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MEMS激光雷達(dá)技術(shù)及其相比機(jī)械式激光雷達(dá)的優(yōu)勢(shì)!

MEMS ? 來(lái)源:lp ? 2019-04-16 11:33 ? 次閱讀

據(jù)麥姆斯咨詢介紹,激光雷達(dá)設(shè)計(jì)面臨最大的挑戰(zhàn)是在達(dá)到性能和魯棒性目標(biāo)的同時(shí),以合理的價(jià)格實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。位于德國(guó)慕尼黑的激光雷達(dá)(LiDAR)企業(yè)Blickfeld創(chuàng)始人FlorianPetit在接受GeospatialWorld的獨(dú)家采訪時(shí)談到,目前設(shè)計(jì)的傳統(tǒng)激光雷達(dá)更像一臺(tái)機(jī)械旋轉(zhuǎn)設(shè)備,很可能無(wú)法實(shí)現(xiàn)上述目標(biāo),過(guò)去幾年的許多努力已經(jīng)證明了這一點(diǎn)。

Blickfeld的遠(yuǎn)距離激光雷達(dá)拍攝的街景頂視圖。街道顯示為藍(lán)色,樹(shù)木顯示為橙色。在白天能實(shí)現(xiàn)距離遠(yuǎn)至120米的200線掃描。

GeospatialWorld:請(qǐng)您詳細(xì)介紹MEMS激光雷達(dá)技術(shù)及其相比機(jī)械式激光雷達(dá)的優(yōu)勢(shì)!

FlorianPetit:MEMS微鏡是非常值得選用的光束操縱單元。硅基MEMS微鏡通過(guò)光刻、刻蝕等工藝完成。MEMS技術(shù)的優(yōu)勢(shì)在于其精度高達(dá)納米級(jí),且可擴(kuò)展性非常優(yōu)秀。一般來(lái)講,從一片標(biāo)準(zhǔn)尺寸的晶圓(例如直徑為200毫米)上可以生產(chǎn)出數(shù)百顆MEMS微鏡,所有晶圓都是在高度精確的管控下進(jìn)行批量生產(chǎn)。

如今,最常見(jiàn)激光雷達(dá)的光束操縱方式是機(jī)械式旋轉(zhuǎn)。這類非常復(fù)雜的機(jī)械設(shè)備又大又重,生產(chǎn)效率低且成本高昂。機(jī)械式激光雷達(dá)的復(fù)雜性主要源于光束操縱單元,光束操縱單元的作用是使光束(激光和反射光)發(fā)生偏轉(zhuǎn)。這些旋轉(zhuǎn)部件,如齒輪和馬達(dá),會(huì)受到摩擦和磨損。激光雷達(dá)對(duì)精度要求非常高(典型的激光雷達(dá)應(yīng)用要求角度精度小于0.5度),這樣的旋轉(zhuǎn)部件對(duì)精度影響非常大。而且,旋轉(zhuǎn)部件容易磨損甚至失效,需要定期維護(hù)。這一問(wèn)題激發(fā)了對(duì)固態(tài)激光雷達(dá)的需求,人們期待固態(tài)激光雷達(dá)能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)健和持久的工作。

MEMS微鏡已經(jīng)存在多年,甚至在視頻投影機(jī)這樣的日常設(shè)備中得到了應(yīng)用。當(dāng)今MEMS微鏡的問(wèn)題在于很難將其用于遠(yuǎn)距離激光雷達(dá)。遠(yuǎn)距離探測(cè)和大視場(chǎng)角是激光雷達(dá)的關(guān)鍵性能指標(biāo)。典型的MEMS微鏡的鏡面尺寸小,偏轉(zhuǎn)角度較小,因此無(wú)法達(dá)到理想的探測(cè)距離和視場(chǎng)角。

