株式會(huì)社村田制作所 (TOKYO:6981)（以下簡(jiǎn)稱“村田”）開(kāi)發(fā)出了面向工業(yè)設(shè)備的數(shù)字三軸MEMS(1)加速度傳感器“SCA3400系列”（以下簡(jiǎn)稱“本產(chǎn)品”）。本產(chǎn)品在長(zhǎng)期使用下的傳感器輸出變化值（偏移壽命漂移(2)）低于0.5mg（毫伽），屬于業(yè)內(nèi)居先水平(3)。本產(chǎn)品具備高度耐久性，有助于提升橋梁、建筑等結(jié)構(gòu)物劣化監(jiān)測(cè)設(shè)備的可靠性。預(yù)計(jì)將于2025年10月開(kāi)始量產(chǎn)。

(1) MEMS（微型電子機(jī)械系統(tǒng)）：通過(guò)對(duì)硅片等材料的精細(xì)加工，制造出傳感器結(jié)構(gòu)和電子電路的技術(shù)。
(2) 偏移壽命漂移：指?jìng)鞲衅髟谑褂闷陂g輸出數(shù)值發(fā)生偏移的現(xiàn)象。該數(shù)值越高，偏移越大。
(3) 數(shù)據(jù)來(lái)源：村田，截至2025年6月23日。

隨著工業(yè)設(shè)備的數(shù)字化，自動(dòng)檢測(cè)結(jié)構(gòu)物和機(jī)械設(shè)備等異?；驌p傷、實(shí)現(xiàn)預(yù)測(cè)性維護(hù)的需求不斷增長(zhǎng)。通過(guò)傳感器進(jìn)行變化檢測(cè)是實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化的重要方式之一。尤其在對(duì)橋梁、建筑等進(jìn)行結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測(cè)時(shí)，需要進(jìn)行長(zhǎng)期監(jiān)控，因此，能夠準(zhǔn)確捕捉結(jié)構(gòu)物微小形變或變化的加速度傳感器性能，會(huì)直接影響整個(gè)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的可靠性。然而，傳統(tǒng)能夠檢測(cè)細(xì)微傾斜的高精度加速度傳感器，其偏移壽命漂移值較高，使用時(shí)間一長(zhǎng)，基準(zhǔn)位置偏移就會(huì)增大，導(dǎo)致難以準(zhǔn)確監(jiān)測(cè)結(jié)構(gòu)物的劣化。

對(duì)此，村田通過(guò)自主研發(fā)的MEMS工藝與新型電路設(shè)計(jì)，開(kāi)發(fā)出了既可檢測(cè)微小傾斜、又將偏移壽命漂移值控制在0.5mg以下的本產(chǎn)品。借此，有助于提升結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測(cè)等系統(tǒng)的長(zhǎng)期高精度測(cè)量能力。本產(chǎn)品還具備出眾的抗振動(dòng)和抗溫度變化能力，即使在惡劣環(huán)境下的工業(yè)設(shè)備中，也可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期穩(wěn)定使用。

今后，村田將繼續(xù)致力于高精度加速度傳感器的研發(fā)，滿足多樣化的市場(chǎng)需求。

主要特點(diǎn)

偏移壽命漂移值業(yè)內(nèi)居先，低于0.5mg。

低噪聲，能夠準(zhǔn)確檢測(cè)微小動(dòng)作。

具備良好的抗振動(dòng)和抗溫度變化能力，可在惡劣環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行。

配備可實(shí)時(shí)監(jiān)控傳感器狀態(tài)的自診斷功能。

與村田以往產(chǎn)品采用相同尺寸和輸出方式，便于客戶減少額外設(shè)計(jì)工時(shí)。

主要參數(shù)

審核編輯 黃宇