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低溫光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中4個關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用介紹

MEMS ? 來源:未知 ? 作者:工程師郭婷 ? 2018-09-04 16:41 ? 次閱讀
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1引言

紅外天文望遠(yuǎn)鏡、對地觀測或軍事探測等應(yīng)用中,如果探測儀器的光學(xué)系統(tǒng)或者視場內(nèi)儀器本身元器件的熱輻射較強(qiáng),這些背景噪聲會嚴(yán)重影響探測儀器對目標(biāo)的探測。因此要想提高紅外探測系統(tǒng)的探測靈敏度,就必須降低探測儀器的光學(xué)系統(tǒng)和視場內(nèi)儀器本身元器件的輻射強(qiáng)度,采用紅外低溫光學(xué)系統(tǒng)是目前最主要的方法。低溫光學(xué)系統(tǒng)從20世紀(jì)70年代末問世以來,在目標(biāo)空間紅外探測中得到了廣泛應(yīng)用。系統(tǒng)制冷溫度從液氮溫度(77K)降低到液氦溫度(2K),探測波長擴(kuò)展到十幾甚至幾十微米,光學(xué)系統(tǒng)的口徑小到10cm量級,大至1m左右的都有。目前國外在空間探測任務(wù)中,已成功應(yīng)用或正在研制中準(zhǔn)備發(fā)射的紅外低溫光學(xué)系統(tǒng),可以歸結(jié)為兩類:1)全光路冷卻系統(tǒng),以空間紅外天文望遠(yuǎn)鏡為代表;2)局部的低溫光學(xué)系統(tǒng),主要以冷卻后光路為主,主要應(yīng)用在對地觀測方面。本文首先總結(jié)了紅外低溫光學(xué)的幾個關(guān)鍵技術(shù),然后介紹了幾個典型的紅外低溫光學(xué)應(yīng)用實(shí)例,最后展望了紅外低溫光學(xué)在機(jī)載環(huán)境下的應(yīng)用前景。

2紅外低溫光學(xué)關(guān)鍵技術(shù)及解決途徑

采用低溫光學(xué)技術(shù)來降低光學(xué)系統(tǒng)溫度能夠有效降低背景噪聲,提高信噪比和靈敏度。低溫光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、制造和檢測,與傳統(tǒng)光學(xué)系統(tǒng)有很大的不同,不僅要求成像質(zhì)量好、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、耐沖擊、經(jīng)得住系統(tǒng)內(nèi)部溫度變化引起的熱負(fù)載,而且對系統(tǒng)的重量也有一定的限制?;谏鲜黾夹g(shù)要求,低溫光學(xué)系統(tǒng)在設(shè)計(jì)時需要考慮以下四個要素:1)光學(xué)系統(tǒng)構(gòu)型選擇;2)光學(xué)系統(tǒng)材料選擇;3)光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì);4)光學(xué)系統(tǒng)制冷方案設(shè)計(jì)。下面就從這四個方面對紅外低溫光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行分析。

2.1紅外低溫光學(xué)系統(tǒng)構(gòu)型選擇

研制低溫光學(xué)系統(tǒng)合理的途徑是在室溫下制造、檢驗(yàn)合格,而使它在低溫下工作時仍能保證其令人滿意的成像質(zhì)量。所以,低溫光學(xué)系統(tǒng)實(shí)際上是一個在很大溫度范圍內(nèi)能正常工作,并且維持衍射極限成像的特殊光學(xué)系統(tǒng)。低溫光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)必須遵循無熱效應(yīng)的設(shè)計(jì)原則,低溫光學(xué)系統(tǒng)的構(gòu)型可以分為全反射式光學(xué)系統(tǒng)和折射式光學(xué)系統(tǒng)兩種類型。

全反射式低溫光學(xué)系統(tǒng)能在寬波段內(nèi)消除色差,獲得衍射極限的成像質(zhì)量,并且全部的光學(xué)元件用相同的材料制成,低溫制冷后能夠在常溫下進(jìn)行光學(xué)裝調(diào)。全反射光學(xué)系統(tǒng)的另一個優(yōu)點(diǎn)是光線不進(jìn)入光學(xué)元件內(nèi)部,因此能夠有效避免材料內(nèi)部的光學(xué)特性在溫度變化較大時的檢測與控制問題。全反射式光學(xué)系統(tǒng)在降溫處理過程中的關(guān)鍵是找準(zhǔn)系統(tǒng)熱致伸縮的基點(diǎn)/基面。為保證反射鏡鏡面冷卻后的面型精度,需要機(jī)械設(shè)計(jì)人員著重設(shè)計(jì)反射鏡與冷板相連接的部位。全反射式光學(xué)系統(tǒng)的缺點(diǎn)是通常只能采用離軸形式,因此設(shè)備尺寸相對較大,裝調(diào)困難,故僅適用于結(jié)構(gòu)簡單的低溫光學(xué)系統(tǒng)。