為了突破這些限制,Blickfeld為激光雷達(dá)開(kāi)發(fā)了特殊的MEMS微鏡。這是專門為激光雷達(dá)應(yīng)用而設(shè)計(jì)的,并針對(duì)最遠(yuǎn)探測(cè)距離和視場(chǎng)角等問(wèn)題進(jìn)行了優(yōu)化。鏡面尺寸大于10毫米,因此可以將最大程度地入射光引導(dǎo)至光電探測(cè)器,確保150米及以上的遠(yuǎn)距離和對(duì)低反射率物體的探測(cè)能力。此外,MEMS微鏡可以實(shí)現(xiàn)高達(dá)120°的偏轉(zhuǎn)角度,從而獲得廣闊的視野。它采用標(biāo)準(zhǔn)硅基工藝生產(chǎn),成本合理,可實(shí)現(xiàn)高度自動(dòng)化生產(chǎn)。

這款MEMS微鏡的另一巨大優(yōu)勢(shì)是,根據(jù)其優(yōu)化后的激光雷達(dá)設(shè)計(jì)變得非常簡(jiǎn)單:除了一些標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)元件外,還有一顆激光器、一顆二維MEMS微鏡和一顆探測(cè)器。這些組件組裝后的尺寸僅為80mmx60mmx50mm。激光發(fā)射到微鏡后,微鏡對(duì)光線進(jìn)行反射,完成機(jī)械式激光雷達(dá)的旋轉(zhuǎn)射出。入射的反射光被微鏡操縱集成到同一光路,最后被探測(cè)器接收。這種所謂的同軸方式具有相同的輸入/輸出光路,具有很高的日光抑制優(yōu)點(diǎn),從而實(shí)現(xiàn)高信噪比。

Blickfeld創(chuàng)始人Florian Petit

GeospatialWorld:除了自動(dòng)駕駛汽車,MEMS技術(shù)還有其它應(yīng)用嗎?

FlorianPetit:MEMS技術(shù)已經(jīng)廣泛用于各種應(yīng)用,如噴墨打印機(jī)、顯示器、汽車的加速度計(jì)(例如安全氣囊打開(kāi))。而將MEMS技術(shù)應(yīng)用于激光雷達(dá)則是一種全新的概念。MEMS的尺寸縮小,帶來(lái)的問(wèn)題是與用戶對(duì)光學(xué)傳感器期待截然相反的結(jié)果,因?yàn)楦蟮某叽缫馕吨懿蹲礁嗟墓猓瑥亩綔y(cè)到更多的光。我們所做的是根據(jù)這些要求設(shè)計(jì)MEMS微鏡,在利用MEMS的優(yōu)勢(shì)(尺寸小、可量測(cè))的同時(shí),增加MEMS微鏡的孔徑,實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離探測(cè)和開(kāi)闊的視野。

GeospatialWorld:您如何預(yù)測(cè)固態(tài)激光雷達(dá)的未來(lái)?短期內(nèi)是否有可能會(huì)出現(xiàn)前沿創(chuàng)新技術(shù)擾亂市場(chǎng)?

FlorianPetit:固體激光雷達(dá)具有廣闊的發(fā)展前景。它們功能強(qiáng)大、成本更低、體積更小、集成度高,非常適合于自動(dòng)化應(yīng)用。關(guān)于如何實(shí)現(xiàn)激光雷達(dá)的固態(tài)化,有幾種技術(shù)路線。但我們認(rèn)為,真正對(duì)市場(chǎng)帶來(lái)干擾將是以兼具合理成本和高性能的量產(chǎn)級(jí)固態(tài)激光雷達(dá)——我們相信,這將通過(guò)MEMS技術(shù)實(shí)現(xiàn)。

GeospatialWorld:請(qǐng)您預(yù)測(cè)下認(rèn)為激光雷達(dá)產(chǎn)業(yè)的趨勢(shì)?還會(huì)沿著之前的軌跡發(fā)展嗎?

