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差動(dòng)電容傳感器越來(lái)越廣泛地應(yīng)用于諸如壓力、加速度、直線位移、轉(zhuǎn)角等物理量的測(cè)量，其電路結(jié)構(gòu)依測(cè)量要求不同而不同．但其基本原理都是和用比斜信號(hào)處理法以傳感器電容容量的變化來(lái)反映被測(cè)量的變化．電容變化可 是線性或非線性的。利用比倒信號(hào)處理法可 實(shí)現(xiàn)棱測(cè)量的精確．線性檢測(cè)。所謂比例信號(hào)處理法即用傳感器中兩電容之差與兩電容之和的比值來(lái)線性地反映棱測(cè)量。因此需要專門(mén)的信號(hào)處理電路將傳感器電容變化轉(zhuǎn)換為易于檢測(cè)的電量，已經(jīng)出現(xiàn)的技術(shù)方法有開(kāi)關(guān)一電容(s／c)法，模數(shù)轉(zhuǎn)換(A／D)法、電容、頻率轉(zhuǎn)換法、電容相位轉(zhuǎn)換法等，其中適用于CMOS集成電路的SIC 法由于時(shí)鐘饋線的影響精度較低，C／F法可rJ選到很高的精度，但由于需要微處理器來(lái)進(jìn)行比斜運(yùn)鋒而難以滿足時(shí)實(shí)時(shí)、快速的要求。近年來(lái)，^ 們?cè)谔?a target='_blank' class='arckwlink_none'>高精度和速度方面不斷探索，提出了各種提高精度和速度的方法。下面介紹兩種實(shí)用的高精度、高速度差動(dòng)電容傳感器信號(hào)處理電路。
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