折射式低溫光學(xué)系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)是尺寸小,結(jié)構(gòu)簡單,缺點(diǎn)是不能保證所有材料相同,不同材料(包括光學(xué)鏡片和鏡框的材料)在冷卻時熱膨脹系數(shù)不同,而且不能用傳統(tǒng)安裝方法來安裝透鏡,必須采用柔性支撐,這會導(dǎo)致安裝難度的增加。低溫光學(xué)系統(tǒng)冷卻后需要使光學(xué)裝調(diào)能夠正常進(jìn)行,并且需要同時滿足光學(xué)設(shè)計(jì)公差。對于含有折射元件的低溫光學(xué)系統(tǒng),光學(xué)設(shè)計(jì)給出的光學(xué)鏡片的曲率半徑、鏡片中心厚度以及元件間隔等參數(shù)在加工裝調(diào)時需換算到室溫條件下的參數(shù)。換算后的曲率半徑和鏡片中心厚度值可以由ZEMAX光學(xué)設(shè)計(jì)軟件的多重結(jié)構(gòu)功能選項(xiàng)直接得到,而元件間隔只能手動計(jì)算,這是因?yàn)殓R片的移動不是按順序依次進(jìn)行的,所以光學(xué)設(shè)計(jì)軟件給出的結(jié)果往往有偏差,而且系統(tǒng)熱致伸縮的基點(diǎn)或基面需要視杜瓦結(jié)構(gòu)和制冷方案等具體情況而定。

全反射式和折射式兩種結(jié)構(gòu)的光學(xué)系統(tǒng)各有優(yōu)缺點(diǎn),設(shè)計(jì)時要結(jié)合具體應(yīng)用的需求綜合考慮。

2.2紅外低溫光學(xué)系統(tǒng)材料選擇

低溫光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、加工和裝調(diào)建立在材料特性的基礎(chǔ)上,充分了解選用的光學(xué)材料特性才能將低溫光學(xué)系統(tǒng)各規(guī)格參數(shù)換算到室溫水平。低溫光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)材料要選用透紅外、耐高溫、耐腐蝕的材料,目前可用于紅外波段的光學(xué)材料主要包括AI2O3、AlON、MgF2、Si、GaAs、GaP、ZnS、Ge、CaLa2S4等,表1為其主要性能。

表1 常用光學(xué)材料性能表

低溫光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中4個關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用介紹

從這些材料的性能來看,金剛石是適合用于紅外低溫光學(xué)窗口的材料,但是天然金剛石價格高,人造金剛石的尺寸又不能滿足要求;GaP距離工程實(shí)用化還相差較遠(yuǎn);Ge在工作溫度高于一定溫度后,透過率會迅速下降,因而難以用作紅外低溫光學(xué)窗口材料;CaLa2S4的熱膨脹系數(shù)很大,難以適用于熱環(huán)境變化劇烈的工作條件,目前只有極少數(shù)國家在開展這種材料的研究工作;GaAs較軟,欲制作大尺寸的光學(xué)窗口較難實(shí)現(xiàn);ZnS和ZnSe相比,光學(xué)特性近似,但是ZnS的機(jī)械性能優(yōu)于ZnSe的機(jī)械性能,因此常常用ZnS來作為紅外低溫光學(xué)的窗口材料。ZnS材料屬于光學(xué)晶體,材料的制作通常采用物理氣相沉積,化學(xué)氣相沉積,粉末熱壓成型等制作方法。