FlorianPetit:大多數(shù)專家都同意激光雷達(dá)在不久的將來(lái)成為每輛自動(dòng)駕駛汽車不可或缺的傳感器。Yole在最新出版的《汽車和工業(yè)應(yīng)用的激光雷達(dá)-2019版》中預(yù)計(jì),到2021年自動(dòng)駕駛汽車的總量將達(dá)到44000輛。與此同時(shí),激光雷達(dá)市場(chǎng)也因此受益,預(yù)計(jì)將從2018年的13億美元增長(zhǎng)到2024年的60億美元。其中,汽車應(yīng)用占據(jù)激光雷達(dá)市場(chǎng)的70%份額。

2018~2024年激光雷達(dá)(LiDAR)市場(chǎng)預(yù)測(cè)

關(guān)于成本、尺寸、精度和魯棒性要求,固態(tài)激光雷達(dá)都被認(rèn)為比傳統(tǒng)的機(jī)械式激光雷達(dá)更優(yōu)秀。我們相信激光雷達(dá)將成為大眾產(chǎn)品,全面進(jìn)入現(xiàn)代生活的不同領(lǐng)域,為機(jī)器提供環(huán)境建模與導(dǎo)航。

GeospatialWorld:您認(rèn)為如何讓激光雷達(dá)成為主流傳感器且價(jià)格合理?

FlorianPetit:在我們看來(lái),解決方案不是簡(jiǎn)單地購(gòu)買昂貴的組件,并用它們制造昂貴的激光雷達(dá),寄希望于批量生產(chǎn)時(shí)會(huì)變得更便宜。同時(shí),采用需要數(shù)十年研究才能完成的技術(shù)也不會(huì)得到具有時(shí)效性的解決方案。

我們認(rèn)為,目前已有許多性能優(yōu)秀的元器件和技術(shù)供選擇以建立一套合適的激光雷達(dá)系統(tǒng)。市場(chǎng)上部署的數(shù)百萬(wàn)臺(tái)設(shè)備正在對(duì)元器件進(jìn)行大量使用和測(cè)試。例如,車規(guī)級(jí)激光器(905nm激光二極管),分辨率很高的探測(cè)器如可以探測(cè)單光子的硅光電倍增管(SiPMs),或硅基微鏡(MEMS微鏡)。然而,這些器件還沒(méi)有針對(duì)激光雷達(dá)應(yīng)用進(jìn)行優(yōu)化——或者說(shuō)還沒(méi)有找到適合這些元器件的激光雷達(dá)設(shè)計(jì)。

因此,我們認(rèn)為關(guān)鍵是讓每一種元器件與整個(gè)激光雷達(dá)系統(tǒng)之間進(jìn)行適應(yīng)、調(diào)整和優(yōu)化。因此,要對(duì)激光器/探測(cè)器的光電特性進(jìn)行調(diào)整,滿足發(fā)射/接收光學(xué)系統(tǒng)和光束操縱單元的要求。對(duì)激光雷達(dá)進(jìn)行整體設(shè)計(jì)(同軸設(shè)計(jì)),盡可能抑制干擾光(陽(yáng)光)。而且,可能最重要的是在兼顧距離、視場(chǎng)和環(huán)境條件方面的因素對(duì)光束探測(cè)單元進(jìn)行優(yōu)化。這項(xiàng)任務(wù)非常復(fù)雜,因?yàn)槠渲械脑骷旧砗軓?fù)雜,激光雷達(dá)的設(shè)計(jì)也很復(fù)雜,而且還有更多的邊界條件,比如對(duì)高度自動(dòng)化生產(chǎn)的需求。

這對(duì)開(kāi)發(fā)團(tuán)隊(duì)來(lái)說(shuō)是一個(gè)巨大的挑戰(zhàn),需要來(lái)自光學(xué)、MEMS、信號(hào)處理、電子、軟件和生產(chǎn)技術(shù)等各個(gè)學(xué)科的專家攜手合作。

