資料介紹
本文闡述了光刻光束線(xiàn)中的快門(mén)光柵系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)和工作原理. 井介紹了光電轉(zhuǎn)換中的一種新方怯—高阻甚,該方法在快速弱光信號(hào)的檢測(cè)中具有實(shí)際意義。
光刻光束線(xiàn)的基本原理,是從加速器貯存環(huán)中的一個(gè)窗口引出同步幅射光子流, 取其軟X射線(xiàn)部分作為大豌集成電路的光刻光源, 這就要求;
2.1.具備快門(mén)控期系統(tǒng), 用于控捌爆光時(shí)間。
2.2.具備鏡掃描功能, 以便將光柬線(xiàn)作均勻展寬, 取而實(shí)現(xiàn)較大面積的均勻光刻。
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