一般來說,非半導(dǎo)體從業(yè)者,是見不到上圖的晶圓這個(gè)形態(tài)的,我們一般能見到的形態(tài)就是電路板上焊著的模塊,仔細(xì)觀察這些模塊,可以看到這些模塊表面是塑料包裹著的,并且在周邊伸出一小段金屬,并被焊接在電路板(PCB板)上,見下圖,上面焊接著大大小小不同大小的模塊,這些模塊與PCB板自身內(nèi)部電路組成了實(shí)現(xiàn)某種功能的一個(gè)系統(tǒng),將這塊PCB板接到總電路或者直接接上電源和產(chǎn)品負(fù)載就可以工作了。
這些小的模塊塑料內(nèi)部核心就是作為半導(dǎo)體FAB廠工程師的全部工作內(nèi)容,它們就是來源于上圖的晶圓,這個(gè)晶圓上全部是其中的一種或者幾種模塊的重復(fù)結(jié)構(gòu)(由光刻版上圖形決定,以后會(huì)講到),這些成千上萬的重復(fù)結(jié)構(gòu)在完成晶圓廠的加工、測試合格后,會(huì)到封裝廠,用非常細(xì)的鋸(厚度幾十微米)將貼合在藍(lán)膜上的晶圓按照事先畫好的劃片道將晶圓上這些重復(fù)單元切割成獨(dú)立的單元,這些獨(dú)立的單元就是前面見到的塑料模塊內(nèi)的核心結(jié)構(gòu)die,每個(gè)核心結(jié)構(gòu)上都設(shè)置有不同數(shù)量的引線腳,這些引線腳的作用是留作引線焊接之用。
用金屬引線將這些引線腳與金屬框架焊接好,這樣,金屬框架就與晶圓上的重復(fù)單元做好了連線,但是這樣一個(gè)結(jié)構(gòu)直接焊接到PCB板上穩(wěn)定性不夠,無法在高低溫,高濕,震動(dòng)等發(fā)雜環(huán)境下保持穩(wěn)定,需要將這個(gè)結(jié)構(gòu)用塑料包裹固定起來,經(jīng)過塑封好的結(jié)構(gòu),核心結(jié)構(gòu)得到了固定,控制了導(dǎo)熱,導(dǎo)電性能,再經(jīng)過嚴(yán)苛的篩選機(jī)制,即Final Test(FT)測試,以及抽樣reliability測試(可靠性測試),壽命一般要達(dá)到了10年以上(加應(yīng)力測試,并非測10年,屬于可靠性測試范疇,以后也會(huì)涉及,常見的有在增加應(yīng)力條件下測試168小時(shí)和1000小時(shí)兩種),滿足了FT測試的封裝樣品才會(huì)拿來使用。
不同系統(tǒng)級廠家針對自己需要的模塊,到相應(yīng)的模塊供應(yīng)商處購買封裝模塊,并焊接在PCB板上,再進(jìn)行PCB板系統(tǒng)級測試,上機(jī)測試,直到用戶產(chǎn)品使用跟進(jìn)反饋,如果用戶端短期內(nèi)未發(fā)現(xiàn)問題,則證明產(chǎn)品從設(shè)計(jì)到生產(chǎn),封裝,測試都是沒有問題的,一旦到用戶端短期內(nèi)發(fā)現(xiàn)問題,那么追查問題則變得非常困難,要一層一層確認(rèn),損失也是最大的,所以,在最初晶圓上就把問題發(fā)現(xiàn)出來(如果是晶圓問題),通過測試將問題die篩選出來?xiàng)売?,?huì)減少非常多不必要的麻煩,這塊暫時(shí)不再深入探討,后面有機(jī)會(huì)再談,本文主要講述一個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)品的來龍去脈,讓新人有一個(gè)大體籠統(tǒng)的認(rèn)識,后面再慢慢展開。
其實(shí)還有一個(gè)非常關(guān)鍵的沒有講,就是晶圓的基底是怎么來的,經(jīng)過哪些過程才成為了劃片前的重復(fù)單元的,下面簡單介紹一下。
半導(dǎo)體晶圓按直徑大小不同分為6英寸,8英寸,12英寸,18英寸(現(xiàn)在還處于實(shí)驗(yàn)室階段),不同大小的晶圓又是從不同直徑的硅晶棒切割而來的,這些硅晶棒是襯底供應(yīng)商的主要工作內(nèi)容,制造單晶硅有兩種方法:直拉法和區(qū)熔法,這里只提一下兩種方法,具體方法不做詳細(xì)介紹,后面有機(jī)會(huì)進(jìn)一步介紹,硅晶棒拉好后,再經(jīng)過切割,研磨,拋光步驟,獲得生產(chǎn)用的硅襯底,有的需要在襯底上再用外延爐生長一層外延層,根據(jù)要求,可以制備N型或者P型外延。
下面簡單介紹一下如何利用硅襯底制造出器件。