2.3紅外低溫光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

紅外低溫光學(xué)系統(tǒng)的光機(jī)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)需遵循不調(diào)整原則和均一性原則。不調(diào)整原則是指光學(xué)系統(tǒng)的準(zhǔn)直和最終性能不再通過傳統(tǒng)的修磨墊片等手段來調(diào)整,而是直接通過設(shè)計(jì)精度、誤差分析和材料分析等保證。因?yàn)槊恳淮谓禍睾蜕郎剡^程以及恒溫器的真空化都需要很長時間,而且室溫下的裝調(diào)結(jié)果在低溫工作時還會變化。而在低溫下很難進(jìn)行調(diào)整,盡管可以通過一些壓電促動器進(jìn)行低溫下微調(diào),但其可靠性難以保證。因此,大多數(shù)低溫紅外光機(jī)結(jié)構(gòu)都遵循不調(diào)整原則。均一性原則是指光機(jī)結(jié)構(gòu)所有部分采用同一材料。對于全反射光學(xué)系統(tǒng),盡管光學(xué)系統(tǒng)的尺寸會隨著溫度變化而變化,但反射鏡表面曲線變化均勻,因此光學(xué)系統(tǒng)在室溫或者低溫環(huán)境下工作時性能不會下降。而在折射式光學(xué)系統(tǒng)中,通常會有多種不同材料,不再滿足均一性原則,光學(xué)性能在室溫和低溫下會有所不同。不同材料的熱漲會導(dǎo)致變形和內(nèi)應(yīng)力,造成性能下降,因此需要對光機(jī)結(jié)構(gòu)進(jìn)行運(yùn)動學(xué)安裝設(shè)計(jì)。

理想的光學(xué)件安裝應(yīng)該在任何環(huán)境下都能夠保證位置精確,而且沒有內(nèi)應(yīng)力??梢杂?個自由度來確定一個光學(xué)件的位置,當(dāng)6個自由度被單獨(dú)地全部或部分約束,就能夠精確定位或精確運(yùn)動。經(jīng)典的運(yùn)動學(xué)定位模型如圖1所示?!禖ryogenic hysteresis and creep characteristicsof piezoelectric bimorph scanner》給出了紅外低溫光學(xué)系統(tǒng)中不同類型光學(xué)件的安裝方法。

圖1 經(jīng)典運(yùn)動學(xué)定位模型

2.4紅外低溫光學(xué)系統(tǒng)制冷方案設(shè)計(jì)

低溫光學(xué)就是將像面處能夠被探測器看到的表面所屬的光學(xué)元件同探測器一起放置于低溫恒溫器中,通過降溫的方式抑制自身的熱輻射,因此制冷方案的選擇很關(guān)鍵。由于液氮制冷無法達(dá)到20K以下的低溫,目前低溫光學(xué)系統(tǒng)制冷方案設(shè)計(jì)中通常采用將液氦灌入倉內(nèi),通過冷板傳導(dǎo)使光學(xué)系統(tǒng)降溫的方法。氦冷背景主要有以下三種實(shí)現(xiàn)途徑:1)開式液氦冷卻系統(tǒng);2)機(jī)械式氦氣制冷機(jī)系統(tǒng);3)氦循環(huán)冷卻系統(tǒng)。

開式液氦冷卻系統(tǒng)由兩部分構(gòu)成,包括液氦熱沉和液氦儲槽,結(jié)構(gòu)如圖2所示,該系統(tǒng)無法對液氦進(jìn)行循環(huán)利用,運(yùn)行成本高;機(jī)械式氦氣制冷機(jī)系統(tǒng)是通過一套或多套大功率氦壓縮機(jī)配合冷頭,將冷板降溫至20K以下,其缺點(diǎn)是若使用多套大功率氦壓縮機(jī)及其配套冷頭,產(chǎn)生的震動將會影響光學(xué)成像;氦循環(huán)系統(tǒng)是目前技術(shù)最先進(jìn)、最穩(wěn)定可靠的氦冷背景冷卻系統(tǒng),通過分配裝置將液氦注入到冷艙的制冷管路中實(shí)現(xiàn)降溫,回流的氦氣經(jīng)過純化、降溫、液化等工序后,又被分配裝置再次注入冷艙的制冷管路中,圖3為氦循環(huán)冷卻系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。

通過上述分析可知未來低溫光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)采用氦循環(huán)冷卻系統(tǒng),因?yàn)樵撓到y(tǒng)不僅背景溫度均勻性好、狀態(tài)穩(wěn)定、無機(jī)械震動,不影響光學(xué)成像,而且密閉循環(huán),成本低,可靠性高。

低溫光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中4個關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用介紹

圖2 開式液氦冷卻系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖

低溫光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中4個關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用介紹

