X射線檢測

在光電半導(dǎo)體領(lǐng)域，LED芯片作為核心技術(shù)，其質(zhì)量至關(guān)重要。隨著制造工藝的不斷進(jìn)步，LED芯片的結(jié)構(gòu)日益復(fù)雜，內(nèi)部潛在缺陷的風(fēng)險也隨之增加。盡管在常規(guī)工作條件下，這些缺陷可能不會明顯影響芯片的性能，但在高電流、高溫等極端環(huán)境下，它們可能引發(fā)功能失效，甚至導(dǎo)致整個LED系統(tǒng)損壞。因此，在LED芯片制造和應(yīng)用過程中，利用無損檢測技術(shù)對內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)檢查，提前識別和排除潛在問題，是確保產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性的關(guān)鍵步驟。

1.X射線

X射線本質(zhì)上是一種波長極短、能量很大、肉眼無法觀測的電磁波，波長范圍為0.01-100 ?（埃），介于γ射線和紫外線之間，波長比紫外線更短，穿透能力更好，同時對人體影響也更大。

X射線具有波粒二象性。粒子性表現(xiàn)在它是由大量不連續(xù)的粒子流構(gòu)成，具有一定的能量、質(zhì)量和動量。波動性一方面體現(xiàn)在它以一定的波長和頻率在空間傳播，另一方面也體現(xiàn)在能夠照射物質(zhì)與物質(zhì)的相互作用，包括散射、衍射、折射、反射、吸收、熒光、俄歇等現(xiàn)象。

2.Ｘ射線檢測

在眾多無損檢測技術(shù)中，X射線檢測是一種非常重要的方法。X射線檢測是根據(jù)樣品不同部位對X射線吸收率和透射率的不同，利用X射線通過樣品各部位衰減后的射線強(qiáng)度來檢測樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)是否存在缺陷。

X射線檢測的作用

X射線檢測能夠清楚地展示被測樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，并能夠觀察到塑封器件內(nèi)部的缺陷。通過X射線檢測，我們能夠檢測到集成電路內(nèi)部的晶圓、晶圓數(shù)量、晶圓疊層形式、金鍵合絲、合金鍵合絲、銅鍵合絲、引線架、基板、粘結(jié)料、塑封料等結(jié)構(gòu)的異常缺陷情況，找出可能導(dǎo)致元器件失效的原因。

X射線檢測范圍

諸如晶圓裂紋、粘接料空洞、粘接傾斜或超出粘接范圍、粘接料爬升高度、鍵合絲是否斷裂、塌絲、交絲、弧度超標(biāo)、焊點脫焊、無鍵合絲、鍵合絲與頂部間距、一二焊點是否存在異常、塑封料內(nèi)部異物、模組內(nèi)部元件傾斜及焊接異常等各類能夠?qū)е略骷У漠惓Ｈ毕?，都在X射線檢測的范圍之內(nèi)。我們可以將原裝樣品與測試樣品進(jìn)行對比，觀察其內(nèi)部結(jié)構(gòu)的一致性，從而鑒別真?zhèn)巍Ｍㄟ^觀察器件內(nèi)部的晶圓、鍵合絲、鍵合方式、材質(zhì)、引線架、基板結(jié)構(gòu)、內(nèi)部粘接等關(guān)鍵部位是否與原裝樣品一致，我們可以有效鑒別出以次充好的進(jìn)口塑封器件劣質(zhì)品?？傊?，X射線檢測是一種非常重要的無損檢測技術(shù)，在元器件的質(zhì)量檢驗和真?zhèn)舞b別方面都發(fā)揮著不可取代的作用。它能夠有效地檢驗和剔除塑封器件的潛在缺陷，提高系統(tǒng)整體的質(zhì)量和可靠性。