半導(dǎo)體晶圓加工廠一般有4個(gè)模組:光刻,刻蝕,擴(kuò)散,薄膜,有的工廠會(huì)細(xì)分.。以一個(gè)二極管器件為例,講解一下如何生產(chǎn)一個(gè)二極管產(chǎn)品:我們在學(xué)習(xí)電路的時(shí)候,看到的二極管只是一個(gè)符號,實(shí)際在制造的時(shí)候要復(fù)雜得多,簡單的說,先要將符號轉(zhuǎn)換成版圖,然后將版圖制造成不同層次的光刻版,然后按不同的制造順序,將PN結(jié)先后制造到硅片上,在過程中,要用到微影光刻技術(shù),還要用到離子注入,擴(kuò)散,刻蝕,薄膜等步驟,將PN結(jié)做到硅片上后,需要將PN結(jié)用導(dǎo)線引出來,才能給PN結(jié)加電壓,所以就需要用金屬層淀積到接觸孔里,然后留出做引線腳的窗口PAD,從描述可以知道,需要做5層光刻版,N型區(qū),P型區(qū), 接觸孔,金屬層,PAD區(qū)域,來定義不同層次空間位置,有的產(chǎn)品PN結(jié)的一個(gè)結(jié)用襯底做,就少了一層,這樣,經(jīng)過復(fù)雜的工藝步驟之后,最簡單的PN結(jié)二極管就做好了,后面再經(jīng)過之前講的封裝測試就可以焊接到電路板上了。
具體講解如下:
(1)制造二極管的光刻版:在玻璃基底上淀積一層鉻膜,芯片圖形就是由鉻膜形成的,對于工藝中不同層次的結(jié)構(gòu),需要生成不同的光刻版,并且將各個(gè)圖形位置精確定位,光刻版一般由一個(gè)產(chǎn)品芯片重復(fù)構(gòu)成,有的為了節(jié)約成本,會(huì)放置多個(gè)產(chǎn)品;
(2)有了光刻版和硅片襯底,就可以開始加工芯片了,芯片的主體加工過程一般包括多次光刻步驟,光刻的原理比較簡單,類似于照相時(shí)將底片轉(zhuǎn)移到相紙上的過程,光刻版上的鉻層不透光,當(dāng)光線照射到光刻版上時(shí),透光的區(qū)域光線穿過光刻版,按5:1的比例投影到涂有對光敏感的光刻膠的圓片上,光刻膠在特定波長的光線下發(fā)生反應(yīng),使原本交聯(lián)的高分子有機(jī)物打開,在特定的顯影液作用下,這些打開了交聯(lián)鍵的有機(jī)物會(huì)被從圓片表面去除(正膠),留下未被光照射到的區(qū)域,形成芯片的特定區(qū)域,該區(qū)域經(jīng)過離子注入即形成PN結(jié)的一個(gè)區(qū)域,如P區(qū);
(3)同樣的光刻步驟再來一次,再經(jīng)過離子注入形成PN結(jié)的另一個(gè)結(jié)N區(qū);
(4)在離子注入之后,對圓片進(jìn)行高溫?cái)U(kuò)散工藝,可以將PN結(jié)濃度推到需要的程度,過程中一般會(huì)生長氧化層,然后一般會(huì)利用BOE(NH4.H20和HF酸的混合液體)將二氧化硅腐蝕掉;
(5)為了將PN結(jié)用金屬引出,需要將金屬與硅片之間隔離,一般用CVD(化學(xué)氣象沉積)的方法淀積一層氧化層,然后同樣光刻的方法,形成接觸孔的圖形,然后用干法或者濕法方法將接觸孔圖形對應(yīng)的氧化層去除掉;
(6)用PVD(物理氣相沉積)的方法在圓片 表面淀積一層金屬層,然后用光刻的方法形成金屬走線圖形,將不需要金屬的區(qū)域去除掉;
(7)作為一個(gè)半導(dǎo)體器件,需要防刮傷,防水汽等,因此需要在最表面淀積一層防護(hù)層,我們稱之為“鈍化層”,鈍化層淀積好后,前面講到的要留出一塊區(qū)域來作為封裝時(shí)與金屬框架做鍵合的窗口區(qū)域,一般叫PAD區(qū)域,因此同樣需要光刻工藝將該區(qū)域打開,通過干法刻蝕的方法將鈍化層去除,漏出該區(qū)域的金屬,為后面鍵合做準(zhǔn)備,一般最后在測試前需要做一步合金工藝,使金屬與硅片襯底形成良好的接觸,同時(shí)可以修復(fù)一些可動(dòng)電荷帶來的損傷,再經(jīng)過WAT/PCM測試合格后就完成了PN結(jié)芯片的全部加工步驟。
以上僅僅是簡單介紹一下一個(gè)芯片是如何加工的,具體會(huì)涉及到非常復(fù)雜的工藝步驟,后面有機(jī)會(huì)慢慢講解,本文僅僅是一個(gè)科普性質(zhì)的文章,作為半導(dǎo)體入門的準(zhǔn)備之用,想要做好半導(dǎo)體工程師,要學(xué)的東西還多著呢!
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原文標(biāo)題:看完本文,你會(huì)發(fā)現(xiàn)半導(dǎo)體其實(shí)沒有那么神秘!
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