6月4-6日，廣明源將參展2025 SEMI-e 中國(深圳)國際半導(dǎo)體展覽會，誠邀行業(yè)伙伴蒞臨14號館14G22展位，現(xiàn)場交流172nm準(zhǔn)分子光科技在半導(dǎo)體制造中的創(chuàng)新應(yīng)用，共探制程優(yōu)化新路徑。

01172nm MINI實驗?zāi)＝M新品首發(fā)

本次展會，廣明源將首發(fā)推出自主研發(fā)的新品——172nm MINI實驗?zāi)＝M。該產(chǎn)品專為半導(dǎo)體工藝研發(fā)、制程驗證及小批量試產(chǎn)環(huán)節(jié)設(shè)計，具備結(jié)構(gòu)精簡、成本可控、桌面即放即用、便攜靈活等特點，適配多種實驗環(huán)境與制程需求。

172nm

深紫外黑科技

可高效分解晶圓表面有機殘留，提升潔凈度與附著性能，為封裝、清洗等工藝提供穩(wěn)定前處理方案。

桌面級準(zhǔn)分子實驗新體驗

由于傳統(tǒng)準(zhǔn)分子光輻照器因高純度 N?填充結(jié)構(gòu)復(fù)雜，難以實現(xiàn)桌面級靈活實驗。

廣明源創(chuàng)新推出緊湊臺式準(zhǔn)分子光照射器——172nm MINI實驗?zāi)＝M，機身僅相當(dāng)于書本大小，采用高集成輕量化設(shè)計，打破空間與成本壁壘，助力高校、企業(yè)及研究機構(gòu)輕松搭建準(zhǔn)分子光實驗環(huán)境，滿足平板顯示光清洗、塑料表面改性等多領(lǐng)域研發(fā)需求。

應(yīng)用領(lǐng)域

表面有機污染物去除

表面活化與改性

封裝工藝表面清潔處理

超凈化超微細(xì)清洗工藝驗證

02172nm 系列全線亮相共襄盛會

除新品發(fā)布外，廣明源還將展出多款172nm準(zhǔn)分子系列光源與模組產(chǎn)品，覆蓋晶圓清洗、半導(dǎo)體基材表面活化、超純水TOC降解等多個關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)，為制程優(yōu)化與設(shè)備升級提供更多選擇。

1172nm準(zhǔn)分子系列光源

平板光源

金絲電極圓管光源

網(wǎng)狀電極圓管光源

2172nm準(zhǔn)分子系列模組及設(shè)備

歡迎半導(dǎo)體制造企業(yè)、設(shè)備廠商、工藝研發(fā)工程師及行業(yè)伙伴蒞臨參觀交流，現(xiàn)場了解172nm準(zhǔn)分子光科技在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的多元應(yīng)用，共同探討合作機會。

2025 SEMI-e 中國(深圳)國際半導(dǎo)體展覽會

時間：2025年6月4-6日

地點：深圳國際會展中心14號館

展位號：14G22