導(dǎo)讀

為新能源鋰電行業(yè)賦能第四站：半導(dǎo)體制造中的高功率紫外光源！穩(wěn)定輸出、靈活控制的曝光設(shè)備是新能源/半導(dǎo)體行業(yè)高端生產(chǎn)中減少誤差、提高效率的核心技術(shù)，友思特 ALE 系列 UV LED 紫外光源集合6大優(yōu)勢(shì)，為精密制造的健康發(fā)展提供了全新的選擇。

應(yīng)用背景：新能源與半導(dǎo)體行業(yè)的光刻曝光需求

紫外光刻和曝光是新能源和半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)各種高端芯片、微觀電路結(jié)構(gòu)的核心技術(shù)。在紫外光刻過程中，光源發(fā)射的紫外線通過掩模上的微小透鏡或光柵投射到光刻膠層上，形成所需的微小圖案，如圖1所示。

圖1. 紫外光刻曝光示意圖

長(zhǎng)期以來，半導(dǎo)體制造領(lǐng)域通常使用傳統(tǒng)的大功率汞燈技術(shù)作為光刻設(shè)備中的紫外光源。這種汞燈光源雖然輸出功率高，但輸出光譜范圍過寬，制造和生產(chǎn)過程中會(huì)產(chǎn)生對(duì)環(huán)境有害的物質(zhì)，并且工作壽命較短、更換周期頻繁。

相比之下，UV LED 具有獨(dú)特的技術(shù)優(yōu)勢(shì)和成本優(yōu)勢(shì)，它能夠輸出穩(wěn)定且超高功率的紫外輻射，還能保證長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)作和長(zhǎng)工作壽命，為半導(dǎo)體的制造提供了一種理想的解決方案。

圖2. UVLED光譜

基于 UV LED 獨(dú)特優(yōu)勢(shì)的廣泛傳播，越來越多的研究實(shí)驗(yàn)使用 UV LED 光源代替?zhèn)鹘y(tǒng)的汞燈燈箱。然而，設(shè)備的更新?lián)Q代并不是簡(jiǎn)單的“鑰匙開門”過程，還需要考慮更換成本、設(shè)備體積和設(shè)備兼容性，更關(guān)鍵的是必須保證光刻曝光的效果穩(wěn)定。

友思特ALE：用于改造光刻設(shè)備的優(yōu)異性

友思特高功率 UV LED 紫外光源 ALE 1 可以與準(zhǔn)直泛光曝光光學(xué)器件相結(jié)合，不僅是將傳統(tǒng)掩模對(duì)準(zhǔn)器燈箱升級(jí)到 UV LED 技術(shù)的多功能和靈活的選擇，也是一種經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的解決方案，對(duì)學(xué)術(shù)領(lǐng)域小型研究實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)領(lǐng)域的技術(shù)開發(fā)具有很強(qiáng)的吸引力。

1. 高能量效率

友思特 ALE 1 紫外光源比傳統(tǒng)的汞燈耗費(fèi)更少的能源。從長(zhǎng)遠(yuǎn)來看，這不僅有助于降低能源支出，而且使 UV LED 成為減少碳足跡的實(shí)驗(yàn)環(huán)境的更環(huán)保的選擇。

2.長(zhǎng)使用壽命

友思特 ALE 1 紫外光源比傳統(tǒng)汞燈具有更長(zhǎng)的使用壽命，這意味著它們需要更少的更換和維護(hù)頻率，從而為實(shí)驗(yàn)室節(jié)省資源成本、提高使用效率。

3.穩(wěn)定的輸出

友思特 ALE 1 紫外光源可隨著時(shí)間的推移提供一致的紫外線輸出，無需調(diào)整燈泡強(qiáng)度或頻繁更換燈泡。這確保了實(shí)驗(yàn)中更高的一致性和準(zhǔn)確性，減少了由于不均勻照明而導(dǎo)致的錯(cuò)誤風(fēng)險(xiǎn)。

4.靈活的傳輸控制

友思特 ALE 1 紫外光源能夠完美地集成到現(xiàn)代實(shí)驗(yàn)室設(shè)置中。完全可調(diào)的輸出光譜和最先進(jìn)的控制接口為高級(jí)曝光開辟了可能性，同時(shí)易于收集數(shù)據(jù)和分析結(jié)果。

5.減少熱量

友思特 ALE 1 紫外光源比傳統(tǒng)汞燈散發(fā)的熱量更少，在對(duì)溫度變化敏感的實(shí)驗(yàn)中，這一優(yōu)勢(shì)將發(fā)揮很大的作用，避免產(chǎn)生誤差。

6.更安全的使用環(huán)境

友思特 ALE 1 紫外光源是比傳統(tǒng)汞燈更安全的選擇，因?yàn)樗鼈儾缓@種有毒物質(zhì)，減少了對(duì)人體健康和環(huán)境的危害，在傳統(tǒng)燈具中使用汞會(huì)帶來潛在的暴露風(fēng)險(xiǎn)。

利用 UV LED 進(jìn)行光刻設(shè)備的升級(jí)

標(biāo)準(zhǔn)或定制的高透射率液體 LED 光導(dǎo)用于連接光源和曝光設(shè)備，可以自由選擇最適合的連接方式，將光源和曝光光學(xué)器件放置在任何位置。友思特支持有關(guān)紫外曝光集成的各種解決方案的定制設(shè)計(jì)，用于完美貼合原有設(shè)備及實(shí)驗(yàn)需求。

圖3. 大面積聚光元件集成方式 圖4. 透鏡組集成方式

作為曝光光源的 ALE 1 紫外光源為實(shí)驗(yàn)室研究和工廠技術(shù)開發(fā)提供了許多好處。它們不僅更節(jié)能、使用壽命更長(zhǎng)，還提供一致的紫外線輸出，散發(fā)更少的熱量，對(duì)研究人員來說更安全。

憑借與數(shù)字技術(shù)集成的能力，經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的 ALE 1 紫外光源正成為與新能源/半導(dǎo)體行業(yè)最新技術(shù)同步發(fā)展進(jìn)步的首選。

更多精彩直播詳解：歡迎關(guān)注12月12日周四下午14:00 “見微知著 喚醒視覺——為新能源電池行業(yè)聚能的視覺與光電方案”直播第四講《精密制程的光影貼合：半導(dǎo)體制造中的高功率紫外光源》：https://olezi.xetslk.com/sl/4GdH5k

審核編輯 黃宇