開蓋檢測（Decapsulation Test），即 Decap，是一種在電子元器件檢測領(lǐng)域中廣泛應(yīng)用的破壞性實驗方法。這種檢測方式在芯片的失效分析、真?zhèn)舞b定等多個關(guān)鍵領(lǐng)域發(fā)揮著不可或缺的作用，為保障電子產(chǎn)品質(zhì)量和安全性提供了有力支持。

應(yīng)用方法

1.化學(xué)開蓋化學(xué)開蓋是利用特定化學(xué)試劑的腐蝕作用來去除芯片外部封裝的一種方法

在實際操作中，常用的化學(xué)試劑包括發(fā)煙硝酸、濃硫酸、氫氟酸等。這些化學(xué)試劑能夠針對塑料材料的封裝產(chǎn)生有效的腐蝕效果，從而實現(xiàn)開蓋的目的?；瘜W(xué)開蓋主要適用于 COB（板上芯片封裝）、QFP（四邊扁平封裝）、QFN（無引腳四方扁平封裝）、DIP（雙列直插式封裝）等塑料材料的封裝類型。通過化學(xué)開蓋，可以較為徹底地去除封裝材料，為后續(xù)的檢測工作創(chuàng)造良好的條件

2.激光開蓋

激光開蓋則是一種借助高能量密度激光蝕刻掉芯片外部封裝殼體的開蓋方式。這種開蓋方法需要專業(yè)的激光設(shè)備來完成，具有精度高、速度快等顯著優(yōu)點。激光開蓋同樣適用于各類塑料封裝的芯片。在操作過程中，通過精確控制激光的能量和作用時間，能夠有效地去除封裝材料，而不對芯片內(nèi)部的晶圓造成不必要的損傷。

3.機械開蓋

機械開蓋是通過物理手段，如切割或磨削等方式，來去除芯片封裝材料的一種方法。這種方法同樣能夠處理各類塑料封裝的器件。

測試流程

1.準(zhǔn)備階段

在進(jìn)行開蓋檢測之前，確保實驗室具備完善的安全設(shè)施，應(yīng)配備通風(fēng)櫥、洗眼器等安全設(shè)備，操作人員需要穿戴好防護(hù)工具，如防護(hù)手套、護(hù)目鏡等，準(zhǔn)備好所需的化學(xué)試劑、激光設(shè)備或機械工具等檢測設(shè)備和材料。

2.開蓋操作

根據(jù)元器件的封裝類型和材質(zhì)，選擇合適的開蓋方法。在化學(xué)開蓋過程中，需要嚴(yán)格控制化學(xué)試劑的用量、反應(yīng)時間和溫度等參數(shù)，以避免對芯片內(nèi)部造成過度損傷。

3.分析鑒別

開蓋完成后，使用顯微鏡對晶圓表面進(jìn)行放大檢查。通過顯微鏡觀察，可以清晰地看到晶圓表面的原廠標(biāo)識、版圖布局、工藝缺陷等關(guān)鍵信息。在失效分析中，需要仔細(xì)找出具體的缺陷點位，分析缺陷產(chǎn)生的原因和影響，為芯片的改進(jìn)和優(yōu)化提供依據(jù)。

4.生成報告

檢測報告應(yīng)包含設(shè)備信息，如所用開蓋設(shè)備與顯微鏡的具體型號。同時，報告中還應(yīng)詳細(xì)記錄測試標(biāo)準(zhǔn)、樣品信息與照片，以及開蓋后的晶圓圖像等關(guān)鍵內(nèi)容。