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韓國(guó)蔚山科學(xué)技術(shù)院:多層離子電子傳感器,具有受控的電荷梯度,可實(shí)現(xiàn)高性能、自供電的觸覺(jué)傳感

傳感器專(zhuān)家網(wǎng) ? 來(lái)源:柔性傳感及器件 ? 作者:柔性傳感及器件 ? 2025-06-16 18:32 ? 次閱讀
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觸覺(jué)感知是一種基本能力,使生物體能夠感知和響應(yīng)機(jī)械刺激,從而與環(huán)境進(jìn)行復(fù)雜的相互作用。人體皮膚配備了專(zhuān)門(mén)的機(jī)械感受器,可以檢測(cè)到從輕微振動(dòng)到持續(xù)壓力的各種力,從而實(shí)現(xiàn)精確的物體操縱和感官反饋。這種特殊的傳感能力是由細(xì)胞膜上的離子運(yùn)輸驅(qū)動(dòng)的,細(xì)胞膜在機(jī)械變形時(shí)產(chǎn)生電信號(hào),形成生物傳感系統(tǒng)的基礎(chǔ)。在靜止?fàn)顟B(tài)下,細(xì)胞相對(duì)于細(xì)胞外環(huán)境保持-40 mV至-80 mV的細(xì)胞內(nèi)負(fù)電位,這是由離子濃度梯度建立的。當(dāng)施加機(jī)械刺激時(shí),機(jī)械感受器膜會(huì)變形,觸發(fā)離子通道打開(kāi)并產(chǎn)生編碼刺激信息的動(dòng)作電位。復(fù)制這種生物機(jī)制的努力使人工觸覺(jué)傳感器取得了重大進(jìn)展,特別是在機(jī)器人、人機(jī)界面和可穿戴設(shè)備中的應(yīng)用。因此,高分辨率觸覺(jué)傳感器與人工智能和機(jī)器人的集成實(shí)現(xiàn)了更直觀的人機(jī)交互。然而,雖然壓電和摩擦電設(shè)備是自供電的,對(duì)動(dòng)態(tài)力反應(yīng)迅速,但它們依賴于電子傳輸,導(dǎo)致與基于生物離子的信號(hào)阻抗不匹配。此外,它們的剛性結(jié)構(gòu)會(huì)導(dǎo)致與軟生物表面的模量不匹配,限制了一致性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。它們也很難檢測(cè)到靜態(tài)力,因?yàn)樗鼈兊男盘?hào)產(chǎn)生依賴于瞬態(tài)電荷位移。相比之下,離子電子傳感器利用離子傳輸,模仿生物感覺(jué)機(jī)制。這實(shí)現(xiàn)了無(wú)縫的生物電子集成、連續(xù)的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)力檢測(cè)以及增強(qiáng)的機(jī)械適應(yīng)性。它們?nèi)彳?、靈活和生物相容的特性允許與生物系統(tǒng)進(jìn)行有效的接口連接,使其非常適合可穿戴生物電子、機(jī)器人皮膚和人機(jī)界面。

在離子電子設(shè)備中,壓電觸覺(jué)傳感器因其高靈敏度和適應(yīng)復(fù)雜表面的能力而脫穎而出,這使得它們?cè)谛枰_和連續(xù)力檢測(cè)的應(yīng)用中特別有利。壓電效應(yīng)發(fā)生在機(jī)械應(yīng)力誘導(dǎo)離子運(yùn)動(dòng)的地方,由于離子遷移率的差異導(dǎo)致電荷不平衡。這種機(jī)制涉及離子的選擇性傳輸,當(dāng)一種離子優(yōu)先于其抗衡離子移動(dòng)時(shí),會(huì)產(chǎn)生極化,從而產(chǎn)生凈電荷不平衡。這種機(jī)制類(lèi)似于在生物細(xì)胞膜中觀察到的Donnan電位,提供了連續(xù)、自供電傳感的優(yōu)勢(shì),而不需要外部電源。與其他自供電傳感機(jī)制不同,如壓電和摩擦電效應(yīng),它們只在瞬時(shí)機(jī)械刺激下產(chǎn)生電信號(hào),壓電傳感器可以使用自發(fā)電能連續(xù)檢測(cè)動(dòng)態(tài)力和靜態(tài)環(huán)境變化。它們產(chǎn)生自供電信號(hào)、檢測(cè)負(fù)載方向以及對(duì)靜態(tài)和動(dòng)態(tài)刺激做出響應(yīng)的能力在各種應(yīng)用中都具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。然而,目前的壓電離子電子設(shè)備受到緩慢的離子傳輸動(dòng)力學(xué)和相對(duì)較低的靈敏度的限制。

本文亮點(diǎn)

1. 本工作提出了一種多層壓電離子傳感器,該傳感器結(jié)合了帶正電和帶負(fù)電的表面層,以產(chǎn)生受控的電荷梯度。這種設(shè)計(jì)增強(qiáng)了離子遷移率,降低了離子對(duì)之間的結(jié)合能,加速了電荷再分配,從而顯著提高了傳感性能。

2. 所提出的傳感器實(shí)現(xiàn)了1.2 μA的增強(qiáng)輸出電流和19 ms的快速響應(yīng)時(shí)間,與單層設(shè)計(jì)相比,具有優(yōu)越的傳感性能。

