當科技的探索深入微觀世界，越來越多的科學領域對精密定位都有著極致需求，如激光加工確保光束納米級穩(wěn)定聚焦、在半導體檢測中實現(xiàn)晶圓精準對位、在生物醫(yī)療進行超分辨率顯微成像等，這些應用場景都有著同樣的核心需求——多自由度、高精度、快速響應的精密運動。H64A.XYZTR2S/K-C系列壓電納米偏擺臺為六自由度運動高精度壓電偏擺臺，利用壓電驅動技術，為光學、半導體、生物醫(yī)療、微納制造等領域提供納米級精密運動解決方案。

H64A.XYZTR2S/K-C系列是X、Y、Z、θx、θy、θz六軸運動壓電納米定位臺，可產生六軸的超精密運動，適用于靜態(tài)定位和動態(tài)調姿。該定位臺內部采用并聯(lián)機構設計，可實現(xiàn)更好動態(tài)性。其內置高性能壓電陶瓷，可實現(xiàn)X±9/Y±9.5/Z155μm的直線位移和θxθy±1.1/θz±1mrad的偏轉角度。閉環(huán)版本全橋設計避免了溫度的漂移，確保了納米級定位精度。

產品特點

六維 X、Y、Z、θx、θy、θz軸運動

直線行程：X±9/Y±9.5/Z155μm

偏轉行程：θxθy±1.1/θz±1mrad

閉環(huán)定位精度高

承載可達12kg

內部采用并聯(lián)機構，可實現(xiàn)更好動態(tài)性

典型應用

1.晶圓調姿：可通過壓電偏擺臺各維度的精密定位將晶圓調整到正確位姿，以滿足對晶圓進行各類工藝操作，在晶圓加工、晶圓檢測和光刻等技術中廣泛應用，且在應用中起到至關重要的作用，對芯片的制造質量和性能有直接影響。

注：圖片來源于網絡

2.模擬空間擾動：空間擾動模擬是用于模擬物理系統(tǒng)中的空間擾動現(xiàn)象。它可以用來研究流體力學、熱力學、電磁學等領域中的現(xiàn)象，如湍流、熱對流、電磁波傳播等。壓電偏擺旋轉臺可以模擬空間中的微小擾動，如微小振動、微小旋轉等，以便測試和驗證部件的姿態(tài)，控制系統(tǒng)的性能。

注：圖片來源于網絡

3.激光通信：在激光通信中，無論是地面站與地面站之間，還是地面站與衛(wèi)星、飛機等移動平臺之間的通信，確保發(fā)射端與接收端的激光束精確對準是實現(xiàn)高效通信的基礎。六自由度壓電偏擺臺憑借其精準操控能力，能夠對激光發(fā)射與接收裝置進行納米級的位置與角度調整。

注：圖片來源于網絡

技術參數(shù)

配套控制器

E00.D6K04機箱式壓電控制器適用于驅動H64A.XYZTR2S/K-C系列六自由度壓電偏擺臺。此款壓電控制器具有6個輸出通道，輸出電壓0~150V，帶寬可達10kHz，可通過模擬或數(shù)字信號進行控制，可通過RS-422串口進行上位機通信。

E00.D6K04壓電控制器前、后面板

審核編輯 黃宇