光學(xué)工具測(cè)量顯微鏡扮演著核心角色。這是一種集成了觀察、測(cè)量與數(shù)據(jù)處理功能的系統(tǒng)化顯微鏡系統(tǒng)，主要由位移傳感器、精密工作平臺(tái)、系統(tǒng)顯微鏡、高清圖像采集系統(tǒng)、專(zhuān)業(yè)測(cè)量軟件以及計(jì)算機(jī)終端組成。其工作原理基于非接觸式測(cè)量技術(shù)，利用相對(duì)量測(cè)法，通過(guò)顯微鏡對(duì)工作件表面形態(tài)進(jìn)行高倍率觀察，并借助位移傳感器精確捕捉位置信息，從而在計(jì)算機(jī)上實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量與數(shù)據(jù)分析。
一、產(chǎn)品描述
1.產(chǎn)品特性
● Z軸可選配輔助對(duì)焦測(cè)高功能
● 視場(chǎng)寬闊，可得清晰無(wú)閃爍影像
● 高精度測(cè)量，同時(shí)具有大測(cè)量范圍和高精度，適用于各種測(cè)量
● 選用無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)距明場(chǎng)金相物鏡，滿(mǎn)足長(zhǎng)工作距離的測(cè)量要求
● 照明裝置（反射/透射）可選用高亮度LED的照明或鹵素照明
● 利用可變孔徑光闌進(jìn)行無(wú)衍射觀察測(cè)量
● 快速釋放裝置便于測(cè)量工件大或測(cè)量工件數(shù)量多的快速移動(dòng)工作臺(tái)
● 高位目鏡觀察
2.技術(shù)規(guī)格
測(cè)量范圍 | 200*100 | 200*200 | 300*200 | 400*300 |
光學(xué)系統(tǒng) | 無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng) | |||
成像方式 | 5°～35°傾角可調(diào)，正像，無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三目觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)范圍：50MM～76MM； | |||
倒像，無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三目觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)范圍：50MM～76MM； | ||||
正像，無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三目觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)范圍：50MM～76MM； | ||||
目鏡 | 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡10X，視場(chǎng)直徑23MM，可視度可調(diào)，可帶測(cè)微尺； | |||
物鏡 | 無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距半復(fù)消色差明場(chǎng)金相物鏡5X、10X、20X、50X、100X | |||
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距半復(fù)消色差明暗場(chǎng)金相物鏡5X、10X、20X、50X、100X | ||||
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距全復(fù)消色差明暗場(chǎng)金相物鏡10X、20X、50X、100X | ||||
無(wú)限遠(yuǎn)超長(zhǎng)工作距高分辨率全復(fù)消色差95MM可見(jiàn)光APO金相物鏡2X、5X、10X、20X、50X、100X | ||||
放大倍率 | 光學(xué)：50X-1000X | 影像：135X-2700X | ||
轉(zhuǎn)換器 | 5孔手動(dòng)轉(zhuǎn)換器（帶DIC插槽） 5孔自動(dòng)轉(zhuǎn)換器（帶DIC插槽） | |||
照明系統(tǒng) | 明暗場(chǎng)反射照明器，帶明、暗場(chǎng)照明器切換裝置，帶濾色片插槽與偏光裝置插槽，5WLED燈源，5WLED透射光源，亮度均可調(diào) | |||
明場(chǎng)反射照明器，帶濾色片插槽與偏光裝置插槽，5WLED燈源，5WLED透射光源，亮度均可調(diào) | ||||
輔助對(duì)焦模塊，帶明、暗光楔切換裝置，帶綠光5W LED燈源 | ||||
調(diào)焦方式 | 手動(dòng)粗微調(diào)，粗微調(diào)同軸，左右手柄 | |||
相機(jī) | 像素1200萬(wàn)，靶面尺寸：1/1.8，4000(H)×3000(V)，最大幀率：20 FPS | |||
測(cè)量精度 | （2.5+L/200）μm | |||
產(chǎn)品結(jié)構(gòu) | 鑄鐵，大理石 | |||
二、應(yīng)用領(lǐng)域
TOCK系列工具測(cè)量顯微鏡結(jié)合了金相顯微鏡的高倍觀察能力，和平面幾何公差測(cè)量功能。具備明暗場(chǎng)、微分干涉、偏光等多種觀察功能?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、PCB、LCD、手機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈、光通訊、基礎(chǔ)電子、模具五金、醫(yī)療器械、汽車(chē)行業(yè)、計(jì)量行業(yè)等領(lǐng)域的檢測(cè)。
三、應(yīng)用實(shí)例圖
