7月14日中午，隨著首臺8英寸生產(chǎn)線光刻機設備被吊車移進位于高新區(qū)的重慶奧松半導體特色芯片產(chǎn)業(yè)基地（下稱“奧松半導體項目”），標志著這一項目全面進入設備安裝調(diào)試的快車道，也為其順利達成既定目標奠定了堅實基礎——今年8月底通線試產(chǎn)，第四季度實現(xiàn)產(chǎn)能爬坡并交付客戶。

光刻機進入百級潔凈黃光區(qū)廠房

奧松半導體項目作為重慶首個8英寸MEMS特色芯片全產(chǎn)業(yè)鏈項目，計劃總投資35億元，包含8英寸特色傳感器芯片量產(chǎn)線、8英寸MEMS特色晶圓快速研發(fā)線、智能傳感器創(chuàng)新研發(fā)中心、車規(guī)級傳感器可靠性檢測中心、產(chǎn)學研科研中心及奧松半導體研發(fā)辦公大樓等，技術能力覆蓋各類MEMS特色工藝，可實現(xiàn)各類MEMS半導體傳感器產(chǎn)品從研發(fā)到量產(chǎn)的無縫銜接，對重慶乃至整個集成電路行業(yè)都具有深遠意義。

“光刻機是整個芯片制造過程中最關鍵的核心設備，首臺光刻機成功搬入，標志著我們產(chǎn)線正式進入設備安裝調(diào)試階段，離正式通線試產(chǎn)并量產(chǎn)指日可待?！眾W松半導體項目負責人李忠告訴上游新聞記者，接下來幾天將陸續(xù)搬入用于晶圓制造、封裝測試、模塊生產(chǎn)、系統(tǒng)應用等各類工藝和輔助設備，全部設備計劃于月底前搬入完成，第二臺光刻機也將于8月搬入。待一期項目達產(chǎn)后，將形成每月10000~20000片晶圓的產(chǎn)能。

運載光刻機各部件的貨柜車進入廠區(qū)

據(jù)介紹，今年奧松半導體項目圍繞“7月光刻機進場、8月底通線試產(chǎn)、第四季度產(chǎn)能爬坡并陸續(xù)交付客戶”的階段性目標，同步推進竣工驗收、產(chǎn)能通線、工廠運營、良率提升和產(chǎn)品交付等工作，目前公司為項目順利通線投產(chǎn)已儲備和投用了兩百余名員工。同時將持續(xù)加大新產(chǎn)品、新技術研發(fā)投入力度，進一步拓展客戶和市場。

上游新聞記者 陳力