記者獲悉，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微半導(dǎo)體”）已于11日向上海監(jiān)管局提交IPO輔導(dǎo)備案，公司擬向上交所申報，輔導(dǎo)機構(gòu)為海通證券、長江證券。

輔導(dǎo)備案情況報告公示，中微半導(dǎo)體成立于2004年5月，法定代表人尹志堯。截至申請?zhí)峤蝗?，公司無實際控制人，持股5%以上股東包括上海創(chuàng)投、巽鑫投資、南昌智微、置都投資、中微亞洲。

中微半導(dǎo)體主要從事半導(dǎo)體設(shè)備的制造、銷售業(yè)務(wù)，公司在等離子刻蝕機、MOCVD（金屬有機化合物化學(xué)氣相沉淀）等方面打破了國外的壟斷，并進(jìn)入到5nm工藝設(shè)備研發(fā)。

中微半導(dǎo)體由尹志堯與杜志游、倪圖強、麥?zhǔn)肆x等40多位半導(dǎo)體設(shè)備專家創(chuàng)辦，主要深耕集成刻蝕機領(lǐng)域，曾研制出中國大陸第一臺電介質(zhì)刻蝕機，目前也是我國最領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)制造商。

2018年12月，中微半導(dǎo)體自主研制的5納米等離子體刻蝕機經(jīng)臺積電驗證，性能優(yōu)良，將用于全球首條5納米制程生產(chǎn)線。

5納米相當(dāng)于頭發(fā)絲直徑的二萬分之一，是集成電路制程工藝最小線寬。臺積電宣布2019年將進(jìn)行5納米制程試產(chǎn)、預(yù)計2020年量產(chǎn)。

刻蝕機是芯片制造的關(guān)鍵設(shè)備之一，曾一度是發(fā)達(dá)國家的出口管制產(chǎn)品。

中微半導(dǎo)體聯(lián)合創(chuàng)始人倪圖強表示，中微與泛林、應(yīng)用材料、東京電子、日立4家美日企業(yè)，組成了國際第一梯隊，為7納米芯片生產(chǎn)線供應(yīng)刻蝕機，如今通過臺積電驗證的5納米刻蝕機，預(yù)計能獲得比7納米更大的市場份額。

中微半導(dǎo)體的介質(zhì)刻蝕設(shè)備、硅通孔刻蝕設(shè)備、MOCVD設(shè)備等均已成功進(jìn)入國內(nèi)外重要客戶供應(yīng)體系。截至2017年底，已有620多個中微半導(dǎo)體生產(chǎn)的刻蝕反應(yīng)臺運行在海內(nèi)外39條先進(jìn)生產(chǎn)線上。

根據(jù)國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會數(shù)據(jù)，預(yù)計2019年中國大陸將成為全球最大半導(dǎo)體設(shè)備市場，包括中微半導(dǎo)體、北方華創(chuàng)在內(nèi)的國產(chǎn)設(shè)備廠商有望進(jìn)一步提高設(shè)備滲透率。