Blickfeld確定了機(jī)械式光束操縱單元的復(fù)雜性是激光雷達(dá)的主要問(wèn)題。這個(gè)問(wèn)題影響性能和生產(chǎn)的可擴(kuò)展性。因此,我們發(fā)明了一種專門為激光雷達(dá)應(yīng)用設(shè)計(jì)的硅基光束操縱單元——MEMS微鏡,可以創(chuàng)建性能和制造均可擴(kuò)展的激光雷達(dá)模組。這有助于我們克服機(jī)械式旋轉(zhuǎn)激光雷達(dá)的許多問(wèn)題。

GeospatialWorld:高價(jià)格是激光雷達(dá)的主要制約因素,您認(rèn)為成本會(huì)大幅下降嗎?

FlorianPetit:通過(guò)使用硅基MEMS微鏡技術(shù)和現(xiàn)有元器件,在批量生產(chǎn)時(shí),相比機(jī)械式激光雷達(dá),成本可以大幅降低。

GeospatialWorld:激光雷達(dá)還能為普通消費(fèi)者帶來(lái)哪些“福利”?

FlorianPetit:激光雷達(dá)是一種用于3D環(huán)境感知的傳感技術(shù)。激光雷達(dá)可以提供高精度的環(huán)境距離圖像。捕獲的三維數(shù)據(jù)能直接表達(dá)場(chǎng)景的基本幾何特征,如形狀、大小和距離。在移動(dòng)應(yīng)用中,當(dāng)涉及到運(yùn)動(dòng),在一定時(shí)間內(nèi)覆蓋一定距離時(shí),這種三維數(shù)據(jù)對(duì)于安全感知周圍環(huán)境以及在其中進(jìn)行操作和導(dǎo)航至關(guān)重要。因此,汽車中的大多數(shù)感知傳感器,無(wú)論是超聲波傳感器、毫米波雷達(dá),還是具有圖像處理功能的二維攝像頭,都在致力于收集三維信息。激光雷達(dá)特別適合這項(xiàng)任務(wù),因?yàn)樗鼈兛梢灾苯犹峁└叻直媛屎途_的三維點(diǎn)云,其質(zhì)量是其它傳感器技術(shù)無(wú)法比擬的。

激光雷達(dá)是一種可應(yīng)用于各行各業(yè)的關(guān)鍵傳感技術(shù)。激光雷達(dá)在許多領(lǐng)域都充當(dāng)推動(dòng)者的角色,將推動(dòng)自動(dòng)駕駛、智慧城市、機(jī)器人、無(wú)人機(jī)等應(yīng)用的發(fā)展。大多數(shù)普通消費(fèi)者將間接體驗(yàn)到激光雷達(dá)廣泛部署的好處。他們不會(huì)陷入交通堵塞,可以從A地到B地乘坐自動(dòng)駕駛汽車,物流鏈優(yōu)化也將包裹更快送達(dá)。

GeospatialWorld:英特爾旗下的Mobileye開(kāi)發(fā)了一種新的自動(dòng)駕駛系統(tǒng),該系統(tǒng)使用高清攝像頭而不是激光雷達(dá)。這會(huì)對(duì)汽車激光雷達(dá)行業(yè)產(chǎn)生影響嗎?

FlorianPetit:與激光雷達(dá)相比,攝像頭在自動(dòng)駕駛汽車上的功能則不同。攝像頭探測(cè)的二維彩色圖像能“看到”交通燈或道路標(biāo)志。然而,當(dāng)涉及到測(cè)量距離或速度時(shí),攝像頭面臨著很大的挑戰(zhàn)。要從攝像頭的圖像中獲取距離或速度信息,需要復(fù)雜的算法,即使這樣,也存在局限性。激光雷達(dá)提供準(zhǔn)確的長(zhǎng)短距離和高分辨率的三維環(huán)境信息,可用于ADAS應(yīng)用,如停車和堵車輔助、盲點(diǎn)檢測(cè)、車道保持、自動(dòng)緊急制動(dòng)和自適應(yīng)巡航控制,是L4級(jí)和L5級(jí)自動(dòng)駕駛車輛的必需傳感器。

GeospatialWorld:激光雷達(dá)行業(yè)面臨的主要挑戰(zhàn)是什么?

