引言

深凹槽結(jié)構(gòu)在航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片榫槽、模具型腔等關(guān)鍵零部件中廣泛應(yīng)用，其幾何參數(shù)精度直接影響裝備的可靠性與壽命。光學(xué)檢測(cè)技術(shù)憑借非接觸、高精度等優(yōu)勢(shì)，成為深凹槽質(zhì)量控制的核心手段。隨著飛秒激光技術(shù)發(fā)展，激光頻率梳 3D 輪廓測(cè)量為深凹槽光學(xué)檢測(cè)帶來革命性突破。

傳統(tǒng)深凹槽光學(xué)檢測(cè)技術(shù)

結(jié)構(gòu)光投影測(cè)量

該技術(shù)通過投影儀向深凹槽投射正弦條紋圖案，相機(jī)采集變形條紋后，基于三角測(cè)量原理解算三維形貌。典型系統(tǒng)如德國 GOM ATOS，測(cè)量深度范圍 0 - 300mm，點(diǎn)云分辨率約 0.1mm。但深徑比超過 8:1 時(shí)，凹槽底部會(huì)因光線遮擋形成測(cè)量盲區(qū)，且條紋圖像易受表面反光影響，在鋁合金等光亮材質(zhì)檢測(cè)中誤差可達(dá) ±0.05mm。

光譜共焦測(cè)量

利用不同波長激光聚焦于不同深度的特性，通過光譜儀分析反射光波長獲取深度信息。探頭直徑最小可達(dá) 1mm，適用于窄深凹槽檢測(cè)，深度分辨率達(dá) 0.1μm。然而，測(cè)量速度受限于波長掃描頻率（約 100Hz），檢測(cè) 100mm 深凹槽需 10 秒以上，且對(duì)凹槽內(nèi)壁傾斜角度敏感，超過 30° 時(shí)測(cè)量精度顯著下降。

激光三角測(cè)量

采用半導(dǎo)體激光束斜射凹槽表面，CCD 相機(jī)接收反射光斑，通過幾何關(guān)系計(jì)算深度。測(cè)量范圍通常 0 - 200mm，精度 ±0.02mm。但該技術(shù)遵循 “遠(yuǎn)小近大” 成像規(guī)律，深凹槽底部光斑成像尺寸縮小，導(dǎo)致信噪比降低，當(dāng)深徑比大于 5:1 時(shí)，深度測(cè)量誤差超過 ±0.1mm。

激光頻率梳 3D 輪廓測(cè)量技術(shù)研究現(xiàn)狀

技術(shù)原理與系統(tǒng)架構(gòu)

激光頻率梳作為飛秒激光鎖模技術(shù)的產(chǎn)物，其光譜呈現(xiàn)等間隔梳狀頻率分布，可實(shí)現(xiàn)時(shí)間與頻率的精準(zhǔn)測(cè)量。深凹槽檢測(cè)系統(tǒng)通常采用 1550nm 光頻梳光源（重復(fù)頻率 500MHz），配合二維振鏡掃描機(jī)構(gòu)，以 1MHz 采樣頻率對(duì)凹槽內(nèi)壁進(jìn)行螺旋掃描。反射光與參考光的干涉信號(hào)經(jīng)光譜儀采集后，通過傅里葉變換解算絕對(duì)距離，構(gòu)建三維點(diǎn)云模型。

關(guān)鍵技術(shù)突破

深徑比限制突破

美國 NIST 研發(fā)的光頻梳檢測(cè)系統(tǒng)通過多波長合成技術(shù)，將測(cè)量深徑比提升至 20:1，在 φ10mm×200mm 鈦合金凹槽檢測(cè)中，深度測(cè)量不確定度達(dá) ±0.5μm。其核心在于采用光頻梳的相干長度擴(kuò)展技術(shù)，通過波長調(diào)諧實(shí)現(xiàn) 200mm 范圍內(nèi)的無模糊測(cè)距。

