硅基半導(dǎo)體經(jīng)過(guò)多年發(fā)展,其性能逐漸接近極限,在進(jìn)一步降本增效的背景下,第三代寬禁帶半導(dǎo)體氮化鎵功率器件GaN HEMT被寄予厚望。
功率半導(dǎo)體器件的發(fā)展歷程晶閘管的出現(xiàn)宣布半導(dǎo)體器件正式進(jìn)入電力領(lǐng)域,GTO和GTR的出現(xiàn)使功率開關(guān)成為全控制型器件。IGCT的出現(xiàn)解決了GTO關(guān)斷過(guò)程電流擠壓現(xiàn)象。IGBT出現(xiàn)之后,GTR沉寂了。雙極型器件的劣勢(shì):龐大的控制電路和保護(hù)電路以及較低的工作頻率。解決問(wèn)題的途徑:?jiǎn)螛O型功率器件MOSFET。70年代,功率MOSFET的出現(xiàn)解決了雙極型器件工作頻率低的問(wèn)題,但功率仍受硅材料極限限制。
于是通過(guò)雙極與單極聯(lián)姻,80年代產(chǎn)生了IGBT,將雙極型器件的電導(dǎo)調(diào)制效應(yīng)巧妙地引入到MOSFET中,極大地提高了MOSFET的功率。
但I(xiàn)GBT終究是雙極型器件,工作頻率較MOSFET低,關(guān)斷過(guò)程存在拖尾效應(yīng),于是SJMOSFET應(yīng)運(yùn)而生。
90年代,SJMOSFET的出現(xiàn)擴(kuò)大了MOSFET功率定額,但人們對(duì)開關(guān)頻率提高和對(duì)能效的追求仍在繼續(xù)……
于是寬禁帶半導(dǎo)體器件適時(shí)登場(chǎng),所謂的時(shí)勢(shì)造英雄在這個(gè)時(shí)候得以驗(yàn)證。
第三代寬禁帶半導(dǎo)體氮化鎵功率器件GaN HEMT憑什么成為時(shí)代的寵兒?
第三代半導(dǎo)體具有更寬的禁帶寬度、更高的擊穿電場(chǎng)、更高的效率、更高的電子飽和速率,而GaN憑借這些眾多優(yōu)勢(shì)贏得了市場(chǎng)的青睞。
硅基材料、碳化硅材料、氮化鎵材料的比較
時(shí)勢(shì)造英雄,英雄亦適時(shí)。時(shí)代的需求造就了“英雄器件”,寬禁帶功率半導(dǎo)體器件不負(fù)眾望,憑借優(yōu)秀的結(jié)構(gòu)優(yōu)勢(shì)和材料特性取得了輝煌的成就。
結(jié)構(gòu)方面:
VD-MOSFET
耗盡型:D-GaN HEMT常態(tài)導(dǎo)通
P-GaN增強(qiáng)型:常態(tài)關(guān)斷
類型 | 特點(diǎn) |
VD-MOSFET |
l 導(dǎo)通電阻大,導(dǎo)通損耗大,轉(zhuǎn)換效率低 l 漏電流大,可靠性一般 l 結(jié)電容大,開關(guān)頻率特性差 l 驅(qū)動(dòng)電流大,驅(qū)動(dòng)損耗大 l 屬于傳統(tǒng)型功率器件 |
耗盡型:D-GaN HEMT(D-mode) |
l D-GaN HEMT:用于級(jí)聯(lián)結(jié)構(gòu) l 柵極有絕緣介質(zhì),漏電流小 l 級(jí)聯(lián)后Vgs耐壓范圍寬-20~+20V (Cascode) l 適合高壓器件,硅MOS管和D-GaN級(jí)聯(lián) l 氮化鎵材料本征為D-mode,外延簡(jiǎn)單,成熟,穩(wěn)定,生長(zhǎng)速度快 |
增強(qiáng)型:P-GaN (E-mode) |
l Vgsth低,需要負(fù)壓防誤導(dǎo)通 l 柵極沒(méi)有絕緣,漏電流大 l Vgs耐壓范圍窄,-7~+7V,余量小 l P-GaN的摻雜/激活和刻蝕增加制造難度 l 外延結(jié)構(gòu)增加pGaN外延層,P型氮化鎵難于控制,質(zhì)量差,帶來(lái)不確定因素,增加生產(chǎn)難度和成本 |
材料方面:
GaN以其高效率、低損耗與高頻率的特性,在消費(fèi)電子領(lǐng)域展現(xiàn)出廣闊的應(yīng)用前景,特別是在充電器和電源適配器方面。其充電器體積更小、質(zhì)量更輕,攜帶便利,且充電功率大、速度快,能滿足多臺(tái)設(shè)備同時(shí)充電的需求,價(jià)格也相對(duì)親民。因此,GaN充電器市場(chǎng)逐漸受到手機(jī)廠商的青睞,小米、華為、努比亞等品牌紛紛入局,市場(chǎng)呈現(xiàn)出百花齊放的態(tài)勢(shì),為新能源汽車、工業(yè)電源等電能使用領(lǐng)域的電能高效轉(zhuǎn)換提供了新的解決方案。這將進(jìn)一步推動(dòng)能源向綠色低碳方向發(fā)展,助力“碳達(dá)峰,碳中和”目標(biāo)的實(shí)現(xiàn)。
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原文標(biāo)題:GaN HEMT氮化鎵功率器件
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