超高分辨率壓電納米定位臺憑借其高精度、快速響應和高穩(wěn)定性的卓越性能，引領(lǐng)眾多行業(yè)技術(shù)革新，為科研和工業(yè)生產(chǎn)帶來了前所未有的可能性。無論是在基礎科學研究中探索微觀世界的奧秘，還是在高端制造業(yè)中提升產(chǎn)品質(zhì)量和性能，壓電納米定位臺都發(fā)揮著不可替代的作用。

P66.X5K壓電納米定位臺采用壓電陶瓷直驅(qū)技術(shù)，可產(chǎn)生X向一維運動，行程可達4.7μm，開環(huán)分辨率達0.2nm，可精準捕捉原子級位移變化，是一款具有超高分辨率的一維壓電納米定位臺。水平方向安裝承載可達2kg，立式與倒置安裝同樣穩(wěn)定可靠，兼顧微小位移精度與大負載穩(wěn)定性。體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，尺寸僅為85×70×15.5mm^3，成為空間受限場景的理想選擇。產(chǎn)品外觀如下圖所示。

產(chǎn)品特點

1.一維X向運動

2.行程可達4.7μm

開環(huán)位移曲線

3. 承載可達2kg

4.安裝方式可選

典型應用

1.半導體制造：在半導體芯片制造過程中，光刻環(huán)節(jié)對定位精度的要求近乎苛刻。壓電納米定位臺可用于精確控制晶圓和掩模版的相對位置，確保光刻圖案的精準轉(zhuǎn)移。利用壓電納米定位臺的超高精度，能夠有效提高芯片制造的良品率，推動半導體制造工藝向更小制程、更高集成度發(fā)展。

注：圖片來源于網(wǎng)絡

2.顯微/掃描：壓電納米定位臺可提供亞納米級精度、超高穩(wěn)定性和快速響應能力，已成為現(xiàn)代顯微成像與掃描技術(shù)的核心組件，廣泛應用于超分辨顯微鏡、原子力顯微鏡（AFM）、共聚焦顯微鏡、電子顯微鏡（SEM/TEM）等設備。

注：圖片來源于網(wǎng)絡

3. 光學測量：光學測量是利用光的性質(zhì)如光的傳播、反射、折射、干涉、衍射等，進行長度、形狀、角度、顏色等精確測量的非接觸式測量技術(shù)，壓電納米定位臺以其高精度和快速響應的特點，在光學測量技術(shù)中提供納米級精密定位，可使測量結(jié)果更精確。

注：圖片來源于網(wǎng)絡

技術(shù)參數(shù)

配套控制器

E01.C1壓電控制器非常適用于驅(qū)動P66.X5K壓電納米定位臺。E01.C1是一款機箱式單通道壓電陶瓷控制器。輸出電壓范圍-20V~120V，帶寬10kHz，可手動調(diào)節(jié)、模擬輸入、自發(fā)波形控制，配備計算機串口/USB接口，液晶鍵盤顯示，操作便捷。

審核編輯 黃宇