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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>傳感與控制>微光機電系統(tǒng)及其應(yīng)用

      微光機電系統(tǒng)及其應(yīng)用

      2009-11-16 | rar | 225 | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      微光機電系統(tǒng)(MOEMS) 是在微機電系統(tǒng)(MEMS) 基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種新技
      術(shù)系統(tǒng),它是由微光學(xué)、微電子和微機械相結(jié)合而產(chǎn)生的一種新型的微光學(xué)結(jié)構(gòu)系
      統(tǒng),MOEMS 在信息、軍事、航天、醫(yī)學(xué)、工業(yè)等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景,綜述了近年
      來微光機電系統(tǒng)的發(fā)展和應(yīng)用。
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