圖3 氦循環(huán)冷卻系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖

3典型的制冷紅外系統(tǒng)

3.1紅外遙感相機(jī)

紅外遙感相機(jī)的主體結(jié)構(gòu)由四反同軸的微晶鏡頭、中長波探測器、長波探測器、主承力筒、遮光罩以及中波組件和視頻處理器等組成,圖4所示為其模擬示意圖。

低溫光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中4個關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用介紹

圖4 紅外模擬示意圖

光學(xué)鏡頭包括主鏡、次鏡、三鏡以及鏡間支撐結(jié)構(gòu)。光學(xué)材料采用的是熱膨脹系數(shù)較小的微晶玻璃。由于微晶玻璃導(dǎo)熱性差,如果僅僅將鏡頭上某—點(diǎn)與冷頭連接,就不能使距冷頭較遠(yuǎn)的鏡頭溫度降低。因此采用的是一套優(yōu)化的制冷系統(tǒng),系統(tǒng)組成如圖5所示。

圖5 光學(xué)鏡頭制冷示意圖

在光學(xué)鏡頭外包絡(luò)一層鋁合金材料的冷屏結(jié)構(gòu),冷屏結(jié)構(gòu)的厚度為4mm,其內(nèi)表面進(jìn)行了黑色陽極氧化處理,連接面涂用以降低接觸熱阻的導(dǎo)熱脂,制冷機(jī)冷頭與冷屏中段直接連接,冷量以熱傳導(dǎo)的方式傳遞至冷屏其余各段。為了確保光學(xué)鏡頭制冷機(jī)在指標(biāo)要求溫度下可以提供足夠的冷量,在冷屏結(jié)構(gòu)的外表面包覆著25單元多層隔熱材料,多層采用6μm的雙面鍍鋁聚酯薄膜,用滌綸網(wǎng)作中間間隔層。

3.2紅外空間望遠(yuǎn)鏡

低溫光學(xué)系統(tǒng)在空間觀測中的應(yīng)用主要是空間望遠(yuǎn)鏡。Herschel空間天文望遠(yuǎn)鏡是歐洲航天局KSA在2009年發(fā)射的遠(yuǎn)紅外望遠(yuǎn)鏡,如圖6所示。Herschel望遠(yuǎn)鏡的主光學(xué)系統(tǒng)是卡賽格倫反射系統(tǒng),工作波段為57 ~ 670μm,主鏡3.5m,包括三臺低溫光學(xué)儀器:遠(yuǎn)紅外差分儀、光電探測器陣列相機(jī)及分光計(jì)、光譜及光度計(jì)的成像接收器。工作時,用2000升超流氮對安裝三臺儀器的光學(xué)平臺及其部件致冷,冷卻溫度可達(dá)3K以下。

圖6 Herschel空間天文望遠(yuǎn)鏡

4總結(jié)與展望

本文梳理了低溫光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中的光學(xué)系統(tǒng)構(gòu)型選擇、光學(xué)材料選擇、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、制冷方案設(shè)計(jì)四個關(guān)鍵技術(shù),并簡單介紹了紅外遙感相機(jī)和空間紅外望遠(yuǎn)鏡這兩個紅外低溫光學(xué)的應(yīng)用實(shí)例。

紅外低溫光學(xué)在天文望遠(yuǎn)鏡、紅外相機(jī)等方面都得到了廣泛應(yīng)用,可以發(fā)現(xiàn)光學(xué)系統(tǒng)在經(jīng)過制冷以后,產(chǎn)生的輻射亮度降低了幾個數(shù)量級,大大降低了系統(tǒng)內(nèi)部熱輻射和探測器背景噪聲,有效提高了系統(tǒng)的探測能力以及光學(xué)系統(tǒng)信噪比。雖然當(dāng)前低溫光學(xué)技術(shù)主要在深空中運(yùn)用,但機(jī)載環(huán)境下應(yīng)用低溫光學(xué)技術(shù)已成為我國未來機(jī)載紅外預(yù)警發(fā)展的必然趨勢,原因如下:1)對于機(jī)載應(yīng)用,自然雜散光輻射的影響比光學(xué)系統(tǒng)自身輻射的影響更大,運(yùn)用低溫光學(xué)技術(shù)降低光學(xué)系統(tǒng)溫度,能夠有效降低背景噪聲輻射強(qiáng)度,使其小于目標(biāo)輻射強(qiáng)度,有利于更好的對目標(biāo)進(jìn)行預(yù)警探測;2)優(yōu)化低溫光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì),可以采用光學(xué)、探測器集成杜瓦,進(jìn)一步提高低溫光學(xué)的效率;3)優(yōu)化光學(xué)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),減少光學(xué)結(jié)構(gòu)件,結(jié)構(gòu)件產(chǎn)生的輻射強(qiáng)度影響較大;4)全反射光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì),可以應(yīng)用自由曲面鏡來簡化光學(xué)鏡片的使用,進(jìn)一步提高光學(xué)效率。紅外低溫光學(xué)技術(shù)已成為21世紀(jì)紅外探測的熱門研究課題,是提高系統(tǒng)探測性能的主要途徑,在機(jī)載上應(yīng)用紅外低溫光學(xué)技術(shù)對于提高大中型預(yù)警機(jī)的遠(yuǎn)程預(yù)警探測能力,具有重要的應(yīng)用價值。