動(dòng)態(tài)測(cè)量精度提升

德國 PTB 提出的 “振動(dòng)相位補(bǔ)償” 算法，利用慣性測(cè)量單元實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)測(cè)量頭振動(dòng)，在數(shù)據(jù)處理階段對(duì)相位偏移進(jìn)行修正。實(shí)驗(yàn)表明，該技術(shù)使運(yùn)動(dòng)狀態(tài)下的深度測(cè)量重復(fù)性誤差從 ±1.2μm 降至 ±0.3μm，滿足生產(chǎn)線在線檢測(cè)需求。

復(fù)雜表面適應(yīng)性優(yōu)化

中國科學(xué)院團(tuán)隊(duì)開發(fā)的自適應(yīng)光斑整形技術(shù)，可根據(jù)凹槽深度自動(dòng)調(diào)整激光束發(fā)散角。在深凹槽上部采用寬光斑快速掃描，底部切換為窄光斑精細(xì)測(cè)量，將 100mm 深凹槽的檢測(cè)時(shí)間縮短至 6 秒，同時(shí)保證底部點(diǎn)云密度達(dá) 500 點(diǎn) /mm2。

工程應(yīng)用與挑戰(zhàn)

在航空發(fā)動(dòng)機(jī)領(lǐng)域，普惠公司將光頻梳檢測(cè)系統(tǒng)集成于葉片加工中心，實(shí)現(xiàn)榫槽深度（精度 ±0.8μm）與側(cè)壁垂直度（誤差 ±5″）的同步檢測(cè)。汽車模具行業(yè)中，德國 Fibro 公司的在線檢測(cè)設(shè)備可在 8 秒內(nèi)完成深 50mm 注塑模凹槽的三維掃描，缺陷識(shí)別最小尺寸達(dá) 0.02mm。

當(dāng)前研究面臨兩大挑戰(zhàn)：一是深凹槽內(nèi)殘留切削液對(duì) 1550nm 激光的吸收導(dǎo)致信號(hào)衰減，需研發(fā)波長切換技術(shù)（如 1064nm 與 1550nm 雙波長互補(bǔ)）；二是超大深徑比（>30:1）凹槽的底部信號(hào)采集，需結(jié)合光纖探針陣列實(shí)現(xiàn)多通道光場(chǎng)耦合。

激光頻率梳3D光學(xué)輪廓測(cè)量系統(tǒng)簡介：

20世紀(jì)80年代，飛秒鎖模激光器取得重要進(jìn)展。2000年左右，美國J.Hall教授團(tuán)隊(duì)?wèi){借自參考f-2f技術(shù)，成功實(shí)現(xiàn)載波包絡(luò)相位穩(wěn)定的鈦寶石鎖模激光器，標(biāo)志著飛秒光學(xué)頻率梳正式誕生。2005年，Theodor.W.H?nsch（德國馬克斯普朗克量子光學(xué)研究所）與John.L.Hall（美國國家標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)研究所）因在該領(lǐng)域的卓越貢獻(xiàn)，共同榮獲諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。?

系統(tǒng)基于激光頻率梳原理，采用500kHz高頻激光脈沖飛行測(cè)距技術(shù)，打破傳統(tǒng)光學(xué)遮擋限制，專為深孔、凹槽等復(fù)雜大型結(jié)構(gòu)件測(cè)量而生。在1m超長工作距離下，仍能保持微米級(jí)精度，革新自動(dòng)化檢測(cè)技術(shù)。?

核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)?

①同軸落射測(cè)距：獨(dú)特掃描方式攻克光學(xué)“遮擋”難題，適用于縱橫溝壑的閥體油路板等復(fù)雜結(jié)構(gòu)；?

（以上為新啟航實(shí)測(cè)樣品數(shù)據(jù)結(jié)果）

②高精度大縱深：以±2μm精度實(shí)現(xiàn)最大130mm高度/深度掃描成像；?

（以上為新啟航實(shí)測(cè)樣品數(shù)據(jù)結(jié)果）

③多鏡頭大視野：支持組合配置，輕松覆蓋數(shù)十米范圍的檢測(cè)需求。

（以上為新啟航實(shí)測(cè)樣品數(shù)據(jù)結(jié)果）

審核編輯 黃宇