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利用磁渦旋結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)高性能磁傳感器

MEMS ? 來源:未知 ? 作者:胡薇 ? 2018-07-10 11:45 ? 次閱讀
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傳感器在各類應(yīng)用中起著關(guān)鍵作用,例如汽車電子或生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用中的速度與位置信號感知。

一款具有渦旋狀態(tài)磁性換能元件的磁傳感器據(jù)麥姆斯咨詢介紹,許多現(xiàn)代技術(shù)應(yīng)用均是基于磁性技術(shù),例如在電動汽車中的動力部件,或存儲數(shù)據(jù)的硬盤。另外,磁場探測也會作為傳感器的功能之一。目前,采用半導(dǎo)體技術(shù)制造的磁場傳感器市場規(guī)模已達(dá)到16.7億美元,并將持續(xù)增長勢頭。在汽車電子行業(yè)中,將更精確的磁場傳感器應(yīng)用于ABS系統(tǒng)中不僅可以檢測速度與位置,還可以間接檢測輪胎壓力,無需在輪胎中額外安裝壓力傳感器,節(jié)省了資源和成本。而如各向異性磁阻(AMR)、巨磁阻(GMR)和隧道磁阻(TMR)等新型磁阻傳感器技術(shù)相關(guān)應(yīng)用的興起,主要歸功于其靈敏度和集成能力的提高。

新型磁場傳感器的核心是可以實現(xiàn)磁信號轉(zhuǎn)換的微結(jié)構(gòu)鐵磁薄膜元件(microstructured ferromagnetic thin-film element),但這些元件通常呈現(xiàn)非線性磁滯曲線,使得傳感器性能受到磁噪聲的限制。

奧地利科學(xué)家團(tuán)隊著重研究了磁阻傳感器中磁噪聲的起源,并證明了在換能元件中受拓?fù)浔Wo(hù)的磁渦旋狀態(tài)可以克服噪聲問題。利用解析法和微磁模型,研究者發(fā)現(xiàn)噪聲的主要來源是靠近Stoner–Wohlfarth模型反轉(zhuǎn)磁場的外部磁場處換能器元件不可復(fù)制的磁性反轉(zhuǎn)。為了解決這個問題,研究者利用流體封閉的渦旋結(jié)構(gòu),開發(fā)出了巨磁阻傳感器結(jié)構(gòu),即使與目前最先進(jìn)的傳感器相比,該傳感器也毫不遜色:磁噪聲更低,線性度高出一個數(shù)量級,磁滯幾乎可以忽略。

旋轉(zhuǎn)磁場與Stoner-Wohlfarth模型相切產(chǎn)生的相位噪聲

一旦施加外部磁場,這種所謂的換能元件(transducer element)就會改變其電行為;原子“羅盤針”,即原子磁偶極子(atomic magnetic dipoles)將重新排列,從而改變了換能元件的電阻。該行為可用來探測磁場。

臨界場附近的渦旋磁化模式

圖中虛線處是剛性渦旋模型預(yù)測的臨界磁場

在維也納大學(xué)(University of Vienna)、克雷姆斯多瑙河大學(xué)(Danube University Krems)與英飛凌公司(Infineon AG)的共同合作中,由Dieter Suss領(lǐng)導(dǎo)的研究小組在基督教多普勒實驗室的“先進(jìn)磁傳感與材料”組織對物理起源和理論極限進(jìn)行了詳細(xì)的分析,并針對解決方案提出了具體建議。該研究結(jié)果近期發(fā)表于雜志《自然電子學(xué)》(Nature Electronics)。

在本項目研究中,科學(xué)家利用經(jīng)過實驗驗證的計算機(jī)仿真表明,通過重新設(shè)計換能元件,可以顯著降低干擾信號、磁噪聲和磁滯現(xiàn)象。在新的設(shè)計中,換能元件的原子磁偶極排列在中心周圍,形態(tài)類似颶風(fēng)。外部磁場改變了該渦旋中心的位置,這直接表現(xiàn)為電阻的變化。

該項目負(fù)責(zé)人Dieter Suss說:“這次展示了磁渦旋結(jié)構(gòu)的首次大規(guī)模應(yīng)用,與傳統(tǒng)的磁性傳感器相比有顯著的改進(jìn)?!痹撗芯宽椖科鸬搅撕芎玫氖痉蹲饔茫喝缭谕獠看艌鲋械拇艤u旋結(jié)構(gòu)行為等基礎(chǔ)研究和純科學(xué)問題,可以催生非常成功的應(yīng)用。Suss針對該重要協(xié)同作用補(bǔ)充道:“科學(xué)到應(yīng)用的先決條件是建立科學(xué)與產(chǎn)業(yè)界之間的合作,在合作過程中,產(chǎn)業(yè)界既可以提供與實踐緊密相連的問題,也可以為實現(xiàn)這些復(fù)雜的技術(shù)提供如凈化間等技術(shù)設(shè)施?!?/p>

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原文標(biāo)題:科學(xué)家利用磁渦旋結(jié)構(gòu)實現(xiàn)高性能磁傳感器

文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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