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改變傳感器可動(dòng)極板的結(jié)構(gòu)是解決MEMS電容式壓力傳感器信號(hào)輸出與壓力輸入呈非線性關(guān)系問(wèn)題的方法之一。設(shè)計(jì)了一種新型結(jié)構(gòu)電容式壓力傳感器，其可動(dòng)極板是LPCVD氮化硅構(gòu)成的一個(gè)方形薄膜，薄膜中心到邊緣之間由PECVD氧化硅構(gòu)筑一個(gè)環(huán)形島棱，使可動(dòng)極板在壓力負(fù)載下的變形趨于平整，減小了邊緣雜散電容帶來(lái)的非線性，從而改善了該傳感器的輸出特性。利用有限元方法分析了不同尺寸的動(dòng)極板在不同外加壓力作用下壓力與形變的關(guān)系。以及相應(yīng)的應(yīng)力分布情況，并采用最dx--乘擬合直線法計(jì)算了壓力傳感器的線性度。分析結(jié)果表明，與常規(guī)的雙極板微型電容式壓力傳感器相比，新型結(jié)構(gòu)壓力傳感器的線性度改善了48．38％，達(dá)到了1。6％。
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