隨著國內(nèi)大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，近兩年來不斷有晶圓制造、材料等重大項目密集上馬，唯獨設(shè)備業(yè)鮮有消息，不過近日傳來喜訊，中科九微半導(dǎo)體設(shè)備智能制造項目在四川南充啟動。

11月19日，中科九微科技有限公司半導(dǎo)體設(shè)備智能制造項目舉行奠基儀式，宣布項目正式開工。項目于今年9月在西博會上簽約，重點針對半導(dǎo)體裝備和核心部件的需求，打造一條集研發(fā)、設(shè)計、精密制造、營銷和服務(wù)一體化的產(chǎn)業(yè)鏈。

該項目總投資28億元，占地約290畝，將研發(fā)、生產(chǎn)半導(dǎo)體晶圓片生長設(shè)備、刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備的核心部件和各種傳感器、控制電源等產(chǎn)品，并配建專家人才公寓、職工宿舍，預(yù)計2019年竣工投入使用，項目建成達產(chǎn)后預(yù)計可實現(xiàn)年銷售收入約50億元。

中科九微成立于今年9月7日，由九川科技集團、中國科學(xué)院微電子所等共同設(shè)立，是中國科學(xué)院微電子所和九川科技集團合作的重點項目，其中中國科學(xué)院微電子所占股20%。

九川科技集團是一家以生產(chǎn)高低壓成套、輸配電設(shè)備、超高壓變壓器、機床電器、電工建筑電器、元器件、電線電纜和數(shù)控機床等為主的大型現(xiàn)代化制造業(yè)集團企業(yè)，而中國科學(xué)院微電子所則為半導(dǎo)體業(yè)界所熟知。

中國科學(xué)院微電子所前身為成立于1958年的原中國科學(xué)院109廠，后與中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、計算技術(shù)研究所有關(guān)研制大規(guī)模集成電路部分合并，國內(nèi)微電子領(lǐng)域?qū)W科方向布局最完整的綜合研究與開發(fā)機構(gòu)、國家科技重大專項集成電路裝備及工藝前瞻性研發(fā)牽頭組織單位等。

多年來，中國科學(xué)院微電子所在設(shè)備研發(fā)領(lǐng)域積累了不少經(jīng)驗和IP，為中國設(shè)備公司提供支持，2017年開發(fā)了系列原子層沉積設(shè)備8個系列，推廣應(yīng)用到近50家科研機構(gòu)及企業(yè)。

九川科技集團擁有設(shè)備制造基礎(chǔ)，如今與中國科學(xué)院微電子攜手合作，將有望推進國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化進程。