近期，小編接到一位來(lái)自半導(dǎo)體行業(yè)的咨詢，對(duì)方正在尋找一款適合晶圓焊點(diǎn)推力測(cè)試的推拉力測(cè)試機(jī)。在半導(dǎo)體制造中，晶圓焊點(diǎn)的可靠性是保障電子設(shè)備性能和使用壽命的核心要素。通過晶圓焊點(diǎn)推力測(cè)試，可以精準(zhǔn)評(píng)估焊點(diǎn)的機(jī)械強(qiáng)度，并模擬其在實(shí)際使用中可能面臨的應(yīng)力情況，進(jìn)而預(yù)測(cè)焊點(diǎn)在長(zhǎng)期運(yùn)行中的穩(wěn)定性和耐久性表現(xiàn)。

Beta S100推拉力測(cè)試機(jī)憑借其高精度、多功能性和出色的靈活性，已成為半導(dǎo)體行業(yè)進(jìn)行焊點(diǎn)推力測(cè)試的首選設(shè)備。接下來(lái)，科準(zhǔn)測(cè)控小編將為您詳細(xì)介紹晶圓焊點(diǎn)推力測(cè)試的具體方法和操作流程。

一、檢測(cè)原理

晶圓焊點(diǎn)推力測(cè)試是一種用于評(píng)估半導(dǎo)體晶圓焊點(diǎn)機(jī)械強(qiáng)度和可靠性的檢測(cè)方法。其檢測(cè)原理基于力學(xué)原理，通過模擬實(shí)際使用中焊點(diǎn)可能承受的應(yīng)力，測(cè)量焊點(diǎn)在受力過程中的表現(xiàn)。以下是晶圓焊點(diǎn)推力測(cè)試的檢測(cè)原理總結(jié)：

1. 力學(xué)原理

晶圓焊點(diǎn)推力測(cè)試的核心是通過施加一個(gè)逐漸增加的推力（或拉力）到焊點(diǎn)上，直到焊點(diǎn)發(fā)生破壞或達(dá)到預(yù)設(shè)的測(cè)試條件。測(cè)試過程中，設(shè)備會(huì)實(shí)時(shí)記錄施加的力值和焊點(diǎn)的位移變化。當(dāng)焊點(diǎn)被破壞時(shí)，設(shè)備捕捉到的最大力值即為焊點(diǎn)的極限強(qiáng)度。

2. 測(cè)試目標(biāo)

評(píng)估焊點(diǎn)的機(jī)械強(qiáng)度：通過測(cè)量焊點(diǎn)在受力過程中的最大承受力，判斷焊點(diǎn)是否滿足設(shè)計(jì)和使用要求。

模擬實(shí)際使用中的應(yīng)力：測(cè)試過程中施加的力模擬了焊點(diǎn)在實(shí)際使用中可能遇到的機(jī)械應(yīng)力，如熱應(yīng)力、機(jī)械沖擊等。

預(yù)測(cè)焊點(diǎn)的可靠性：通過分析焊點(diǎn)在測(cè)試過程中的表現(xiàn)，預(yù)測(cè)其在長(zhǎng)期運(yùn)行中的穩(wěn)定性和耐久性。

二、常用檢測(cè)設(shè)備

1、Beta S100推拉力測(cè)試機(jī)

1、設(shè)備特點(diǎn)

Beta S100推拉力測(cè)試機(jī)專為微電子領(lǐng)域設(shè)計(jì)，具備以下顯著特點(diǎn)：

多功能性：支持多種測(cè)試模式，包括推力、拉力、剪切力等，適用于多種封裝形式。

高精度：采用24Bit超高分辨率數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，確保測(cè)試數(shù)據(jù)的高精度、高重復(fù)性和高再現(xiàn)性。

靈活性：用戶可以根據(jù)具體的測(cè)試需求更換相應(yīng)的測(cè)試模塊，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)識(shí)別并調(diào)整到合適的量程。

安全性：每個(gè)測(cè)試工位都設(shè)有獨(dú)立的安全高度和限速，防止誤操作損壞測(cè)試針頭。

數(shù)據(jù)精準(zhǔn)：配備高速力值采集系統(tǒng)，確保測(cè)試結(jié)果的精確性。

2、常用推刀

3、工裝夾具

4、實(shí)測(cè)案例展示

三、測(cè)試流程

步驟1. 設(shè)備與配件檢查

檢查Beta S100推拉力測(cè)試機(jī)及其所有配件是否完整且功能正常。

確認(rèn)推刀、夾具等關(guān)鍵部件已完成校準(zhǔn)，以確保測(cè)試結(jié)果的精確性。

步驟2. 模塊安裝與電源連接

將待測(cè)試的晶圓模塊正確安裝到測(cè)試機(jī)上。

連接電源并啟動(dòng)設(shè)備，等待系統(tǒng)自檢和模塊初始化完成。

檢查所有指示燈和顯示屏是否正常工作，確保系統(tǒng)準(zhǔn)備就緒。

步驟3. 推刀與夾具安裝

根據(jù)晶圓焊點(diǎn)的測(cè)試需求，選擇合適的推刀。

將推刀安裝到測(cè)試機(jī)的指定位置，并牢固鎖定。

使用夾具將晶圓精確地固定在測(cè)試平臺(tái)上，確保其位置正確。

步驟4. 測(cè)試參數(shù)設(shè)置

在測(cè)試機(jī)的軟件界面輸入必要的測(cè)試參數(shù)，包括測(cè)試方法、傳感器選擇、測(cè)試速度、目標(biāo)力值、剪切高度和測(cè)試次數(shù)等。

設(shè)置完畢后，保存并應(yīng)用這些參數(shù)，確保測(cè)試按預(yù)定條件進(jìn)行。

步驟5. 測(cè)試執(zhí)行

在顯微鏡輔助下確認(rèn)晶圓焊點(diǎn)和推刀的相對(duì)位置正確。

啟動(dòng)測(cè)試程序，監(jiān)控測(cè)試過程中的動(dòng)態(tài)，確保一切按設(shè)定參數(shù)進(jìn)行。

若發(fā)現(xiàn)任何異常，立即中止測(cè)試以防止進(jìn)一步損壞。

步驟6. 結(jié)果觀察與分析

測(cè)試結(jié)束后，觀察晶圓焊點(diǎn)的損壞情況，并進(jìn)行失效分析。

根據(jù)測(cè)試結(jié)果，對(duì)測(cè)試參數(shù)進(jìn)行調(diào)整，并重新進(jìn)行測(cè)試以驗(yàn)證調(diào)整的效果。

步驟7、測(cè)試流程中的注意事項(xiàng)

逐漸加力：測(cè)試時(shí)必須逐漸加力，避免猛加力或加猛力，以防止對(duì)焊點(diǎn)造成不必要的損傷。

防靜電措施：測(cè)試人員必須佩戴防靜電手套和防靜電手環(huán)，以防止靜電對(duì)晶圓造成損害。

環(huán)境條件：測(cè)試應(yīng)在標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境條件下進(jìn)行，如環(huán)境溫度23±5℃，相對(duì)濕度50±10%。

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審核編輯 黃宇