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為了提高激光跟蹤儀的跟蹤精度，改善激光跟蹤儀性能，根據(jù)測(cè)量光斑在PSD上的坐標(biāo)可實(shí)現(xiàn)光斑位移測(cè)量的原理，研究了提高微位移測(cè)量精度的方法，設(shè)計(jì)出一種由PSD傳感器、ADS8556模數(shù)轉(zhuǎn)換器和TMS320F28335數(shù)字信號(hào)處理器構(gòu)成的高性能微位移測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)在硬件設(shè)計(jì)中引入二階有源低通濾波器消除了部分噪聲干擾；在軟件設(shè)計(jì)中通過誤差補(bǔ)償和數(shù)字濾波進(jìn)一步提高了數(shù)據(jù)可靠性。
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