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超聲波T-SAM與C-SAM模式的區(qū)別

中科院半導(dǎo)體所 ? 來源:Tom聊芯片智造 ? 2025-05-21 15:26 ? 次閱讀
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文章來源:Tom聊芯片智造

原文作者:Tom

本文介紹了超聲波的T-SAM與C-SAM兩種模式的區(qū)別。

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什么是SAM?

SAM,Scanning acoustic microscope,超聲波掃描顯微鏡。SAM是一種非破壞性檢測(cè)技術(shù),在無需對(duì)樣品開蓋的前提下,就能“透視”封裝內(nèi)部結(jié)構(gòu)。避免了傳統(tǒng)破壞性方法可能引入的新?lián)p傷。

SAM的優(yōu)勢(shì)?

SAM對(duì)材料界面之間的聲阻抗差異非常敏感,尤其擅長(zhǎng)檢測(cè):封裝內(nèi)部的分層,氣隙、空洞、微裂紋,材料剝離或脫層;能識(shí)別厚度只有亞微米級(jí)的微小分層,這種靈敏度遠(yuǎn)超X射線。

T-SAM與C-SAM的區(qū)別?

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如上圖,左圖是T-Scan,右圖為C-Scan。

類型 C-SAM(反射模式) T-SAM(透射模式)
成像原理 超聲波入射 → 被界面反射 → 被同一個(gè)換能器接收回波 超聲波穿過樣品 → 被下方換能器接收
換能器配置 單個(gè)換能器 同時(shí)發(fā)射和接收 兩個(gè)換能器 上下布置,分別負(fù)責(zé)發(fā)射和接收
探測(cè)方式 探測(cè)界面回波(如分層/氣泡) 探測(cè)能否穿透、穿透強(qiáng)度(識(shí)別材料密度變化)

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原文標(biāo)題:T-SAM與C-SAM如何“看穿”封裝缺陷的?

文章出處:【微信號(hào):bdtdsj,微信公眾號(hào):中科院半導(dǎo)體所】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

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