電容式壓力傳感器具有以下優(yōu)點：

靈敏度高：電容式壓力傳感器能夠檢測到微小的壓力變化，并將其轉(zhuǎn)化為顯著的電容變化，從而實現(xiàn)對微小壓力的精確測量，可感應 0.01μm 甚至更小的位移，分辨力高

溫度穩(wěn)定性好：一般來說，電容式壓力傳感器的電容值與電極材料關(guān)系不大，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料，且其本身發(fā)熱極小，對穩(wěn)定性影響甚微，相比之下，電阻傳感器有銅損，易發(fā)熱產(chǎn)生零漂

動態(tài)響應好：電容式壓力傳感器的可動部分可以做得很小很薄，質(zhì)量輕，固有頻率高，動態(tài)響應時間短，能在幾兆赫茲的頻率下工作，特別適用于動態(tài)測量。此外，其介質(zhì)損耗小，可以用較高頻率供電，系統(tǒng)工作頻率高，可用于測量高速變化的參數(shù)

結(jié)構(gòu)簡單：通常由兩個平行電極等簡單結(jié)構(gòu)組成，易于制造和保證高精度，且可以做得非常小巧，以實現(xiàn)某些特殊的測量，還能工作在高溫、強輻射及強磁場等惡劣的環(huán)境中，可承受很大的溫度變化、高壓力、高沖擊和過載等

非接觸測量：可實現(xiàn)非接觸測量，如測量回轉(zhuǎn)軸的振動或偏心率、小型滾珠軸承的徑向間隙等，并且具有平均效應，能夠減小工件表面粗糙度等對測量的影響

壽命長：由于沒有機械磨損等問題，電容式壓力傳感器的使用壽命相對較長

不易受電磁干擾：相比一些基于電磁感應原理的傳感器，電容式壓力傳感器受電磁干擾的影響較小，工作更加穩(wěn)定

同時，電容式壓力傳感器也存在一些缺點：

易受環(huán)境因素影響：電容值易受溫度、濕度等環(huán)境因素變化的影響，從而導致測量誤差，需要采取相應的補償措施來減小環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響

輸出阻抗高，負載能力差：受電極板幾何尺寸的限制，電容式壓力傳感器的電容量通常較小，一般為幾十到幾百皮法（pF），這使得其輸出阻抗很高，可達數(shù)兆歐姆，輸出功率小，負載能力差，易受外界干擾影響而產(chǎn)生不穩(wěn)定現(xiàn)象，嚴重時甚至無法工作

寄生電容影響大：傳感器的初始電容量很小，而連接傳感器和電子線路的引線電纜電容、電子線路的雜散電容以及電容極板與周圍導體構(gòu)成的電容等寄生電容卻較大。寄生電容的存在不但降低了測量靈敏度，而且會引起非線性輸出，由于寄生電容是隨機變化的，因而會使傳感器處于不穩(wěn)定的工作狀態(tài)，影響測量準確度

非線性輸出：電容式壓力傳感器的電容與上下電極之間的距離的關(guān)系是非線性關(guān)系，因此需要使用具有補償功能的測量電路對輸出電容進行非線性補償

不適用于某些特殊介質(zhì)：對于一些特殊的介質(zhì)，如具有腐蝕性或?qū)щ娦缘慕橘|(zhì)，可能會影響傳感器的性能甚至損壞傳感器，需要采取特殊的防護措施或選擇合適的材料來制作傳感器

審核編輯 黃宇