兩個能量范圍卻是電子的能量禁區(qū);或者說固體中所有電子的允許能級皆按其所屬電子性質(zhì)的不同而密集成不同的能帶,能帶之間由稱為禁帶或能隙的能量禁區(qū)隔開。
電子的波粒二象性
電子的波粒二象性是近代電子論從理論和實驗兩方面證明的,其內(nèi)涵是指電子及其運(yùn)動既有粒子性特征,也有波動性特征。通常用德布羅意關(guān)系來描述電子波粒二象性,其數(shù)學(xué)表達(dá)式如下: P=hk,E=hv 式中,k為波的特征參數(shù)波矢k,v為頻率,P,E分別對應(yīng)動量和能量,h為普朗克常數(shù)。 2.自由空間中的電子和周期勢場中的電子 根據(jù)經(jīng)典力學(xué)中運(yùn)動粒子能量與動量的關(guān)系和上述德布羅意關(guān)系,可將自由空間中電子能量與動量的關(guān)系表示為能量與波數(shù)(波矢)的關(guān)系: E(k)=(hk)^2/2m 這是一個拋物線型的以波數(shù)k為自變量的連續(xù)函數(shù),式中m為電子性質(zhì)量。 考慮單個電子在一維周期勢場來概括固體中電子的運(yùn)動環(huán)境,據(jù)此求解電子波函數(shù)的薛定諤方程,建立了能帶理論的基本構(gòu)架。結(jié)果表明,在一維周期勢場中,受周期勢場的擾動,電子的E(k)函數(shù)在=±nπ/2a,n=1,2,3…處不連續(xù)、如下圖(圖1)所示:
圖1 真空與一維周期勢場中電子的E(k)關(guān)系 所謂能帶結(jié)構(gòu),就是固體中電子的能量與動量之間的關(guān)系,即函數(shù)E(k)。不涉及電子的動量變化,只是能帶結(jié)構(gòu)的一種簡易表示法,如下圖(圖2)所示:
晶體中出現(xiàn)一個由N條分裂能級構(gòu)成的s能帶,其N個價電子只能填滿下面一半能級,如(a)所示;絕對零度時,其4N個價電子恰好填滿能量較低的一個能帶(成鍵帶),能量較高的能帶(反鍵帶)空著,如(b)所示;當(dāng)原子因為有8個外層電子,其所有分裂能級都會被電子填滿,不會出現(xiàn)空狀態(tài),如(c)所示。 而圖1,可以看做是一個理想一維晶體的E(k)關(guān)系。對于實際的三維晶體,其E(k)關(guān)系顯然要復(fù)雜得多。為了清晰反映某種材料能帶結(jié)構(gòu)的主要特征,通常只在動量空間的兩個特征方向[譬如(100)方向和(111)方向]上畫出E(k)函數(shù)曲線。所謂主要特征,就是導(dǎo)帶E(k)函數(shù)的極小值和價帶E(k)函數(shù)的極大值。重點(diǎn)關(guān)注這些極值能量的高低、在k空間出現(xiàn)的位置以及極值處曲線的曲率。 綜上所述:固體中電子狀態(tài)之所以符合能帶理論這一特征既與電子的本性(即電子的波粒二象性)有關(guān),也與固體這一電子所處的環(huán)境(即原子周期排列形成原子核對電子的周期性勢場)有關(guān)。 在圖1中,虛線表示真空中電子的E(k)關(guān)系,實線表示周期勢場中電子的E(k)關(guān)系,是一個理想一維晶體的E(k)關(guān)系。而實際的三維晶體,其E(k)關(guān)系會復(fù)雜得多。 下圖分別是鍺、硅和砷化鎵三種半導(dǎo)體的能帶結(jié)構(gòu)圖:
圖中可見,實際材料的導(dǎo)帶E(K)曲線和價帶E(k)曲線都可能不只一條,每條曲線的極值也可能不只一個。決定材料禁帶寬度E(K)的是能量最低的導(dǎo)帶極小值(導(dǎo)帶底)與能量最高的價帶極大值(價帶頂),而不管這兩個極值是不是對應(yīng)于同一個k。 上圖呈現(xiàn)了兩種躍遷:直接躍遷和間接躍遷。 間接躍遷:導(dǎo)帶底和價帶頂對應(yīng)于不同的k,譬如硅和鍺,其電子躍遷前、后必有動量變化,我們稱其為間接躍遷,相應(yīng)的禁帶叫間接禁帶。 直接躍遷:導(dǎo)帶底和價帶頂對應(yīng)于同一個k,譬如像砷化鎵那樣,則電子躍遷前、后沒有動量變化,稱為直接躍遷,這種能帶結(jié)構(gòu)的禁帶叫直接禁帶。 能帶結(jié)構(gòu)的另一關(guān)注點(diǎn)是它的對稱性。如果一個能帶極值不在k空間的中心,則必有若干等價極值存在于各對稱點(diǎn)。譬如硅的導(dǎo)帶底出現(xiàn)在(100)方向,有6個等價導(dǎo)帶底:鍺的導(dǎo)帶底出現(xiàn)在(111)方向,因此有8個等價的導(dǎo)帶底。 導(dǎo)帶底是導(dǎo)帶電子的最低能量,因此又叫能谷。有些材料的導(dǎo)帶還具有比導(dǎo)帶底略高一點(diǎn)的極小值并兼?zhèn)淦渌恍┨卣?,因而具有特殊的實用價值,譬如砷化鎵。為了區(qū)別,在這種情況下把導(dǎo)帶底稱為主能谷,較高的極小值稱為次能谷。
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