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原文標(biāo)題:紅外低溫光學(xué)關(guān)鍵技術(shù)研究綜述

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    VirtualLab Fusion應(yīng)用:光學(xué)系統(tǒng)的3D可視化

    摘要 為了從根本上了解光學(xué)系統(tǒng)的特性,對其組件進(jìn)行可視化并顯示光的傳播情況大有幫助。為此,VirtualLab Fusion 提供了顯示光學(xué)系統(tǒng)三維可視化的工具。這些工具還可用于檢查元件和探測器
    發(fā)表于 04-02 08:42

    VirtualLab Fusion應(yīng)用:光學(xué)系統(tǒng)的熱透鏡

    現(xiàn)代技術(shù)在材料加工領(lǐng)域的出現(xiàn),使得高功率激光源在光學(xué)系統(tǒng)的使用頻率大大增加。高能源產(chǎn)生的大量熱量導(dǎo)致了幾何形狀的變形和系統(tǒng)
    發(fā)表于 03-13 08:57

    VirtualLab Fusion應(yīng)用:對光學(xué)系統(tǒng)中亞波長結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格模擬

    光學(xué)設(shè)計(jì)軟件VirtualLab Fusion實(shí)現(xiàn)的建模技術(shù)的交互性意味著其用戶可以完全靈活地在精度和速度之間找到始終相關(guān)的折衷方案。這也適用于模擬光通過亞波長結(jié)構(gòu)傳播:可以只為光學(xué)系統(tǒng)
    發(fā)表于 03-04 09:59

    離軸光學(xué)系統(tǒng)的優(yōu)勢

    的觀測和導(dǎo)航具有重要意義。 2.優(yōu)秀的像差糾正能力 離軸光學(xué)系統(tǒng)可以有效地糾正各種類型的像差,包括像散和球差。像差是光學(xué)系統(tǒng)的一重要問題,會導(dǎo)致圖像模糊、畸變等問題。而離軸
    的頭像 發(fā)表于 02-12 06:15 ?333次閱讀
    離軸<b class='flag-5'>光學(xué)系統(tǒng)</b>的優(yōu)勢

    反射光柵的光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)光柵系統(tǒng)的配置與優(yōu)化

    “Littrow結(jié)構(gòu)”是指那些包含反射光柵的光學(xué)系統(tǒng),其中光柵方向被設(shè)置為可以使工作階(通常是第一衍射階)沿著入射光束的方向返回。這可以用于各種不同的應(yīng)用,例如,在激光諧振器的背景下,光柵可以
    發(fā)表于 01-11 13:19

    光學(xué)系統(tǒng)的3D可視化

    **摘要 ** 為了從根本上了解光學(xué)系統(tǒng)的特性,對其組件進(jìn)行可視化并顯示光的傳播情況大有幫助。為此,VirtualLab Fusion 提供了顯示光學(xué)系統(tǒng)三維可視化的工具。這些工具還可用于檢查元件
    發(fā)表于 01-06 08:53

    高質(zhì)量激光光束光學(xué)系統(tǒng)的空間濾波

    空間濾波是光學(xué)的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù),用于細(xì)化激光束,提高其質(zhì)量,并最大限度地減少像差和不必要的衍射效應(yīng)。通過采用透鏡和光闌的組合,空間濾波選擇性地從激光束中去除不想要的成分,例如噪聲、衍射圖案和空間
    發(fā)表于 08-14 11:54