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粗糙度的濾波值是怎么設(shè)置的?

jf_14507239 ? 來源:jf_14507239 ? 作者:jf_14507239 ? 2025-07-03 09:46 ? 次閱讀
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引言

在表面粗糙度測量中,濾波處理是分離表面輪廓中不同頻率成分的關(guān)鍵步驟,而濾波值的設(shè)置直接影響粗糙度參數(shù)計算的準(zhǔn)確性。合理設(shè)置濾波值,能夠有效剔除表面輪廓中的形狀誤差和波紋度成分,保留真實反映表面微觀不平度的信息。本文將詳細(xì)探討粗糙度濾波值的設(shè)置方法與依據(jù)。

濾波原理與類型

表面輪廓包含了形狀誤差、波紋度和粗糙度等不同尺度的幾何特征,濾波的本質(zhì)是通過數(shù)學(xué)算法對輪廓數(shù)據(jù)進(jìn)行頻率分離。常見的濾波類型有高斯濾波、2RC 濾波等 。高斯濾波基于高斯函數(shù)對輪廓數(shù)據(jù)進(jìn)行加權(quán)平均,能夠平滑輪廓曲線且較好地保留真實粗糙度特征;2RC 濾波則模擬了電子電路中的 RC 濾波特性,通過設(shè)定時間常數(shù)來實現(xiàn)對不同頻率成分的衰減。不同濾波類型的特性差異,決定了其在濾波值設(shè)置上的不同要求。

濾波值設(shè)置依據(jù)

國家標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范

各國及國際標(biāo)準(zhǔn)化組織(如 ISO、GB 等)制定的標(biāo)準(zhǔn)是濾波值設(shè)置的重要依據(jù)。以 ISO 11562 標(biāo)準(zhǔn)為例,其明確規(guī)定了不同加工工藝、表面特性下推薦的截止波長(與濾波值相關(guān)) 。對于車削加工的金屬表面,根據(jù)加工精度和表面要求,標(biāo)準(zhǔn)會給出相應(yīng)的截止波長范圍,指導(dǎo)測量時濾波值的選擇,以確保測量結(jié)果的一致性和可比性。

加工工藝與表面特征

不同加工工藝產(chǎn)生的表面特征不同,濾波值設(shè)置需與之適配。磨削加工后的表面,微觀輪廓較為規(guī)則,粗糙度頻率成分相對集中,可選用較小的濾波截止波長,保留更多微觀細(xì)節(jié);而銑削加工表面,可能存在較大尺度的波紋,需采用較大截止波長的濾波值,先去除波紋度影響,突出粗糙度特征 。此外,表面紋理方向和材料特性也會影響濾波效果,如各向異性材料的表面,濾波值設(shè)置需考慮紋理方向?qū)喞l率成分的影響。

測量儀器特性

測量儀器的分辨率、采樣頻率等特性限制了濾波值的設(shè)置范圍。若濾波截止波長過小,儀器可能無法準(zhǔn)確采集到高頻粗糙度成分;若過大,則可能過度平滑輪廓,丟失重要信息。例如,觸針式粗糙度儀的觸針半徑和采樣間距,決定了其對表面輪廓高頻成分的采集能力,在設(shè)置濾波值時需充分考慮這些因素,避免因濾波不當(dāng)導(dǎo)致測量誤差 。

濾波值設(shè)置方法

在實際操作中,常采用試錯法與標(biāo)準(zhǔn)推薦值相結(jié)合的方式設(shè)置濾波值。先參考標(biāo)準(zhǔn)給出的截止波長推薦值,對測量數(shù)據(jù)進(jìn)行濾波處理;然后觀察濾波后的輪廓曲線,判斷是否有效分離了形狀誤差和波紋度,若未達(dá)到理想效果,則調(diào)整濾波值重新處理 。同時,隨著計算機(jī)技術(shù)的發(fā)展,部分先進(jìn)的粗糙度測量軟件具備自動濾波功能,通過算法分析表面輪廓特征,智能推薦合適的濾波值,但仍需測量人員結(jié)合實際情況進(jìn)行驗證和調(diào)整。

TopMap Micro View白光干涉3D輪廓儀

一款可以“實時”動態(tài)/靜態(tài) 微納級3D輪廓測量的白光干涉儀

1)一改傳統(tǒng)白光干涉操作復(fù)雜的問題,實現(xiàn)一鍵智能聚焦掃描,亞納米精度下實現(xiàn)卓越的重復(fù)性表現(xiàn)。

2)系統(tǒng)集成CST連續(xù)掃描技術(shù),Z向測量范圍高達(dá)100mm,不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率,為復(fù)雜形貌測量提供全面解決方案。

3)可搭載多普勒激光測振系統(tǒng),實現(xiàn)實現(xiàn)“動態(tài)”3D輪廓測量。

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實際案例

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1,優(yōu)于1nm分辨率,輕松測量硅片表面粗糙度測量,Ra=0.7nm

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2,毫米級視野,實現(xiàn)5nm-有機(jī)油膜厚度掃描

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3,卓越的“高深寬比”測量能力,實現(xiàn)光刻圖形凹槽深度和開口寬度測量。

審核編輯 黃宇

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