FlorianPetit:激光雷達(dá)技術(shù)作為存在了幾十年的技術(shù),已有達(dá)到高性能標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品供選擇。然而,今天的激光雷達(dá)的魯棒性還不夠強(qiáng),非常重要的是無(wú)法以合理的價(jià)格大范圍推廣使用。這對(duì)于激光雷達(dá)進(jìn)入汽車市場(chǎng)來(lái)講是個(gè)巨大的問(wèn)題。激光雷達(dá)在當(dāng)今高度自動(dòng)化的測(cè)試車輛中有著廣泛的應(yīng)用,并且有望成為自動(dòng)汽車傳感器組合的基本元器件,甚至未來(lái)在每輛車上會(huì)部署多個(gè)激光雷達(dá)。

GeospatialWorld:請(qǐng)您談?wù)凚lickfeld的情況及愿景?

FlorianPetit:Blickfeld于2017年在德國(guó)慕尼黑成立,開(kāi)發(fā)基于硅基MEMS微鏡和現(xiàn)有元件的領(lǐng)先激光雷達(dá)技術(shù)。Blickfeld的激光雷達(dá)能以最高性能滿足大眾市場(chǎng)所需的成本和尺寸要求。2019年,Blickfeld將推出首款系列產(chǎn)品Cube,主要為自動(dòng)導(dǎo)航、高清地圖和其它激光雷達(dá)應(yīng)用而設(shè)計(jì)。

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原文標(biāo)題:Blickfeld利用MEMS微鏡解決傳統(tǒng)激光雷達(dá)的通病

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    在現(xiàn)代科技領(lǐng)域,傳感器技術(shù)的發(fā)展日新月異,為各行各業(yè)提供了強(qiáng)大的數(shù)據(jù)支持。激光雷達(dá)作為一種高精度的遙感技術(shù),近年來(lái)在多個(gè)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。然而,激光雷達(dá)并非萬(wàn)能,它與其他傳感器
    的頭像 發(fā)表于 10-27 10:41 ?1220次閱讀

    使用邏輯和轉(zhuǎn)換優(yōu)化機(jī)械掃描激光雷達(dá)

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    發(fā)表于 09-03 09:27 ?0次下載
    使用邏輯和轉(zhuǎn)換優(yōu)化<b class='flag-5'>機(jī)械</b>掃描<b class='flag-5'>激光雷達(dá)</b>

    光學(xué)雷達(dá)激光雷達(dá)的區(qū)別是什么

    光學(xué)雷達(dá)激光雷達(dá)是兩種不同的遙感技術(shù),它們?cè)谠?、?yīng)用、優(yōu)缺點(diǎn)等方面都存在一定的差異。以下是對(duì)光學(xué)雷達(dá)激光雷達(dá)的比較: 定義和原理 光學(xué)
    的頭像 發(fā)表于 08-29 17:20 ?2559次閱讀

    一文看懂激光雷達(dá)

    項(xiàng)” ? ? ??·激光雷達(dá)成本下探,加速滲透至更多車型 ? ? ? ?·自動(dòng)駕駛水平升級(jí),單車搭載激光雷達(dá)需求增加 上游模塊升級(jí) 固態(tài)補(bǔ)盲開(kāi)辟激光雷達(dá)新賽道 ·發(fā)射模塊:1550nm光源及 FMCW測(cè)距方式為未來(lái)發(fā)展方向 ·掃
    的頭像 發(fā)表于 06-27 08:42 ?1077次閱讀
    一文看懂<b class='flag-5'>激光雷達(dá)</b>