濱松的銦鎵砷(InGaAs)紅外相機(jī)工作波段從400nm到1700nm，相當(dāng)于可以覆蓋可見光到近紅外波段。濱松紅外相機(jī)具有高靈敏度、高分辨、低壞點(diǎn)率及低噪聲等特點(diǎn)。非常適合用于半導(dǎo)體缺陷檢測(cè)、光通信、光致發(fā)光等應(yīng)用。

對(duì)于一些應(yīng)用來說，我們需要進(jìn)一步分析光斑強(qiáng)度的二維及三維分布，光斑尺寸，圓度等參數(shù)。我們基于濱松的銦鎵砷紅外相機(jī)開發(fā)出了多功能光斑分析儀軟件，可測(cè)量光斑直徑為 50μm，另外可定制光斑放大裝置，可實(shí)現(xiàn)最小5um的光斑檢測(cè)，可以實(shí)現(xiàn) 400nm-1700nm 波段內(nèi)的激光光斑測(cè)量及光束指向在線監(jiān)測(cè)，包括光斑尺寸， 圓度，功率及指向偏移，并對(duì)光強(qiáng)能量場(chǎng)進(jìn)行二維和三維顯示。

相機(jī)參數(shù)

軟件功能

實(shí)測(cè)效果圖

1550nm激光器的光斑實(shí)測(cè)結(jié)果如下：

1310nm激光器的光斑實(shí)測(cè)結(jié)果如下：