在半導(dǎo)體芯片清洗中，選擇合適的硫酸類型需綜合考慮純度、工藝需求及技術(shù)節(jié)點(diǎn)要求。以下是關(guān)鍵分析：

1. 電子級高純硫酸（PP級硫酸）

核心優(yōu)勢：

超高純度：金屬雜質(zhì)含量極低（如Fe、Cu、Cr等），避免引入二次污染。

適用場景：用于RCA標(biāo)準(zhǔn)清洗（SC1/SC2配方）、去除硅片表面金屬離子和顆粒。

典型應(yīng)用：

SC1溶液（H?SO?/H?O?）：去除有機(jī)物和金屬污染；

SC2溶液（HCl/H?O?）：去除重金屬殘留。

技術(shù)限制：

傳統(tǒng)SPM（硫酸+過氧化氫）清洗中，過氧化物濃度難以同時優(yōu)化金屬和有機(jī)物去除選擇性，可能對先進(jìn)制程的金屬層造成過度腐蝕。

2. 電解硫酸（Electrolyzed Sulfuric Acid）

創(chuàng)新優(yōu)勢：

更強(qiáng)氧化性：通過電化學(xué)氧化生成過硫酸根（S?O?2?），比傳統(tǒng)H?O?更有效去除有機(jī)物（如光刻膠殘留），同時減少金屬損失。

選擇性提升：在金屬暴露工藝中（如接觸孔清洗），可精準(zhǔn)控制金屬底層腐蝕，避免斷鏈風(fēng)險。

環(huán)保性：無需額外添加H?O?，減少卡羅酸（H?SO?）副產(chǎn)物生成。

應(yīng)用場景：

替代傳統(tǒng)SPM清洗，用于先進(jìn)制程（如10nm以下節(jié)點(diǎn)）的有機(jī)物剝離和金屬殘留處理。

搭配兆聲波清洗（Miracle Clean）增強(qiáng)微小顆粒去除能力

3. 特殊配方硫酸（如過硫酸混合液）

工藝優(yōu)化：

過硫酸（H?S?O?）：通過電解硫酸生成，氧化性優(yōu)于H?O?，適用于低金屬去除量但高有機(jī)物清潔需求的場景。

混合酸配方：例如與HF、HCl結(jié)合，用于去除氧化層（如SC2溶液）或硅片表面native oxide。

選擇建議

傳統(tǒng)制程：優(yōu)先使用電子級高純硫酸，搭配SC1/SC2完成基礎(chǔ)清洗。

先進(jìn)制程（≤14nm）：采用電解硫酸替代傳統(tǒng)SPM，提升金屬與有機(jī)物去除選擇性，減少基底損傷。

特殊工藝需求：

光刻膠剝離：電解硫酸或過硫酸混合液；

金屬污染控制：低濃度H?O?的SPM或電解硫酸。

半導(dǎo)體清洗用硫酸的核心是高純度與氧化性可控。電子級硫酸是基礎(chǔ)選擇，而電解硫酸因其高選擇性氧化能力成為先進(jìn)制程的趨勢，尤其在減小金屬損失和提升有機(jī)物去除效率方面優(yōu)勢顯著124。實(shí)際選擇需結(jié)合具體工藝步驟（如RCA清洗、SPM剝離）和設(shè)備兼容性。

審核編輯 黃宇