3. 該傳感器有效地檢測(cè)靜態(tài)和動(dòng)態(tài)力,包括用于表面紋理檢測(cè)的振動(dòng)刺激,并通過(guò)區(qū)分方向和強(qiáng)度來(lái)實(shí)現(xiàn)氣流映射。

圖文解析

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圖1. 具有P-N帶電層的多層壓電傳感器的設(shè)計(jì)原理和特性。(a)顯示磷脂排列和由此產(chǎn)生的膜電位分布的生物脂質(zhì)雙層圖。(b)仿生P-N帶電層結(jié)構(gòu),顯示界面處的離子分布和雙電層(EDL)形成。(c)展示帶電層和可移動(dòng)離子(EMIM+和TFSI-)之間靜電相互作用的操作機(jī)制,在機(jī)械刺激下增強(qiáng)離子解離。(d)電流響應(yīng)比較,顯示多層結(jié)構(gòu)在雙向彎曲變形下的靈敏度提高了約3倍。(e)橫截面SEM圖像和EDS圖,顯示了PSS中Na+和PDDA層中Cl-的明顯三層結(jié)構(gòu)(比例尺:10 μm)。(f)開(kāi)路電壓測(cè)量,顯示多層器件與單層配置相比的固有電位差(約40 mV)。

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圖2. 多層壓電傳感器中的表面電勢(shì)分析和離子分布特征。(a)PDDA(頂部)和PSS(底部)薄膜的表面電勢(shì)圖,顯示了它們不同的電荷特性。(b)PDDA基板上不同厚度的活性層的FT-IR光譜,顯示TFSI-濃度隨離界面距離的變化。(c)PDDA界面附近的離子分布示意圖,描繪了由靜電相互作用形成的EMIM+主導(dǎo)區(qū)域。(d)PSS基板上不同厚度的活性層的FT-IR光譜,表明離子分布穩(wěn)定。(e)PSS界面附近離子分布的示意圖,顯示了TFSI-主導(dǎo)區(qū)域。(f)基于DFT的結(jié)合能計(jì)算,用于(i)TFSI-–EMIM+離子對(duì)(3.22 eV),(ii)PDDA-TFSI-–EMIM+相互作用(1.13 eV)和(iii)PSS-EMIM+–TFSI-相互作用(0.75 eV),證明帶電層附近的結(jié)合能降低。

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圖3. 多層傳感器的壓電傳感能力。(a)不同彎曲狀態(tài)下傳感器中的離子分布示意圖:(i)無(wú)刺激的平衡,(ii)向右彎曲,(iii)向左彎曲。(b)電信號(hào)響應(yīng),顯示定向彎曲循環(huán)下的電壓和電流輸出。(c)5°至60°彎曲角度的電壓和電流響應(yīng)。(d)不同離子含量(5-20wt%)的阻抗特性,顯示電荷弛豫頻率的變化。(e)時(shí)間響應(yīng)時(shí)間分析,顯示優(yōu)化的19ms響應(yīng)時(shí)間。(f)表面紋理識(shí)別,通過(guò)短時(shí)傅里葉變換光譜模式區(qū)分不同粗糙度的砂紙(i–v樣品)。(g)循環(huán)穩(wěn)定性試驗(yàn),顯示5000次彎曲循環(huán)的一致性能。

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圖4. 單層和多層傳感器壓電性能的比較。(a)單層傳感器在彎曲變形(5°、30°和60°)下的電流響應(yīng)。(b)用于在具有梯度粗糙度的表面上進(jìn)行粗糙表面掃描的單層傳感器的STFT光譜圖案。(c)多層傳感器在彎曲變形(5°、30°和60°)下的電流響應(yīng),以及(d)單層傳感器在具有梯度粗糙度的表面上進(jìn)行粗糙表面掃描的STFT光譜圖。色階條指示STFT強(qiáng)度級(jí)別。(e)單層傳感器的奈奎斯特圖,顯示了體膜和EDL特性。(f)單層配置中離子分布的示意圖。(g)單層傳感器的等效電路模型。(h)修改了多層傳感器的等效電路模型,考慮了離子積累效應(yīng)。(i)頻率相關(guān)tan?δ曲線顯示電荷弛豫頻率隨著彎曲變形角度的增加而偏移。(j)松弛時(shí)間與彎曲角度之間的關(guān)系。

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圖5. 多層壓電傳感器的聲音檢測(cè)和氣流傳感能力。(a)比較壓電傳感器和用于錄制莫扎特《費(fèi)加羅序曲的婚禮》的商用麥克風(fēng)之間的聲音檢測(cè)的頻譜。揚(yáng)聲器聲音的聲壓級(jí)為40-80dB。(b)語(yǔ)音識(shí)別能力,顯示波形和相應(yīng)的頻譜,根據(jù)頻率分布區(qū)分男性和女性語(yǔ)音成分。(c)氣流方向傳感性能,顯示對(duì)應(yīng)于不同流向的相反峰值的電流響應(yīng)。(d)氣流速率傳感性能,顯示傳感器在增加氣流速率下的彎曲和相應(yīng)的電流信號(hào)(i–vi連續(xù)圖像)。(e)八角形傳感器陣列設(shè)計(jì),使風(fēng)向標(biāo)應(yīng)用成為可能。(f)定量氣流測(cè)量能力,在不同壓力水平下以高精度顯示一致的傳感器響應(yīng)。

來(lái)源:柔性傳感及器件

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