泊蘇防震基座成功解決無塵車間設(shè)備振動(dòng)問題的方案-江蘇泊蘇系統(tǒng)集成有限公司

以下是一個(gè)成功解決無塵車間設(shè)備振動(dòng)問題的案例方案：

一：案例背景：

某半導(dǎo)體制造企業(yè)的無塵車間內(nèi)，光刻設(shè)備在運(yùn)行過程中受到不明原因的振動(dòng)干擾，導(dǎo)致光刻精度下降，產(chǎn)品良率從原本的 90% 降低至 70%，嚴(yán)重影響了生產(chǎn)效益和產(chǎn)品質(zhì)量。

1，振動(dòng)源排查與分析：

（1）組建專業(yè)的振動(dòng)檢測(cè)團(tuán)隊(duì)，使用高精度的振動(dòng)傳感器對(duì)光刻設(shè)備周邊環(huán)境進(jìn)行全方位監(jiān)測(cè)，包括車間內(nèi)的其他設(shè)備、通風(fēng)系統(tǒng)、管道以及車間外的道路、附近工廠的生產(chǎn)設(shè)備等。

（2）經(jīng)過一周的連續(xù)監(jiān)測(cè)和數(shù)據(jù)分析，發(fā)現(xiàn)振動(dòng)主要來源于車間外一條距離較近的主干道上的重型車輛行駛，以及車間內(nèi)一臺(tái)老化的真空泵運(yùn)行產(chǎn)生的振動(dòng)。重型車輛行駛引起的地面振動(dòng)頻率在 10 - 50Hz 之間，振幅最大可達(dá) 5μm；真空泵的振動(dòng)頻率為 30 - 80Hz，振幅約 3μm，這些振動(dòng)通過地面和建筑結(jié)構(gòu)傳播到光刻設(shè)備上。

二：解決方案制定與實(shí)施：

1，外部振動(dòng)源控制：

與當(dāng)?shù)亟煌ü芾聿块T協(xié)商，在無塵車間外的主干道上設(shè)置減速帶和限重標(biāo)志，減少重型車輛行駛速度和重量，從而降低車輛行駛引起的振動(dòng)。同時(shí)，調(diào)整車間周邊道路的交通信號(hào)燈時(shí)間，避免車輛頻繁啟停產(chǎn)生較大振動(dòng)。

2，內(nèi)部振動(dòng)源處理：

對(duì)老化的真空泵進(jìn)行全面檢修和維護(hù)，更換磨損的軸承、密封件等部件，并對(duì)電機(jī)進(jìn)行動(dòng)平衡校正，使真空泵的振動(dòng)幅度降低了 80%。此外，將真空泵的運(yùn)行時(shí)間調(diào)整到與光刻設(shè)備非關(guān)鍵生產(chǎn)時(shí)段錯(cuò)開，進(jìn)一步減少兩者同時(shí)運(yùn)行產(chǎn)生的振動(dòng)疊加影響。

2，光刻設(shè)備隔振措施：

（1)為光刻設(shè)備安裝了一套專門設(shè)計(jì)的泊蘇的光刻機(jī)隔振系統(tǒng)。該系統(tǒng)采用了四個(gè)高精度為一傳感器，根據(jù)光刻設(shè)備的重量和重心分布進(jìn)行合理布局，確保設(shè)備的穩(wěn)定性?？諝鈴椈傻墓逃蓄l率設(shè)計(jì)在 3 - 5Hz，能夠有效隔離 10Hz 以上的振動(dòng)。同時(shí)，配備了一套自動(dòng)控制系統(tǒng)，可根據(jù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)到的振動(dòng)情況自動(dòng)調(diào)節(jié)空氣彈簧的壓力和剛度，以適應(yīng)不同工況下的振動(dòng)隔離需求。

(2)在光刻設(shè)備與地面之間還鋪設(shè)了一層橡膠隔振墊，進(jìn)一步吸收和衰減低頻振動(dòng)，防止地面微小振動(dòng)直接傳遞到設(shè)備上。

3,效果評(píng)估與后續(xù)維護(hù)：

(1）方案實(shí)施后，再次對(duì)光刻設(shè)備的振動(dòng)情況進(jìn)行監(jiān)測(cè)。結(jié)果顯示，設(shè)備周邊的振動(dòng)幅度降低了 90% 以上，光刻精度得到顯著恢復(fù)，產(chǎn)品良率提升至 95% 以上，達(dá)到了預(yù)期的效果。

（2）建立了定期的振動(dòng)監(jiān)測(cè)和設(shè)備維護(hù)制度，每周對(duì)車間內(nèi)的主要振動(dòng)源和隔振設(shè)施進(jìn)行檢查和維護(hù)，確保振動(dòng)問題不再出現(xiàn)反復(fù)，保障了半導(dǎo)體制造生產(chǎn)的穩(wěn)定進(jìn)行。