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氣敏傳感器是用來檢測氣體類別、濃度和成分的傳感器。 由于氣體種類繁多， 性質(zhì)各不相同，不可能用一種傳感器檢測所有類別的氣體，因此，能實現(xiàn)氣-電轉(zhuǎn)換的傳感器種類很多，按構(gòu)成氣敏傳感器材料可分為半導體和非半導體兩大類。目前實際使用最多的是半導體氣敏傳感器。
半導體氣敏傳感器是利用待測氣體與半導體表面接觸時， 產(chǎn)生的電導率等物理性質(zhì)變化來檢測氣體的。按照半導體與氣體相互作用時產(chǎn)生的變化只限于半導體表面或深入到半導體內(nèi)部，可分為表面控制型和體控制型，前者半導體表面吸附的氣體與半導體間發(fā)生電子接受，結(jié)果使半導體的電導率等物理性質(zhì)發(fā)生變化，但內(nèi)部化學組成不變；后者半導體與氣體的反應，使半導體內(nèi)部組成發(fā)生變化，而使電導率變化。按照半導體變化的物理特性，又可分為電阻型和非電阻型，電阻型半導體氣敏元件是利用敏感材料接觸氣體時，其阻值變化來檢測氣體的成分或濃度； 非電阻型半導體氣敏元件是利用其它參數(shù)，如二極管伏安特性和場效應晶體管的閾值電壓變化來檢測被測氣體的。表9-1為半導體氣敏元件的分類。
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