KLA Instruments 小課堂

定期分享KLA Instruments旗下產(chǎn)品的各種技術(shù)資料、應(yīng)用筆記和使用指南。

旗下產(chǎn)品包括：輪廓儀、納米壓痕儀、薄膜測(cè)厚儀、方阻測(cè)量?jī)x以及晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)。

6月11日，KLA Instruments將亮相一年一度的2025國(guó)際太陽(yáng)能光伏與智慧能源&儲(chǔ)能及電池技術(shù)與裝備(上海)大會(huì)。

SNEC PV Power& ES Expo

SNEC光伏展覽會(huì)是全球性的專(zhuān)業(yè)光伏展，其展出內(nèi)容包括：光伏生產(chǎn)設(shè)備、材料、光伏電池、光伏應(yīng)用產(chǎn)品和組件，以及光伏工程及系統(tǒng)、儲(chǔ)能、移動(dòng)能源等，涵蓋了光伏產(chǎn)業(yè)鏈的各個(gè)環(huán)節(jié)。

SNEC光伏論壇形式也格外豐富多彩，涉及光伏產(chǎn)業(yè)未來(lái)市場(chǎng)趨勢(shì)分析、合作發(fā)展策略、各國(guó)政策導(dǎo)向、行業(yè)最前沿技術(shù)、光伏金融等，是向業(yè)界展示成果的最佳機(jī)會(huì)。

KLA Instruments將借此次機(jī)會(huì)展出最新推出的新品光學(xué)輪廓儀Zeta-Solar、Zeta-20HR，探針式輪廓儀Tencor P-7、方阻測(cè)試儀Filmetrics R54等多款重點(diǎn)機(jī)型，并由應(yīng)用經(jīng)理 Dr. Jianhui Liang帶來(lái)關(guān)于“KLA 在光伏電池片制造領(lǐng)域的解決方案”的精彩演講。歡迎蒞臨！

展會(huì)時(shí)間：2025年6月11日-13日

展會(huì)地點(diǎn)：國(guó)家會(huì)展中心（上海市青浦區(qū)崧澤大道333號(hào)）

展位號(hào)：1.2H-E530

演講主題：KLA 在光伏電池片制造領(lǐng)域的解決方案

演講嘉賓：梁建輝 博士

演講時(shí)間：2025年6月12日，下午14:45

演講地點(diǎn)：國(guó)家會(huì)展中心上海洲際酒店，多功能廳10

梁建輝 博士PROFILE

KLA Instruments 應(yīng)用工程經(jīng)理

梁建輝博士是科磊半導(dǎo)體的應(yīng)用工程經(jīng)理，在KLA美國(guó)總部帶領(lǐng)KLA Instruments的應(yīng)用開(kāi)發(fā)團(tuán)隊(duì)，專(zhuān)注于推進(jìn)表面量測(cè)技術(shù)的應(yīng)用開(kāi)發(fā)，包括探針式輪廓儀、白光干涉、自動(dòng)變焦、反射光譜、四探針測(cè)方阻、渦流法測(cè)電阻等量測(cè)技術(shù)。梁建輝于2011年和2016年分別獲得復(fù)旦大學(xué)物理學(xué)學(xué)士和博士學(xué)位，并于2016年加入KLA。迄今為止已經(jīng)發(fā)表超過(guò)25篇學(xué)術(shù)論文，累計(jì)被引超過(guò)600次。他的研究成果發(fā)表于Applied Physics Letters, Optics Express, Advanced Optical Materials, Physical Review B, Thin Solid Films等知名學(xué)術(shù)期刊。

課程內(nèi)容包括：

1）光學(xué)輪廓儀如何對(duì)晶硅太陽(yáng)能電池片的絨面及表面柵線輪廓進(jìn)行測(cè)量；

2）臺(tái)階儀如何對(duì)鈣鈦礦電池器件的薄膜厚度進(jìn)行快速且準(zhǔn)確的測(cè)量；

3）方阻測(cè)試儀如何在擴(kuò)散、氧化和退火工藝流程中進(jìn)行有效的方阻監(jiān)控。